ITO导电玻璃检验标准

3.9.7附着力(只做周频次检测)
用胶带贴附在膜层表面并迅速撕下，ITO膜层无损伤,证明膜层附着力合格.
3.9.8热稳定性(做日频次检测)
在大气状态下放于300℃±30℃加热炉中，恒温加热30分钟后，在大气中自然泠却,ITO导电膜层方块电阻值应不大于原方块电阻值的300%。
3.10公司采用GB2828.1-2003抽样方法进行抽样检验以迎合客户的需要。抽样检验的AQL值和IL值见下表。如果正星光电技术有限公司批量产品因品质问题在客户处出现特采、退货、换货等情况，则客户有权要求正星光电技术有限公司对产品在下表所示的抽检标准的基础上进行加严检验。
≥82%
≤70S
600±200?
150℃烤1H≤110%
30Ω
20-30
≥81%
≤105S
800±200?
150℃烤1H≤110%
15Ω
15
≥80%
≤210S
1500±500?
150℃烤1H≤110%
3.8可靠性实验
3.8.1 ITO膜层可靠性实验
序号
实验
项目
测试标准范围
检验方法
1
刻蚀
时间
≤10A/秒
图5点状缺陷的尺寸图6划伤图形的尺寸
3.6.1双面ITO产品表面质量检验标准
No
缺陷分类
A品标准范围
B品
测量方法
1
内部气泡、杂质点、针眼、污点、锡斑、亮点、表面凹凸点、颗粒
d=(W+L)/2
d≤0.05mm不计
0.05<d≤0.20mm最多2个/片
d>0.20mm不允许
D≤0.2mm,10个/片,允许; D>0.2mm,不允许.
≥86%
≤40S
300 ?±50?
无色透明
60Ω
40～60
≥84%
≤60S
350 ?±50?
无色透明
50Ω
40～50
≥82%
≤60S
450 ?±50?
无色透明
40Ω
30～40
≥82%
≤60S
500 ?±100?
无色透明
30Ω
25～30
≥81%
≤100S
700 ?±100?
无色透明
25Ω
20～25
≥80%
No
检验项目
AQL
IL
1
规格
N=5 R=1
R/A
2
垂直度
N=5 R=1
R/A
3
表面质量
1.0
一般I
4
翘曲度
N=5 R=1
R/A
5
磨边倒角
N=5 R=1
R/A
6
平面度
N=5 R=1
R/A
7
透过率
N=5 R=1
R/A
8
面电阻
1.0
一般I
9
膜层性能
N=5 R=1
R/A
3.10.1 本公司的测量设备经过周期检定，可以追溯至国家标准或国际标准，以保证测量数据的准确性。
a)酸刻液配制:酸刻液按如下比例配置: H2O:HCL:HNO3=50:50:3(体积比),实际按纯水100ML:盐酸 (36%)100ML:硝酸6ML配制;将此刻蚀液入刻蚀烧杯内,保持温度为55℃±2℃
b)将玻璃片切成约40mmX120mm长条状,用D水清洗,冲洗、吹干后，放入刻蚀液中蚀刻;产品的蚀刻时间测定按3.7.2执行,产品在规定的时间全部刻蚀掉ITO膜层,说明该产品ITO膜层酸刻指标合格.
7Ω
4～7
≥77%
≤300S
2500?±200?
紫红色
5Ω
3～5
≥78%
≤350S
3100 ?±400?
绿色
低温产品检验标准
产品规格
电阻范围Ω/□
透过率
刻蚀时间
膜厚
热稳
TFT≤1000Ω
500-700
≥97%
≤20S
120±50?
120℃烤1H≤110%
150Ω
100-150
≥87%
≤30S
250±50?
Rt/R0≤110%
60℃，90%RH，48H
9
水煮
膜层无开裂及脱落
纯水100℃时间24H
Na+≤15ug/dm2,
纯水96±2℃ 48H(LCD产品)
备注：R0为实验前电阻，Rt为实验后电阻
3.9 检测方法操作
3.9.1SiO2阻挡性能水煮试验(用于LCD产品,只做半年频次检测)
在96±2℃进行48小时水浴锅,将试验溶液装好送外检测,测量基片中迁移出来的钠离子质量,若 Na+质量M≤15ug/dm2,则SiO2阻挡层试验合格.
