光电制程、半导体制程设备供应链-与-技术研发地图

框膠塗佈機 Seal Dispenser
帆宣 帆宣(擬開發)
7
紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口
2.TFT-Cell-FEOL段(3)
薄膜
光阻塗佈
曝光
顯影機 Developer
亞智 廣運 帆宣
8
紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口
2.TFT-Cell-FEOL段(4)-周邊設備或其他
光罩檢測系統 Photomask inspection
滾珠螺桿 Ball Screw
上銀 大銀
防著板,銅背板 Mask,
Backing Plate (Copper)
千附
鋁背板 Backing Plate
(for CVD)
千附
加熱器 Susceptor
千附
電極板及網板 Electrode & Grid
千附
擴散板 Diffuser
千附
EUV 172光源 EUV Excimer Lamp
Cullet Remover
清潔機 Cleaner
均豪、馗鼎 旭東、駐龍
廣運
偏光板貼附機 P/A, Polarizer
Attach M/C
七憶 易發
裝/拆自動化系統 Loader/Unloader
盟立、高僑 旭東、晉速 億尚、廣運
分片機 Dispenser
盟立 易發 旭東
EPC
PCB對位壓著機 PCB Bonder 易發 億尚
清潔機 Cleaner
均豪 亞智 駐龍 廣運
偏光板貼附機 P/A, Polarizer
Attach M/C
易發 七憶(擬開發)
裝/拆自動化系統 Loader/Unloader
盟立、高僑 旭東、億尚
AI蝕刻機、鋁蝕刻線 Al Etcher
帆宣 亞智
去光阻機、剝離線 Stripper
帆宣 勤友
乾式蝕刻機 Dry Etcher
帆宣 帆宣(擬開發)
資騰
列陣測試 Array Teste
Total Pitch 旭東
CD Overlay量測機 CD Overlay /
CDOL Measurement
晶彩
Particle Counter
線性滑軌 Linear Guideway
上銀 大銀
非接觸ITO模組值 測量器
Non-contact Resistivity
measurement
資騰
偏向膜零件表面處理 Surface treatment
漢泰
Brushless Motor & Servo Motor & G. Motor
宙揚
線性馬達 Linear Motor
由田
配向膜自動光學 檢測系統
PI AOI System – G5, G6, G7.5
由田
雷射修補機 Open /
Short Laser Repair
揚朋
PP- Box包裝機 PP- Box Packer
三橋
10
紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口
2.TFT-Cell-FEOL段(6)-零組件供應
裝/拆自動化系統, 收/放板機
Loader/Unloader
帆宣、盟立、高僑 緯瑩、旭東、晉速 億尚、廣運、勤友
磨邊倒角機/磨邊機 Grinding
均豪 緯瑩
Cullet Remover 旭東
清潔機/測洗設備 Cleaner
均豪、亞智 旭東、駐龍
廣運
Ionizer Blow
Brush
亞智 旭東
乾蝕刻清潔機 Plasma Cleaner
光電製程、半導體製程 設備供應鏈 與 技術研發地圖
1
一、光電製程 : 1.TFT-Array段(1)
基板受入前洗淨線 PEP1 Dense Cleaner
廣運
洗淨設備、 成膜前洗線 Pre-Depo Cleaner
帆宣 亞智 勤友
濺鍍機零件防著板 Sputter parts
漢泰 世禾 技鼎
Photo 展研
均豪 沛鑫 旭東
磨邊倒角機 Grinding
均豪
玻璃表面清潔機 Tape Cleaner
均豪 陽程
點燈檢查機 CT Prober
沛鑫 旭東 晉速
偏光板貼附機 P/A
(Polarizer attacher)
七憶 陽程 帆宣、帆宣(擬開發)
包裝機 Dense Packer
均豪、迅得 旭東、陽程 基丞、帆宣
自動傳送系統 Automatic Transfer
System
盟立 三橋
常壓電漿清潔設備 AP Plasma Cleaner
馗鼎
9
紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口
2.TFT-Cell-FEOL段(5)-周邊設備或其他
玻璃再生機(PI去除) PI rework
帆宣
PI灰化機 Dry Asher
COG對位壓合機 / 貼合機
COG Bonder
均豪、沛鑫 盟立、易發
億尚
FPC對位壓合機 / 貼合機
FPC Bonder
七憶、沛鑫 盟立、易發
億尚
PCB Test
高僑 旭東 晉速
老化測試設備/ 面板熟化
Aging Oven
志聖、盟立 高僑、晉速、廣運
帆宣(擬開發)
16
紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口
沛鑫
傳輸機/取片/ 排片/排序機 Changer / Exchanger
七憶、帆宣 均豪、盟立
旭東
