硅片插片机使用说明 共20页PPT资料

其次，观察吸盘上是否有硅片，若有，请按“回放”， 然后将堵塞的硅片取出放回上料篮具中，即可点击“续 装”继续装片。
2、掉片报警
出现此报警经常由于硅片厚薄或是应力而导致硅片分离较 差，吸盘无法吸住硅片
处理方法：

1、判断来料硅片是厚薄还是应力，若是厚薄，可点击
“加料”，将篮具取出，旋转180°，放入点击“续装”即可。
3、双手同时提起篮具上料挡板，放入上料位， 使得篮具下小孔与上料位定位销重合，左右晃 动，检查篮具是否放稳。
4、装载小花篮
双手握住小花篮两边，先装前，后装后
花篮边缘务必要贴紧定位挡板
5、插片
开机复位后，警示灯黄灯亮，绿灯闪。确认两侧小花篮均已放好，点 击“自动启”或者同时按下插片机台面上的两个绿色按钮，此时花篮 位置下降到下位，警示灯黄灯灭，绿灯闪。
在自动启动状态下插片时常有Hale Waihona Puke Baidu篮堵片、拖片、破 片等不良状况，此时操作者需按“急停”按钮，常 出现如下状况：

点击触摸屏上“回 放”即可。回放操 作可将吸盘上的硅 片自动放入上料篮 具中，以便继续装 片。
1、硅片堵塞
若出现如左图的硅片堵塞情况 时，首先操作者应及时按下触 摸屏下方的“急停”红色按钮。 待设备处于停止状态时，将急 停按照顺时针方向松开
若是应力，拿出手动插片。
2、若硅片既不是厚薄也不是应力，即通知机修或技术员。
3、上料位有阻挡物报警

若出现此报警，是由于吹气分片太高，阻挡感应器接收到信 号所致。
处理方法：点击“加料”，将篮具取出，旋转180°翻放入继 续装片。
若无改善及时通知机修或技术员。
注意事项：
1、各班交接时，要仔细检查插片机篮具、插片机玻 璃条是否完好。
亿晶光电科技有限公司
清洗培训
——插片机
2019年清洗工序小组
主要内容：
插片机的主要构成 插片机操作 插片机注意事项
插片机主要构成

插片机结构

机台 篮具
插片机操作 1、开机
点击此按钮开机
开机请点击“开机复位”
2、装片
插片机篮具每台机配2个，篮具中有两层垫片。 在使用篮具前认真检查篮具四面的挡板是否完 好，尤其检查挡板与底板连接的螺丝处是否有裂痕。
待两个花篮均已装满时，即绿灯亮，黄灯亮，蜂 鸣器响。操作者可将花篮拿下来放在小车上，检查是 否有双片、破片、隐裂片，是否有硅片插斜等异常现 象，若无，即可准备上花篮夹。
5、关机
插片结束后，进行关机操作。点击“加料”，使得上料位处 于下位，即可按PLC下方的“停止”按钮，进行关机。
自动插片时的紧急情况处理
2、自动状态下，插片时，若发现变形的花篮要及时 做上“×”的标记。
3、在插片前，要检查小花篮是否放好 4、在插片时，避免硅片倒角与小花篮相撞 5、在插片时，注意观察拖片、碎片、卡片等异常，
并及时进行操作 6、加料时注意检查篮具是否有损坏
谢谢！
1、打开硅片盒，粗检硅片边缘是否有崩点、崩边 等不合 格品； 2、测量硅片尺寸； 3、以100片为单位，将硅片放入篮具中，每篮具 放片以400片为限 。
3、加料
1、一手拿着篮具挡板。一手拖住篮具底板， 整个篮具向身体的方向倾斜，避免由于篮具突 然损坏造成摔片。
2、准备加料：将篮具底板一边先放在插片机 台面上，向里推，平放