3
耐碱性
Rt/R0≤110%
10%NaOH 60℃5min
4
耐酸性
Rt/R0≤110%
6%HCL，25℃2min
5
耐溶
剂性
Rt/R0≤110%
IPA、丙酮或酒精25℃5min
6
附着性
无掉膜
使用百格刀在基板上划1*1mm方格，用3M 610#胶带粘玻璃
7
耐磨性
无开路
用橡皮1公斤力摩擦玻璃1000次
8
耐湿性
3.10.2 本公司对出厂的产品提供出厂检验报告，为客户提供真实，准确的产品参数以方便客户使用。
4.0包装和标识
4.1 正星光电技术有限公司的产品使用标准包装，可以根据客户要求更换包装。
4.2 包装描述
4.2.1 玻璃与玻璃之间采用隔条间隔或采用拷贝纸间隔，以防止玻璃间的相互滑动造成划伤。
4
4.2.1.2 使用隔条间隔时，1.1 mm 、0.7 mm 、0.55 mm 、0.50mm、0.40mm规格均为10片每包，上下各放一张厚度不小于1.1mm的挡板玻璃（挡板玻璃确保磨边无锐角），用热塑膜对玻璃进行包裹形成玻璃小包装。
4
污染
使用专用清洗剂经过正常清洗过程后清洗不干净的沾污不允许
5
膜层针孔
d=(L+W)/2
d≤0.05mm不计
0.05<d≤0.20mm最多2个/片
d>0.20mm不允许
d≤0.05mm不计
0.05<d≤0.20mm最多10个/片
d>0.20mm不允许
6
毛边.锡斑.
发霉
批量性.表面看比较明显不允许
7
手指印
图1 玻璃基片的垂直度
3.3 弯曲度（h/L)
图2 玻璃基片的弯曲度，不允许S形弯曲
3.4微观波纹度（玻璃的浮法锡面）
微观表面波纹度的数值Rt的最大值应符合表2要求
序号
厚度
玻璃类型பைடு நூலகம்
弯曲度
微观波纹度
1
1.10mm
非强化
≤0.10%
≤0.15um/20mm
强化
≤0.20%
2
0.70mm
非强化
≤0.15%
4.2.1.3 使用拷贝纸间隔包装时，1.1mm为20片每包，0.7 mm为25片每包，0.55 mm 、0.5 mm、 0.4 mm、0.3mm 均为30片每包。
4.2.2正星光电技术有限公司使用木箱包装玻璃，木箱底层泡沫厚度不小于30mm，四周的泡沫厚度不小于30mm，中间的泡沫厚度不小于30mm，我司将小包装装入木箱。木箱盖先用铁钉固定，再用三根包装钢带扎紧，且钢带位置固定在箱盖加强筋上，确保箱盖不张开。
1.0范围
本标准准适用于正星光电科技有限公司生产的ITO产品。
2.0规范性引用文件
2.1JIS B0601—1994表面微观波纹度测量过程和方法的标准。
2.2GB2828—2003计数抽样检验程序[第一部分 按照接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划]。
3.0玻璃基片的规格
3.1 长度及宽度的允许偏差、厚度允许偏差表
超出边缘5mm，批量性可擦拭不允许
8
亮道划伤.污渍.手指印.轮印
偶尔1-2片日光灯不可见允许，批量性日光灯不可见不允许。
9
颜色
日光灯检验有异色不允许
10
漏镀ITO
不允许
11
裂 纹
不允许
12
结疤
不允许
13
玻璃屑
不允许
14
粘附力
不允许
15
质量保证区
允许边缘5mm
质量保证区域以外,即四周边缘5mm以内区域除崩边角,裂纹、毛边较严重以外的其他种类缺陷(包括划伤、气泡、针眼、污渍、节疤)可以不考虑。
刻蚀液成分：HCL：H2O：HNO3=50：50：3，刻蚀温度：55±2℃
2
热稳
定性
Rt/R0≤300%
条件：烤烘温度300℃30min(TN/STN)
Rt/R0≤110%
高温ITO条件：烤烘温度180℃60min(TP/HTP)
Rt/R0≤110%
低温ITO(OGS)条件：烤烘温度150℃60min(XY)
3.9.2 光学性能
在波长为550nm时，不同规格ITO玻璃成品的透过率满足3.7.2。
3.9.3SiO2膜层厚度
SiO2膜层厚度为250?±50?。（也可根据客户要求而订）
3.9.4 电学性能(做日频次检验)
不同规格ITO导电膜玻璃的方块电阻及ITO膜层膜厚应符合3.7.2。
3.9.5 蚀刻性能测试(做日频次检验)
离玻璃30cm检验
图6 检验方法
3.7膜层质量
3.7.1电阻测试:距边缘20mm用四探针检测面电阻.
3.7.2镀ITO导电玻璃膜层参数指标
高温产品检验标准
产品规格
电阻范围Ω/□
透过率
刻蚀时间
膜厚
颜色
HTP500Ω
400～500
≥94%
≤20S
120 ?±30?
淡紫红-淡蓝色
XY TP500Ω
400～500
≥90%
≤20S
120 ?±30?
无色透明
XY双面ITO
正面60～120,反面180-300
≥87%
≤30S
正面:250?±50?
反面:150?±50?
无色透明
XY双面ITO
正面80～120,反面200-300
≥87%
≤30S
正面:250?±50?
