TFT-LCD简介说课讲解

RF
受入洗净
H
H
Si
H
H
Si N
Si
H
N
H
H
H
Si
N
N
H H
成膜
写真
蚀刻
剥膜洗净
成膜(Thin Film)： 在玻璃基板上，铺上一层所需求材质 成膜前洗净 的金属及非金属层薄膜。
Array Process introduction
受入洗淨
成膜
寫真
蝕刻
剝膜洗淨
寫真(Photo)： 在已成膜之基板上，透過光阻感光之 成膜前洗淨 化學反應將電極圖案轉印至玻璃上。
Color Filter Process Introduction
彩色濾光片(Color Filter)
Photo Spacer
1.黑色矩陣：BM(正型光阻) 2.彩色層 ：RGB(負型光阻) 3.保護膜 ：OC(Over-coat) 4.透明導電膜：ITO 5.Photo Spacer
玻璃基板
将TFT基板与CF基板 结合
Module Process
将Cell面板与其它如背光 板、电路及铁框等多种零 组件组装的生产作业。
finished goods
Array Process Introduction
*将“薄膜晶体管”制作于玻璃 上
Array Process introduction
TFT Array Design
当电流通过晶体管产生电场变化，造成液晶分子偏转， 藉以改变光线的偏极性，再利用偏光板决定画素(Pixel) 的明暗状态(是否通过)。经彩色滤光片形成每个画素(红蓝绿) 三颜色便构成了面板上的影像画面。
TFT-LCD 结构简图
White Light Source Polarizer Circuit Plate Color Filters Polarizer
NB( Normally Black ) : 未施加電壓情況下，光線不可穿透
NW & NB 的差異
TFT & MOS 差異
TFT & MOS 差異
Si 的種類與特性
Si 的種類與特性
TFT-LCD Process
Array Process
将薄膜晶体管制作于 玻璃上
CF Process
Cell Process
亮：不施加电场，液晶 Twist光线沿液晶光轴偏转 暗：施加电场，液晶光线直进不偏转
LC的認識
偏光板原理
1. 我們平常所看到的光，為往各方向振動的波之混合。也即是往 360°各種方向振動的光到達我們的眼睛。
2. 能夠只取出往某一方向振動的光的裝置，稱之為「偏光板」。即 是通過偏光板之「偏光」為只往某一方向振動之光。
TFT-LCD简介
何谓TFT-LCD?
Thin Film Transistor - Liquid Crystal Display
(薄膜晶体管)
(液晶显示器)
TFT-LCD面板为两片玻璃基板中间夹着一层液晶，上层 为彩色滤光片 (Color Filter)、下层为TFT基板(将晶体管 制作在玻璃上)。
Array Process introduction
Gas
RF
受入洗淨
PLASMA
FO
Si
Si
SiF4
成膜
寫真
蝕刻
剝膜洗淨
蝕刻( Etch )： 在已經有光阻圖形之基板上，蝕刻出 成膜前洗淨 所需求的圖。
Array Process introduction
受入洗淨
成膜
寫真
蝕刻
剝膜洗淨
成膜前洗淨
剝膜(Stripper)： 在已經蝕刻出所需求之圖形的基板上 將覆蓋在圖形上之光阻去除，以便進 行後續工程。
CF Process introduction
鍍鉻
黑色矩陣 BM
紅
綠
藍
Photo Spacer
透明導電膜 ITO
保護膜 Over Coat
• 偏光板對於光的振動方向有限制的作用。
偏光板原理
如果在上下裝置有偏光板，分別 令其對於光的振動方向加以限制 而互成直角時，如此一來所入射 的光會無法通過。
相反地，如果所限制的方向上下 都為相同時，則光線能夠通過。 光線不能通過則呈現黑色，光線 能通過則呈現白色。
NW & NB 的差異
NW(Normally White) : 未施加電壓情況下，光線可穿透
Source電源自文库(Vs) 輸入。
解析度與Pixel數目的轉換
驅動IC顆粒數
灰階反轉介紹
灰階反轉介紹
指單一Pixel的顏色變化
儲存電容的主要功用
MII Type 的CS 儲存電容 : 主要功能簡單講就是當TFT關閉時 , 讓液晶維持和在TFT對ITO
充電時相同的旋轉角度 當TFT對ITO進行充電時,在ITO與GE/Common Line間形成電容效應而同時 累積電荷,當TFT 關閉時, 儲存電容便接續影響液晶的旋轉量,直到下一次被 更新而重新寫入
Array Test
TFT Glass
1.GE 闸极电极形成 2.AS半导体电极形成 3.SD源极电极形成 4.CH 通道形成 5.PE 画素形成
Array Process introduction
受入洗净
Array 制程技术：5 Mask cycle
成膜
写真
蚀刻
剥膜洗净
成膜前洗净
Array Process introduction
液晶電容 儲存電容
Array面板示意圖
Source Driver
Gate Driver
1 Pixel =R+G+B
Sub-Pixel =R/G/B
TFT驅動模擬
S1 S2 S3
G1 G2 G3
Sn-1 Sn
Gm-1
Gm
(1) Gate電壓依序輸入Gate Line，整條TFT依此順序On / Off 。 (2) Source bus line 依Gate 電壓之順序，將對應於各畫素Data 之
Liquid Crystal Solution
Viewing Side
ACF 框胶 PWB
IC
面板剖面图 (1)
偏光板(上)
CF 基板
薄膜晶体T管FT基板
背光板
Spacer 配向膜 液晶
配向膜 偏光板(下)
面板剖面圖 (2)
模块面板拆解图
液晶显示原理
紅
黃紫
綠
白 青
藍
上偏光片 彩色濾光片
液晶
TFT基板 下偏光片 光源
Photo Mask Manufacture
Depo 成膜 Photo 写真 Etch 蚀刻 Stripper 剥膜
5Mask
BARE Glass
Gate Electrode
Source Electrode
Source Drain
Contact Hole
Pixel Electrode
Contact Hole