防静电工作台检测规范

防静电工作台检测规范

1 目的

定义防静电工作台检测方法和频率。 2 范围

厂内所有防静电工作台 3 参考文件

阻抗测试仪操作指导书 4 程序

4.1 检测环境

温度：15℃~30℃ 湿度：30% ~70% 4.2 检测设备

静电测量仪 (型号：41201-19250) 4.3 表面阻抗检测方法

4.3.1 取点（按照图片取4组点）

4.3.2 将静电检测仪的两极放在指定位置。

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4.3.3开始测量(仪器使用方法参考：阻抗测试仪操作指导书)

4.3.4记录检测结果。（只记录一个点，按照最大的阻值记录）

4.4对地阻抗检测方法

4.4.1取点（按照图片取4组点）

4.4.2将静电检测仪的一个极放在桌面指定位置，一个极放在地上。

4.4.3开始测量(仪器使用方法参考：阻抗测试仪操作指导书)

4.4.4记录检测结果。（只记录一个点，按照最大的阻值记录）

4.5检测频率：

4.5.1新铺设防静电皮的工作台。

4.5.2每半年检测一次。

测试仪器：测试人：

环境温度：环境湿度：

注：工作台的表面电阻值、系统电阻值在106~109之间为合格