微波等离子体设备技..

微波等离子体设备

技术方案

1．设备简述：

微波等离子体设备由椭球谐振腔、真空室、沉积台、真空系统、气体流量控制系统、真空测量系统、水冷循环水压报警系统以及机架等组成。

示意图

2．设备结构

2.1椭球谐振腔

2.1.1材料：椭球谐振腔采用优质不锈钢1Cr18Ni9Ti；

2.1.2尺寸：径向450mm×轴向600mm，壁厚5mm，椭球边界满足方程式：(X2 /4502)+ (Y2 /6002)=1；2.1.3连接法兰：椭球谐振腔上下连接法兰可以独立拆卸，对微波密封；

2.1.4 观察窗：在椭球谐振腔的适当位置设置多个观察孔，使视线能看到石英钟罩内的等离子体和衬底，

衬底和等离子体的位置，观察孔的尺寸以不泄漏微波为准（直径为≤2 mm的孔）；

2.2 真空室、沉积台

2.2.1 真空室：真空室采用石英钟罩Ф230mm；

2.2.2 沉积台：真空室内沉积台采用优质不锈钢，能够下降开启，方便移出真空室内样品；对沉积台设置

水冷，水冷的主要部位为中心位置为50mm的圆及胶圈的密封部位，冷却能力今后要达到5kW；沉积台中心设置光纤测温孔

2.2.3 其它

2.2.

3.1 沉积台设有轴向位置标尺；

2.2.

3.2 Ф6mm手动放气阀；

2.2.

3.3 进气口；

2.3 真空系统

2.3.1 真空机组: 机械泵,抽速2L/S；

2.3.2 真空阀门：手动挡板阀、针阀各1只；

2.3.3 真空测量：采用电阻真空计测量；

2.4 进气系统

采用三路质量流量计控制，每路均设有手动截止阀

●Ar: 200 ml /min

●H2: 200 ml /min

●CH4: 30 ml/min

2.5微波电源系统

采用800W微波电源，矩形波导传输微波，同轴天线进行模式转换和将微波导入椭球谐振腔；

2.6 电气控制系统

2.6.1整套控制系统采用手动按钮控制，独立的电气控制柜；

2.6.2．控制内容：

2.6.2.1．机械泵的起、停；

2.6.2.2．在缺水情况下的报警系统；

2.6.2.3．气体流量显示；

2.6.2.4. 真空显示；

3．系统配置