晶振的制造工艺流程和失效模式分析概要

石英晶体谐振器的制造工艺流程
密封性检查：检查封焊后的产品是否有漏气现象 粗检漏：检查较大的漏气现象(压差方式) 细检漏：检查较小的漏气现象;（压He方式）
石英晶体谐振器的制造工艺流程
老化及模拟回流焊：对产品加以高温长时间老化， 释放应力以及模拟客户使用环境，暴露制造缺陷， 以提高出货产品的可靠性。
石英晶体谐振器的工作原理
压电效应图解：
石英晶体谐振器的工作原理
为什么选用石英作为材料：
在二十多类具有压电效应的晶体中，石英晶体 是无线通讯设备中最为满意的材料之一。它的 机械强度高，物理化学性能稳定，内损耗低等， 用它制成的器件被广泛用在频率控制和频率选 择电路中。
石英晶体谐振器的制造工艺流程
石英晶体谐振器的组成和特性： 由石英片，电极，基座，上盖、导电胶组成， 其关键部分是石英片。石英片是弹性体，它有 固有频率。石英片也是压电体，谐振时，振动 幅度最大，阻抗最小；失谐时，阻抗迅速加大。
等效电路
结构图
石英晶体谐振器的制造工艺流程
石英晶片的切型： 在制造工艺中，首先要对石英晶体 原材料进行切割研磨处理，其中一道很重要的工序是定 角。由于石英片的取向不同，其压电特性、弹性特性和 强度特性就不同，用它来制造的谐振器的性能也不一样， 经过大量研究，已发现了几十种有用的切割方式。 切型 的习惯表示方法：AT， BT，CT，DT，ET，FC， SC， LC等
晶振的制造工艺流程和 失效模式分析
目
晶振的定义和分类
录
石英晶体谐振器的工作原理
石英晶体谐振器的制造工艺流程 石英晶体振荡器的介绍 晶振的应用 失效模式分析
晶振的定义和分类
晶振的定义: 晶振的英文名称为crystal. 石英晶 体经精密切割磨削并镀上电极焊上引线做成， 主要是为电路提供频率基准的元器件.
晶振的定义和分类
晶Baidu Nhomakorabea的分类：
2. 从封装形式上分有插脚型（PTH）和表面贴 装型（SMD）
插脚型（PTH）
表面贴装型(PTH)
石英晶体谐振器的工作原理
什么是石英：石英的化学成分为SiO2，晶体属 六方晶系的氧化物矿物，即低温石英（a-石 英），是石英族矿物中分布最广的一个矿物种。 广义的石英还包括高温石英（b-石英）。受压 或受热能产生 压电效应。
C0:静电容（pF）;C1:动态电容（fF）
L1:动态电感。(mH); RR:动态电阻。ohm Q:品质因数。Q=2πfL1/R1 TS:指定负载CL时测试的频率因负载电容变化而引起 的牵引能力。(ppm/pf) PWR:激励功率。(uW)
石英晶体振荡器的介绍
石英振荡电路主要由IC、石英谐振器（简称：晶体） X’TAL、电阻、PCB等组成，在实际应用中的线路原 理图如下
石英晶体谐振器的制造工艺流程
微调：采用离子轰击的方式来调整晶片表面电极的 厚度；使晶体谐振器的频率达到规定要求。
石英晶体谐振器的制造工艺流程
封焊：将基座与上盖放置在充满氮气(真空)的环境 中进行封焊，以保证产品的老化率符合要求，目前 比较常用的上盖为陶瓷或者金属，为了降低成本， 陶瓷封装将会越来越多。
石英晶体谐振器的制造工艺流程
打标：利用Laser在晶振的外壳上打上标记 如型 号，额定频率等等，以便于区分不同的产品。
石英晶体谐振器的制造工艺流程
测试包装：对成品进行电性能指标测试，剔除不良 品，保证产品质量。 测试OK的产品进行包装
石英晶体谐振器的制造工艺流程
石英晶体谐振器的基本参数： FL:指定负载CL时的谐振频率。 Fr:谐振频率;Xe=0时的频率） CL:特定负载谐振频率时的负载电容(pf)
石英晶体谐振器的制造工艺流程
石英晶片的制造工艺流程图：
石英晶体谐振器的制造工艺流程
石英晶片的制造工艺流程图：
石英晶体谐振器的制造工艺流程
石英谐振器的制造工艺流程图：
石英晶体谐振器的制造工艺流程
石英谐振器的制造工艺流程：
石英晶体谐振器的制造工艺流程
石英片的清洗：其实很多晶振厂商购买已经切割好 的石英片作为原材料，在制程中的第一步即为石英 晶片的清洗。 利用酒精，热水，IPA, 氨水和双氧水混合物，铬 酸溶液，纯水等溶剂，石英晶片放入超声波清洗机 中进行清洗，并使用无尘烤箱进行烘干处理。其目 的是为了去除石英晶片上的杂物，为下一步蒸镀作 准备。
石英晶体谐振器的工作原理
什么是压电效应：石英晶体在压力作用下产生 形变，同时产生电极化。其极化强度与压力成 正比。这种现象就称“正压电效应”。反之， 在电场作用下，晶体产生形变，其形变大小与 电场强度成正比，这种现象称“逆压电效应”。 利用压电效应，当极板外加交变电压时，产生 机械形变;机械形变反过来产生交变电场。机械 形变振幅较小，晶体振动的频率比较稳定。当 外加交变电压的频率和晶体的固有频率相等时， 机械振动的振幅急剧增加。
晶振的定义和分类
有源晶振内部含有石英晶体和匹配电容等外围 电路，精度高、输出信号稳定，不需要设计外 围电路、使用方便，但需要电源供电，有源晶 振一般是四管脚封状，有电源、地线、振荡输 出和一个空置端。使用有源晶振时要特别注意， 电源必须是稳压的且电源引线尽量短，并尽量 与系统中使用晶振信号的芯片共地。
晶振的定义和分类
晶振的分类：
1. 从功能上分晶振分为无源晶振和有源晶振。 无源晶振即为石英晶体谐振器 。而有源晶振即 位石英晶体振荡器。 无源晶振只是个石英晶体片，使用时需匹配相 应的电容、电感、电阻等外围电路才能工作， 精度比晶振要低，但它不需要电源供电，有起 振电路即可起振，一般有两个引脚，价格较低。
石英晶体谐振器的制造工艺流程
初镀基膜：用真空镀膜原理在洁净的石英晶片上蒸 镀薄银层或用离子轰击金靶溅射到晶片表面形成薄 金层，形成引出电极，并使其频率达到一定范围。
在蒸镀之前，须将石英晶片放入模具中，此模具 将须蒸镀的区域暴露出来，遮住无须蒸镀的地方。
石英晶体谐振器的制造工艺流程
上架点胶：将镀上银（金）电极的晶片装在基座上， 点上导电胶，并高温固化，通过弹片或PAD引出 电信号。