NSTDA非晶硅薄膜太阳能组件生产工艺流程

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NSTDA非晶硅薄膜太阳能组件生产工艺流程

NSTDA非晶硅薄膜太阳能组件生产工艺流程

NSTDA非晶硅薄膜太阳能组件生产工艺流程TCO涂层玻璃

玻璃磨边机

玻璃清洗

第一次激光刻划

玻璃清洗

负载

气体箱玻璃衬底动力梯负载箱

气体箱负载箱预热炉

非晶/微晶沉积的PECVD系统

冷却炉

涂敷薄膜硅的玻璃衬底

二次激光刻划

ZnO/Al Ag沉积溅射系统

三次激光刻划

层压

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