面板阻抗量測機 Sheet Resist / Sheet Resistance
晶彩
TEG
檢測機 Vision Inspection
旭東 大銀 揚朋 政美
Surface Profiler
巨量檢測機 / 巨觀檢查機 Macro / Micro
自動傳送系統 Automatic Transfer
System
盟立
BC/EAP 羽冠
輸送帶 Conveyor
帆宣
MES 羽冠(擬開發)
拍照機 Review
晶彩
離子雲植入機 Ion Shower Doping System
帆宣
4
紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口
1.TFT-Array段(4)-零組件供應
大銀
線性滑軌 Linear Guideway
大銀
11
紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口
玻璃切割機 Glass Cutting
均豪、緯瑩 漢泰、億尚
資騰
濕製程洗淨機 Wet Cleaner
亞智 億尚 廣運 霖豐
Βιβλιοθήκη Baidu
3.TFT-Cell-BEOL段(1)
玻璃裂片檢測機 (切割後檢查機) Burr Checker (AOI)
Aligner
帆宣(擬開發)
UV Cure 志聖
基板貼合精度檢查機
旭東 帆宣(擬開發)
框膠硬烤爐 Seal Main Cure oven
志聖 能麒 霖豐
大基板貼合後 人工檢查機 LC Inspection
陽程
Photo Spacer 高度檢查機
Photo Spacer Level Mete
沛鑫、旭東、勤友 帆宣、陽程(擬開發)
5.TFT-Module/LCM段-中尺寸(2)
AFT
ACF貼附 ACF Attachment
七億
零
組
件 Brushless Motor &
供
Servo Motor &
應
G. Motor
宙揚
MES/BC/EAP 羽冠
線性馬達 Linear Motor
大銀
自動傳送系統 Automatic Transfer
System
盟立 三橋
↙周邊設備或其他
雷射修補機 Module Laser Repair
揚朋
滾珠螺桿 Ball Screw
大銀
線性滑軌 Linear Guideway
大銀
17
紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口
→
6.TFT-Module/LCM段-大尺寸(1)
磨邊倒角機 Grinding
均豪
Cullet Remover
Digital Macro AOI System
由田
濺鍍機零件, 乾蝕刻 機零件,化學層積 零件表面處理 Parts cleaning surface treatment
漢泰
顯影設備 Developer
亞智(擬開發)
良率管理系統 SUNS System
晶彩
真空chamber銲接 Welding
漢泰(擬開發)
面板自動檢測 光學系統
Automated Panel Inspection System
由田
線性馬達 Linear Motor
大銀
滾珠螺桿 Ball Screw
大銀
線性滑軌 Linear Guideway
大銀
13
紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口
4.TFT-Module/LCM段-小尺寸(1)
↙周邊設備或其他
面板測試 Panel test
旺矽
線性馬達 Linear Motor
大銀
滾珠螺桿 Ball Screw
大銀
線性滑軌 Linear Guideway
大銀
←零組件供應
15
紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口
5.TFT-Module/LCM段-中尺寸(1)
磨邊倒角機 Grinding
均豪 沛鑫
12
紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口
3.TFT-Cell-BEOL段(2)-周邊設備或其他、零組件
PP-Box包裝/ 解包裝機
PP-Box Packer / Unpacker
迅得
Brushless Motor & Servo Motor & G. Motor
宙揚
面板薄形化研磨設備 陽程(擬開發)
資騰
Cell段轉寫機 搭配之恆溫機
元捷
Cell段磨刷機 搭配之加溼器
元捷
Spacer乾式洗淨設備 元捷
整廠無塵室 風扇過濾裝置
FFU UNIT
元捷
P.P. Box 乾式洗淨設備
元捷(擬開發)
自動複檢儀器 Auto Review Machine
由田
框膠自動光學 檢測系統
Seal AOI System – G5, G6, G7.5
PI轉寫機
PI預烤爐 / PI烤爐 Pi Pre-Cure / Pi Post Bake
志聖 能麒
PI轉寫後檢查機 PI Inspection System
宏瀨
PI烤爐 PI MAIN CURE OVEN
能麒
Rubbing Machine
Rubbing後人工檢查機 Rubbing Inspection
陽程 迅得(擬開發)
Rubbing後洗淨設備
亞智 億尚 勤友
液晶脫泡機 L.C.
