四氟甲烷;四氟化碳化学品安全技术说明书MSDS
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包装与储运
危险性类别：
第2．2类不燃气体
危险货物包装标志：
3包装类别：Ⅱ
储运注意事项：
不燃性压缩气体。储存于阴凉、通风仓间内。仓温不宜超过30℃。远离火种、热源。防止阳光直射。应与易燃、可燃物分开存放。验收时要注意品名，注意验瓶日期，先进仓的先发用。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。
废弃：根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系，确定处置方法。包装方法：钢质气瓶。
其他
避免高浓度吸入。进入罐或其它高浓度区作业，须有人监护。
无色无臭气体。
主要用途：
用作低温致冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻。
熔点：
-183.6沸点：-128.0
相对密度(水=1)：
1.61/-130℃相对密度(空气=1):无资料
饱和蒸汽压(kPa)：
13.33/-150.7℃
溶解性：
不溶于水。
临界温度(℃)：
-45.5临界压力(MPa)：3.74燃烧热(kj/mol)：无意义
燃烧爆炸危险性
燃烧性：
不燃建规火险分级：戊
闪点(℃)：
无意义自燃温度(℃)：无意义
爆炸下限(V%)：
无意义爆炸上限(V%)：无意义
危险特性：
若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。
燃烧(分解)产物：
氟化氢。稳定性：稳定
聚合危害：
不能出不燃。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。
毒性危害
接触限值：
中国MAC：未制定标准；苏联MAC：未制定标准；
美国TWA：未制定标准；美国STEL：未制定标准
侵入途径：
吸入
毒性：
健康危害：
能引起快速窒息。接触后可引起头痛、恶心和呕吐。
急救
皮肤接触：
眼睛接触：
吸入：
脱离现场至空气新鲜处。必要时进行人工呼吸。就医。
食入：
防护措施
工程控制：
生产过程密闭，全面通风。
呼吸系统防护：
高浓度环境中，建议佩带供气式呼吸器或自给式呼吸器。
眼睛防护：
一般不需特殊防护。
防护服：
穿工作服。
手防护：
一般不需特殊防护。
泄漏处置
迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并隔离直至气体散尽，建议应急处理人员戴自给式呼吸器，穿相应的工作服。切断气源，通风对流，稀释扩散。如有可能，即时使用。漏气容器不能再用，且要经过技术处理以清除可能剩下的气体。
四氟甲烷；四氟化碳
标识
中文名：
四氟甲烷；四氟化碳
英文名：
Tetrafluoromethane；Carbon tetrafluoride
分子式：
CF4分子量：88.01
CAS号：
75-73-0RTECS号：FG4920000
UN编号：
1982危险货物编号：22033IMDG规则页码：2182
理化性质
外观与性状：
危险性类别：
第2．2类不燃气体
危险货物包装标志：
3包装类别：Ⅱ
储运注意事项：
不燃性压缩气体。储存于阴凉、通风仓间内。仓温不宜超过30℃。远离火种、热源。防止阳光直射。应与易燃、可燃物分开存放。验收时要注意品名，注意验瓶日期，先进仓的先发用。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。
废弃：根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系，确定处置方法。包装方法：钢质气瓶。
其他
避免高浓度吸入。进入罐或其它高浓度区作业，须有人监护。
无色无臭气体。
主要用途：
用作低温致冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻。
熔点：
-183.6沸点：-128.0
相对密度(水=1)：
1.61/-130℃相对密度(空气=1):无资料
饱和蒸汽压(kPa)：
13.33/-150.7℃
溶解性：
不溶于水。
临界温度(℃)：
-45.5临界压力(MPa)：3.74燃烧热(kj/mol)：无意义
燃烧爆炸危险性
燃烧性：
不燃建规火险分级：戊
闪点(℃)：
无意义自燃温度(℃)：无意义
爆炸下限(V%)：
无意义爆炸上限(V%)：无意义
危险特性：
若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。
燃烧(分解)产物：
氟化氢。稳定性：稳定
聚合危害：
不能出不燃。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。
毒性危害
接触限值：
中国MAC：未制定标准；苏联MAC：未制定标准；
美国TWA：未制定标准；美国STEL：未制定标准
侵入途径：
吸入
毒性：
健康危害：
能引起快速窒息。接触后可引起头痛、恶心和呕吐。
急救
皮肤接触：
眼睛接触：
吸入：
脱离现场至空气新鲜处。必要时进行人工呼吸。就医。
食入：
防护措施
工程控制：
生产过程密闭，全面通风。
呼吸系统防护：
高浓度环境中，建议佩带供气式呼吸器或自给式呼吸器。
眼睛防护：
一般不需特殊防护。
防护服：
穿工作服。
手防护：
一般不需特殊防护。
泄漏处置
迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并隔离直至气体散尽，建议应急处理人员戴自给式呼吸器，穿相应的工作服。切断气源，通风对流，稀释扩散。如有可能，即时使用。漏气容器不能再用，且要经过技术处理以清除可能剩下的气体。
四氟甲烷；四氟化碳
标识
中文名：
四氟甲烷；四氟化碳
英文名：
Tetrafluoromethane；Carbon tetrafluoride
分子式：
CF4分子量：88.01
CAS号：
75-73-0RTECS号：FG4920000
UN编号：
1982危险货物编号：22033IMDG规则页码：2182
理化性质
外观与性状：