Surfscan表面污染分析仪
合集下载
相关主题
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
Surfscan表面污染分析儀(Surfscan4500) Hardware:
(1)Wafer-handling system
(2)Laser-based scanning system
(3)Printer
機台用途: 掃描矽晶片上污染粒子分佈狀況
Partical range: 1.52um²to 4.76 um²up
Gas requirement: N2
Taiwan agent: 國芯科技
Contact info. 鄭春國先生/ 0926436041
Update: 08 / 10 / 2005
Description of Surfscan
Substrate: Si wafer
Substrate size: 6吋及四吋矽晶片
4-point prob.四點探針Hardware:
(1)4-point prob.四點探針
(2)Printer
機台用途: 測量矽晶片電阻值
功能描述: 五點自動量測及單點手動量測
Gas requirement: None
Measurment range: 10E-3 to 80K Ω∕cm²
Update: 08 / 10 / 2005
Description of 4-point prob.四點探針
Substrate: Si wafer
Substrate Type: P and N type wafer Substrate Size: > 5cm x 5cm