洁净室净化空调设计方法.doc

洁

净

室

空

调

设

计

方

案

2016年11月2日

目录

一、设计依据 0

1.1 项目地点及气象参数 0

1.2 相关规范、标准 0

1.3 其它已知条件 (1)

二、系统分析及参数计算 (2)

2.1 系统分析 (2)

2.2 空调箱相关参数计算 (2)

2.4 主机选型 (3)

一、设计依据

1.1 项目地点及气象参数

使用地点：上海市；

○1室外条件

上海市室外气象参数

干球温湿球温相对湿含湿量

焓 KJ/Kg 密度

参数

度% 露点温度℃

g/kg kg/m3

度℃度℃

夏季34.4 29.3 69 27.8 24.1 96.6 1.122 冬季-2.2 -3.4 75 -5.6 2.4 3.7 1.29

2

○室内条件

室内设计参数

干球温露点温

参数相对湿度 %含湿量g/kg焓KJ/Kg密度kg/m3 度℃度℃

夏/ 冬季±

10.6 50.2 1.174

23 260± 1014.7

备注：经踏勘现场可知，该检验室吊顶密封性不严，无法使洁净室温度波动范围保证在±0.℃5

1.2 相关规范、标准

1、洁净厂房设计规范（ GB50073-2013）；

2、洁净室施工及验收规范（GB50591-2010）；

3、采暖通风与空气调节设计规范（GB50019-2003）；

4、通风与空调工程施工及验收规范（GB50243-2002）

5、业主提供相关资料；

1.3 其它已知条件

○1 该洁净区面积为 6.6*8=53m2，吊顶

以下高度为3m；

○2 业主未提供该区域工艺设备功率、照明功率及人员数量，初步冷负荷指标按

200w/m2 计算；

○3 本次方案按洁净区净化等级为100K 设计；

○4 工艺排气量为 4*150=600m3/h；

○5 洁净区采用+5Pa 微正压。

来源于网络

二、系统分析及参数计算

2.1 系统分析

○1 该洁净区由空调系统来完成恒温、恒湿及净化功能。夏季最大冷负荷及除湿量、冬季计算最大热负荷及加湿量、净化（采用初、中效过滤器）等均是由空调系

统来完成的，其中初效过滤效率35%、中效过滤效率95%。

○2 洁净区空调形式采用AHU+ 初中效过滤器 +排气形式（沿用原有排气设备，本

次不涉及），详见洁净空调示意图。

2.2 空调箱相关参数计算

○1 空调箱机外余压：根据现场风管最不利环路及过滤要求来确定，经估算空调箱

机外余压 300Pa。

○

循环风量、冷负荷及除湿的确定：循环风量按洁净室100K 等级 15 次/h 及按

2

冷量计算风量二种方法取大值；总冷量包括：新风降温除湿冷量及混合风处理

至送风状态所需冷量（即表冷器冷量）；新风除湿由表冷器承担，露点控制在

14℃。

○3 热负荷、加湿量的确定：热负荷按冬季混合状态点与冬季送风状态点焓差计算；

加湿量按冬季混合状态点与送风状态点含湿量差值计算。

○

下表图为参数计算表、流程图、冬夏季状态点参数表及冬夏季id 图

4

夏季参数计算表

面积高度体积送风量新风量

15 次换5Pa 正

补充排实际冷

实际冷

名称气次数压（考

新风量

回风量

m m3 虑泄气负荷

指标

m2 计算

漏）

CMH CMH CMH CMH KW W/m2 检验室

5-3 洁53 3 159 2385 477 600 1077 1308 24.24 457 净区

2400 1100 1300

面积

高度

体积 送风量

新风量

实际热

15 次换 5Pa 正

热负荷

名称

气次数 压（考 补充排 新风量 回风量 （校核

m

m3

虑泄 气

值） 指标 m2

计算

漏）

CMH

CMH CMH

CMH

CMH

KW W/m2

检验室

5-3 洁53

3

159

2385

477

600

1077

1308 17.04

322

净区

2400

1100

1300

2.3 恒温恒湿净化空调箱设备选型表

空调箱选型表

型号

空调箱名称

台数

参数

控制要求

1. 夏季室内湿度将表冷段空气控制在14℃露点温 度；冬季湿度由电极加湿器接受室内相对湿度传

感器信号进行控制；

1、送风量 2400CMH ，新风量

2. 夏季室内温度由经表冷器冷却降温后空气再经

1100CMH,机外余压 300Pa ；盘管

过室内温度传感器将控制信号传递给电加热器控

制冷量 27KW ，制热量 19KW ；电

制送风温度；冬季经室内温度传感器反馈给风冷

一次回风空

加热 3KW ；电极加湿器加湿量

涡旋热泵主机热量控制送风温度。

39CQ0609

111.5kg/h ； G4初效过滤器， F7

调箱

3、加湿器采用电极加湿，加湿量通过湿度传感器

袋式中效过滤器； 温度控制冬季

控制电动阀开度；

23± 1℃，夏季 23± 1℃，相对湿

4、室压控制通过控制送风量， 稳定排风量来实现；

度 60± 10%

6. 控制器需预留电动阀 / 露点传感器 / 温湿度传感

2、MAU 风机采用变频风机

器/ 滤网压差报警 / 尘度传感器 / 加湿器电动阀 / 排 气电动控制阀等接线点位；

7. 电加热器与风机联动控制；

8、风机采用变频风机；

2.4 主机选型

负荷计算表

夏季冷负荷

冬季热负荷

混合点焓值 KJ/kg 71.5 混合点焓值 KJ/kg 28.9 送风点焓值 KJ/kg

41.2 送风点焓值 KJ/kg

50.2