【CN109870879A】双光子聚合光刻胶、其制备方法及其固化方法【专利】

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910198057.X

(22)申请日 2019.03.15

(71)申请人 烟台市魔技纳米科技有限责任公司

地址 264006 山东省烟台市经济技术开发

区荣昌路1号，业达孵化

申请人 史强

(72)发明人 唐强　史强　

(74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限

公司 11227

代理人 赵青朵

(51)Int.Cl.

G03F 7/038(2006.01)

G03F 7/004(2006.01)

(54)发明名称

双光子聚合光刻胶、其制备方法及其固化方

法

(57)摘要

本发明提供了一种双光子聚合光刻胶，包

括：100重量份的硫醇类单体；65～100重量份的

烯烃类单体；0.2～10重量份的光引发剂；0.02～

1重量份的阻聚剂；75～100重量份的稀释剂。本

申请还提供了双光子聚合光刻胶的制备方法，本

申请还提供了双光子聚合光刻胶的固化方法。本

发明提供的双光子聚合负性光刻胶的原料硫醇

类单体和烯烃类单体原料易得、价格低廉，制备

条件温和，容易实现大规模生产；同时，该双光子

聚合光刻胶能够在曝光区域内快速有效成型，使

用激光直写技术分辨率高，可制备复杂三维微纳

结构，在光子晶体、微流体及芯片实验室等领域

具有巨大的潜在应用价值。权利要求书1页 说明书5页CN 109870879 A 2019.06.11

C N 109870879

A

1.一种双光子聚合光刻胶，

包括：

2.根据权利要求1所述的双光子聚合光刻胶，其特征在于，所述硫醇类单体为含有三个或三个以上硫醇封端的单体，所述烯烃类单体为含有两个或两个以上烯烃封端的单体。

3.根据权利要求1或2所述的双光子聚合光刻胶，其特征在于，所述硫醇类单体选自三羟甲基丙烷三(3-巯基丙酸酯)、异氰脲酸三[2-(3-巯基丙酰氧基)乙酯]、四(3-巯基丙酸)季戊四醇酯、四巯基乙酸季戊四醇酯和肌醇六(巯基丙酸酯)中的一种或多种；所述烯烃类单体选自二缩三乙二醇二甲基丙烯酸酯、三丙二醇二丙烯酸酯、四乙氧化双酚A二丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三(2-羟乙基)异氰脲酸三丙烯酸酯、三丙氧化丙三醇三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二-三羟甲基丙烷四丙烯酸酯、乙氧化季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯和二季戊四醇六丙烯酸酯中的一种或多种。

4.根据权利要求1或2所述的双光子聚合光刻胶，其特征在于，所述光引发剂选自IRGACURE 369、IRGACURE 819、DETC和4,4'-双(二甲氨基)二苯甲酮中的一种或多种；所述阻聚剂选自对苯二酚；所述稀释剂选自丙酮、N，N -二甲基甲酰胺和N，N -二甲基乙酰胺中的一种或多种。

5.根据权利要求1或2所述的双光子聚合光刻胶，其特征在于，所述烯烃类单体的含量为68～95重量份。

6.根据权利要求1或2所述的双光子聚合光刻胶，其特征在于，所述光引发剂的含量为0.8～8重量份。

7.权利要求1～6任一项所述的双光子聚合光刻胶的制备方法，包括：

将硫醇类单体、烯烃类单体、光引发剂、阻聚剂和稀释剂按照配比混合，搅拌后得到双光子聚合光刻胶。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述混合在棕色玻璃容器中进行，所述搅拌的时间为8～16h。

9.权利要求1～6任一项所述的双光子聚合光刻胶的固化方法，包括：

将硫醇类单体、烯烃类单体、光引发剂、阻聚剂和稀释剂按照比例混合，得到的混合物在近红外飞秒脉冲激光的作用下在光子强度高的焦点处产生双光子聚合，进行选择性固化。

10.根据权利要求9所述的固化方法，其特征在于，所述近红外飞秒脉冲激光的波长为600～1000nm。

权　利　要　求　书1/1页2CN 109870879 A