石英玻璃之洗净方法

石英玻璃之洗净方法

石英玻璃在半导体工业设备上，使用温度经常在1000℃至1300℃之高温状态，在此种状态下由于附著不纯物导致失透现象发生，失透之部分为石英之晶质化，晶质化之变态点为275℃，当石英玻璃自高温降至此变态温度时，表面失透之晶质化部分与石英玻璃本身高温之α相与低温之β相间膨胀系数不同在急速冷却下产生不透明之剥离状，更严重时会造成破裂现象产生。为使石英制品能使用更久，就必须注意防止造成石英失透产生的原因，而造成失透的污染源就属碱金属、碱土金属、汗水、口水、油污、尘埃……等等。且0.1mg/cm2l}k

就会造成数十倍或数百倍的失透量。因此，防止这些污染源附著在石英表面上除了不直接用空手去拿石英外，使用在高温作业之前必先做清洗之工作以确保石英表面之洁净度。

一般石英之洗净须要一些程序，首先用纯水先冲洗表面，再置入酸洗槽内浸泡一些时间，取出后再用纯水冲洗后晾干。酸液之种类如下：

◆种类/项目浓度时间P_!

◆氟酸（HF）47.0%~52.0% 1~2分钟

◆氟酸（HF） 5.0%~10% 10~15分钟

◆氟酸+硝酸50%+65% 10~15分钟_

◆氟酸+硫酸50%+65% 10~15分钟石英玻璃专利技术

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67、制作石英玻璃的方法-

68、制作石英玻璃的方法

热性能电性能机械性能

石英玻璃热膨胀系数是：5.5x10-7cm/cm. ℃,是铜的1/34，是硼硅酸盐的1/7，这一特性，使其用于光学镜头，高温窗口以及要求对热变化敏感达到最低的光学应用。石英玻璃具有良好的抗热冲击性能，将1毫米厚的石英玻璃片加热的1200度，迅速投入冷水中数次，也不会产生损坏。电性能1,h

石英玻璃仅含有微量的碱金属离子，属不良导体。它的介电损失对全部频率都很小。作为固体绝缘体，其电气和机械性能远较其他材料优越。在常温下，透明和不透明石英玻璃的固有电阻分别为1019和1016ohm cm，相当于普通玻璃的103-106倍。在常温下，透明和不透明石英玻璃的绝缘耐压分别是43千伏/毫米和32千伏/毫米。。机械性能W

石英玻璃的机械性能和其他玻璃相似，其强度取决于玻璃中的微裂纹。弹性模数，抗拉强度,抗折强度随温度增加而增加，1050-1200度达到最大值。推荐用户使用的设计抗压强度为1.1×109Pa, 抗拉强度4.8×107Pa. 二步法工艺：分两步工艺生产石英玻璃制品的方法。典型方法是第一步用真空电阻炉法或气炼法生产的石英坨，再将石英坨放入电阻炉中二次拉管。透明石英玻璃由于具有从紫外区到红外区优良的光透过性和耐热性，所以广泛使用于水银灯、超高压水银灯、氙灯、紫外线灯、碘钨灯、卤素灯、气体激光用灯、金属卤化物灯等电光源。w

中国照明用石英玻璃按行业标准：Al、Ca、Mg、Ti、Fe五种元素，优等品<50ppm，一等品<70ppm，合格品<1000ppm，羟基含量优等品<3ppm，一等品<5ppm，合格品<10ppm。