緯瑩 億尚
框膠脫泡機
C/F Anneal Oven
志聖 能麒
框膠塗佈機 Seal Dispenser
帆宣 帆宣(擬開發)
6
紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口
2.TFT-Cell-FEOL段(2)
液晶注入機 / 液晶滴入機 Liquid Crystal Dispenser
帆宣
BC/EAP 羽冠
MES 羽冠(擬開發)
ARC Oven 志聖
IRCP 志聖
HPCP 志聖
異物計算機 Cell Particle Counter
晶彩
Seal光學檢測機 Cell Seal AOI
晶彩
PI光學檢測機 Cell PI AOI
晶彩
切裂光學檢測機 Cell Burr Check AOI
晶彩
帆宣、帆宣(擬開發) 晶彩(擬開發)
Spacer Scatter
Ball spacer 光學檢測機 Spacer Counter Inspector / Cell Spacer AOI
晶彩
Spacer Prebake Oven
能麒
Common Paste Dispenser
真空貼合機 Vacuum Panel
均豪 志聖 馗鼎 旭東
自動檢測 / 視覺檢測 AOI
均豪 旭東 晉速
偏光板貼附機 P/A,
Polarizer Attach M/C
七憶 易發
對位貼合機 / 對位壓著機 COG Bonder
均豪、緯瑩 易發、旭東
分片機/點膠機 Dispenser
AMT
盟立 緯瑩 易發 旭東
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紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口
4.TFT-Module/LCM段-小尺寸(2)
老化測試設備/ 面板熟化設備系統
Aging Oven 志聖、盟立 高僑、晉速 帆宣、廣運
MES/BC/EAP 羽冠
Brushless Motor & Servo Motor & G. Motor
宙揚
雷射修補機 Module Laser Repair
揚朋
均豪、高僑 大銀、宏瀨 廣運、資騰
光學檢測機 / 視覺檢測 / 自動檢查機 AOI
晶彩、由田 大銀、資騰
3
紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口
1.TFT-Array段(3)-周邊設備或其他
常壓電漿清潔設備 AP Plasma Cleaner
馗鼎
堆疊式解包設備 Dense Unpack
陽程
巨觀自動光學 檢測系統
資騰
Brushless Motor & Servo Motor & G. Motor
宙揚
線性馬達 Linear Motor
大銀
線性滑軌 Linear Guideway
大銀
5
紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口
PI前洗淨設備 Pre-PI Cleaner
亞智 億尚 勤友
2.TFT-Cell-FEOL段(1)
回火機 Anneal Oven
旭東 勤友 技鼎
帆宣 志聖 能麒 資騰
2
紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口
CVD
反射率量測機 Reflectometer
晶彩
Ellipsometer
1.TFT-Array段(2)
雷射修補機 Laser Repair
均豪、沛鑫 晶彩、大銀 旭東、揚朋
雷射CVD修補機 Laser CVD