准分子激光器

附件一：相干激光器特点及选型

●准分子激光器原理：准分子为工作物质的一类气体激光器件。常用相对论电子束（能量

大于200千电子伏特）或横向快速脉冲放电来实现激励。当受激态准分子的不稳定分子键断裂而离解成基态原子时，受激态的能量以激光辐射的形式放出。

●准分子激光运用：

1.激光视力校正

2.脉冲激光沉积

3.微加工

4.卷轴式直接刻图

5.激光退火

6.布拉格光纤光栅刻写

美国相干公司：成立于1966年，是世界第一大激光器及相关光电子产品生产商，产品服务于科研、医疗、工业加工等多个行业；秉承40年的激光制造经验和创新精神，致力于提供一流的商业化激光器，促进科学研究不断进步、生产制造行业生产力和加工精度的不断提高；其全球化的销售、客户服务和技术支持网络更为客户提供全球范围内的合作和服务。常见紫外激光波长有：157 nm, 193 nm, 248 nm, 308 nm 及 351 nm。

根据客户要求，考虑到穿透深度和热效性等因素,为了避免接触边缘材料,选用EXS-200-248nm-XS，具体参数如下：

名称: EXS-200-248nm-XS

波长: 248um

管路设计: almeta XS

高压开关技术: 固态开关

预电离技术:电晕预电离

最大重复频率:200HZ 重频越高,单子能量越小,影响区域越小.

能量最大值: 12mj

能量正常值: 8mj

能源稳定（标准差）:2%

脉冲平均功率:1.6W

脉冲宽度（FWHM）: typ. 5 ns

光束尺寸（FWHM，vxh）: 6 mm x 3 mm

光束发散（FWHM，vxh）: 3 mrad x 1,5 mrad

附件2：光路系统:

光学系统

激光校正

定位系统

聚焦系统