真空机组使用说明及注意事项(通用版)
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。
真空机组使用说明及注意事项
(通用版)
Safety management is an important part of enterprise production management. The object is the state management and control of all people, objects and environments in production.
( 安全管理 )
单位:______________________
姓名:______________________
日期:______________________
编号:AQ-SN-0410
真空机组使用说明及注意事项(通用版)
一真空机组开机流程
1、启动VB150维持泵,然后打开出口阀。当电阻计2真空度达到5帕以下时,启动扩散泵加热。
2、启动VB200旋片泵,打开旁通阀;当电阻计1真空度达到2000帕以下时,开启2ZJP—300罗茨泵,进行预抽。
3、扩散泵加热50分钟以上且电离计真空达到5帕以下时,先关闭旁通阀,再打开主阀,进行主抽。
4、关闭2ZJP—300罗茨泵,30秒后关闭VB200旋片泵。
二真空机组关机流程
1、关闭主阀。
2、启动-----关机程序。
三真空机组使用注意事项
1、真空机组在使用的整个过程中,必须保证水路、气路完整通畅。
2、必须严格按照真空机组的开机、关机流程,进行操作。
3、扩散泵加热过程中,若不慎断水。应先关闭扩散泵电源,再关闭主阀。然后摘下扩散泵电炉加热器,并使用电风扇进行降温。在这过程中,要一直保持VB150维持泵和出口阀处于开启状态。
4、扩散泵加热过程中,若VB150维持泵出现故障不工作,应先关闭出口阀,然后启动VB200旋片泵,再启动2ZJP—300罗茨泵,打开维持阀进行主抽。
XXX图文设计
本文档文字均可以自由修改