反面:150?±50?
无色透明
TP500Ω
400～500
≥90%
≤20S
120 ?±30?
无色透明
TP400Ω
350～450
≥90%
≤20S
120 ?±30?
无色透明
150Ω
100～150
≥87%
≤20S
220?±50?
无色透明
100Ω
80～100
≥87%
≤30S
250 ?±50?
无色透明
90Ω
70～90
≥87%
≤30S
250 ?±50?
无色透明
80Ω
60～80
c)不同规格的ITO导电膜玻璃经上面酸刻试验,ITO导电膜层在刻蚀性能上满足3.7.2要求;则刻蚀性能指标为合格。
3.9.6化学稳定性测试(只做月频次检测)
a)耐碱性(只做月频次检测)
在温度为60℃±2℃、浓度为10%的氢氧化钠（分析纯）溶液中浸泡5分钟后，ITO导电膜层方块电阻值应不超过原方块电阻值的110%..
≤120S
800 ?±100?
无色透明
20Ω
15～20
≥80%
≤140S
900 ?±150?
无色透明
17Ω
13～17
≥82%
≤140S
1100 ?±150?
淡黄色-金黄色
15Ω
10～15
≥82%
≤180S
1250 ?±200?
淡紫红-紫红色
10Ω
7～10
≥82%
≤250S
1800 ?±200?
青蓝色
b)耐酸性(只做月频次检测)
在温度为25℃±2℃的6%的HCL的溶液中浸泡2分钟后，ITO导电膜层方块电阻值应不超过原方块电阻值的110%.
c)耐溶剂性能(只做月频次检测)
在丙酮（分析纯）、无水乙醇（分析纯）或100份去离子水加3份EC101配制成的25℃清洗液中浸泡5分钟后，ITO导电膜层方块电阻值应不超过原方块电阻值的110%
70Ω
50-70
≥86%
≤60S
400±100?
150℃烤1H≤110%
80Ω
40-80
≥86%
≤60S
400±100?
150℃烤1H≤110%
60Ω
40-60
≥84%
≤65S
400±100?
150℃烤1H≤110%
50Ω
40-50
≥84%
≤65S
450±100?
150℃烤1H≤110%
40Ω
30-40
≤0.20um/20mm
强化
≤0.25%
3
0.55mm
非强化
≤0.15%
≤0.25um/20mm
强化
≤0.30%
4
0.4/033mm
非强化
≤0.15%
≤0.30um/20mm
强化
≤0.30%
3.5磨边倒角:
R型边
编号
项目
标准要求
检验方法
1
C型倒边
0.05mm≤W≤0.4mm
10倍放大镜
2
R型倒边
宽度:0.1mm≤W≤1.0 曲半径: R≤50mm
序号
检验项目
标准范围
测量方法
1
长度/宽度
±0.20mm
数显游标卡尺
2
厚度
1.10mm±0.1mm
0.70mm±0.05mm
0. 55mm±0.05mm
0.4/0.33mm±0.05mm
千分尺
3
垂直度
≤0.10%
宽座角尺和塞尺
3.2垂直度
玻璃基片的垂直度的公差等级a/L≤0.1%（见图1，a为公差带，L为被测玻璃基片的相应边长）。
裸眼≥
1000LUX（30W日光灯）
光照条件
距离玻璃 30cm
（注：客户有特别要求的，以客户要求为准）
2
玻筋
日光灯下不可见
3
划伤
宽度W≤0.03mm,不计;0.03mm≤W≤0.07mm,单个长度≤3mm,1条/片允许;W>0.07mm,不允许.
W≤1mm,单个长度≤100mm,1条/片允许.单个长度≤50mm,2条/片允许.单个长度≤10mm,5条/片允许.单个长度≤5mm,不计.间隔距离100mm以上W>1mm,不允许.
150℃烤1H≤110%
120Ω
80-120
≥87%
≤30S
300±50?
150℃烤1H≤110%
100Ω
80-100
≥87%
≤30S
300±50?
150℃烤1H≤110%
90Ω
70-90
≥87%
≤35S
300±50?
150℃烤1H≤110%
80Ω
60-80
≥86%
≤40S
350±50?
150℃烤1H≤110%
10倍放大镜
3
标识角
b=2.0±1.0mm
c=5.0±1.0mm
10倍放大镜
4
相同角
A=1.5±0.5mm
10倍放大镜
5
崩边
长≤1mm,宽≤0.3mm
深度≤1/2基片厚度
10倍放大镜
6
破裂
不允许
目测
7
边、角未磨
不允许
目测
3.6表面质量
包括内部气泡、夹杂物、表面凹坑、异色点等。
点状缺陷的直径d定义为：d=（L+W）/2，见图5。划伤缺陷的定义为：L 3mm,W 0.03-0.07mm见图6：