文丘里的工作原理

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文丘里工作原理
真空口最大承受压力 止回阀最大承受压差 驱动压力 氮气微流流速
材
质
主体
参
活塞
数
弹簧
密封
操作参数
托，真空度单 位wenku.baidu.com在80 psig (5.5 bar) ， 60 标升/分的氮气 流量时的真空 度。
可选密封材料
1torr=133.3pa
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岁修排风降至10%
排风量调节器 排风表头监控点
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文丘里工作原理
一般排风管道
环境
酸排风管 道
气柜探头 监控点
vent vent
酸性 气柜
vent
烷类/ 毒性 气柜
酸排风处 理装置
气柜探头 监控点
除毒装置（ASMC 8”毒 性气房和腐蚀性气房有 次装置）
AP71 S
系列
材质
MV4 FV6 TW4 CB009
氮气进口 排空口接 真空口接 氮气微 接口类型 口类型 口类型 流流速
➢625：1/4转隔膜阀
➢540：装配气动阀
真空口
排
排
放
放
N2进口
真空口
真空口
排
放
N2进口
N2
进
真空口
口
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空气进 口压力 表 燃料压力表
点火点1 显示器
点火点2 显示器
燃料流量阀
紧急制动 火焰状态显示器 排放口温度
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除毒系统工作原理
初
1.在对Burn-box进行操作之前确保所有装置都已安装完
始 启
毕，并且处于“OFF”状态。具体设备包括：电力系统、 房间排风、氮气。
气体出 口阀门
气体出 口压力 表流量计 （关）
GN2进 口隔离 阀
（关）
内部侧视图
内部前视图
气体进 口压力 表
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除毒系统工作原理
部件名称
By-pass valve 旁通阀 Inlet valve 进口阀 Outlet valve 出口阀 GN2单向阀 Inlet进气口压力表 GN2进口隔离阀
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文丘里工作原理
外观图
GN2进口 手阀
VGS 放空口
低压排空
文丘里的作用： ➢ 抽真空排放 ➢ 保持氮气流过，排放管道 干燥通畅 ➢ 单向功能
高压排空
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文丘里工作原理
文丘里排放
气柜探头监控点
排风：50-200帕斯卡
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文丘里工作原理
➢廉价 ➢制造方便
排气口
内
部
真空口
文丘里
结
阀门驱动
构
活塞 阀门驱动弹簧
图
单向阀
阀阀座
座
连续进气口 （可选）
氮气进气口
驱动控制端口 微流阀（可选）
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动
2.确保所有连接的气体管路都已经做过保压测漏。
AP71系列（目前TGCM主要使用）
真空口最大承受压力 氮气微流流速
AP72系列
真空口最大压 力及流速范围
真空口最大承受压力 氮气微流流速
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文丘里工作原理
AP72625 S 3PW MV4 FV6 TW4 CB005
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文丘里工作原理
真空口流速/slpm
Notes：
➢1. N2进口压力 小于10psig时，文 丘里不会产生真空 效应。
➢2. 当N2进口压力 大于90psig时，再 提高进口压力也不 会有明显效果。
真空口压力(in-Hg)
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排风口
工艺气进口
进口 燃烧室热电偶
变压器
出口热电偶 变相装置 漩涡器
工艺气放空
压力表
低压切换 点火点 溶解环
安全装置：温 度过热可导致 shutdown
火焰
工艺气进入燃烧
室燃烧后，通过
变相装置和漩涡
器使之与空气充
分混合冷却，从
而使出口温度低
于设定值。
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文丘里和除毒系统的工作原理 Venturi Vacuum Generator
Prepared By: ZXW November, 2008
Agenda
1
文丘里工作原理介绍
2
除毒系统工作原理介绍
3
Case study
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基本功能
如果进口压力过大，切换到旁通管道 控制气体进入筒体 控制气体由筒体排出 防止回流 监控进口压力 控制吹扫氮气开关
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除毒系统工作原理
工作原理
硅烷、砷烷、磷烷
出厂设置出 口温度不高 于200摄氏 度
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文丘里工作原理
结合伯努利原理与流体连续性方 程可以知道，对于理想流体，在 细处流速会增加，压强则会减少 ；文丘里管的窄口处就起到了抽 真空的作用。
氮气进口
吸力
为
什
么
能
产
生
真
空
效
排空
应
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文丘里工作原理
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文丘里工作原理
型号参数
Inch face seal male------英寸面密封公头 Inch face seal male------英寸面密封母头 Inch tube weld stub------英寸管焊接
slpm------标准升每分钟
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除毒系统工作原理
除什么？------ 取出气柜排空而出的含有某种有害物质的气体。 怎么除？------ 有毒气体在除毒系统筒体内与化学物质反应或燃
烧而解毒。
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除毒系统工作原理
气体进 口阀门
旁通阀