等离子清洗机的优势、结构及工作原理

一，等离子清洗机的优势

1，清洗对象经等离子清洗之后是干燥的，不需要再经干燥处理即可送往下一道工序。可以整个工艺流水线的处理效率；

2，等离子清洗使得用户可以远离有害溶剂对人体的伤害，同时也避免了湿法清洗中容易洗坏清洗对象的问题；

3，避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂，这样清洗后不会产生有害污染物，因此这种清洗方法属于环保的绿色清洗方法。这在全球高度关注环保的情况下越发显出它的重要性；

4，采用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同。等离子体的方向性不强，这使得它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗任务，因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗的效果像是甚至更好； 5，使用等离子清洗，可以使得清洗效率获得极大的提高。整个清洗工艺流程几分钟内即可完成，因此具有产率高的特点；

6，等离子清洗需要控制的真空度约为100Pa，这种清洗条件很容易达到。因此这种装置的设备成本不高，加上清洗过程不需要使用价格较为昂贵的有机溶剂，这使得整体成本要低于传统的湿法清洗工艺；【】

7，使用等离子清洗，避免了对清洗液的运输、存储、排放等处理措施，所以生产场地很容易保持清洁卫生；

8，等离子体清洗可以不分处理对象，它可以处理各种各样的材质，无论是金属、半导体、氧化物，还是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物）都可以使用等离子体来处理。因此特别适合于不耐热以及不耐溶剂的材质。而且还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗；

9，在完成清洗去污的同时，还可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的润湿性能、改善膜的黏着力等，这在许多应用中都是非常重要的。

二，等离子清洗机的结构

等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成，分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。就以下三个部分做一个陈述：

1、控制单元：

目前国内使用的等离子清洗机，包括国外进口的，控制单元主要分为半自动控制、全自动控制、PC电脑控制、液晶触摸屏控制四种方式。

而控制单元又分为啷个大的部分：

1）【】电源部分：主要电源频率有三种，分别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要电源匹配器的，而2.45GHz又称为微波等离子，主要的功能作用，前面已经提到了，这里就不一一介绍了。

2）系统控制单元：分三种，按钮控制（半自动、全自动）、电脑控制、PLC控制（液晶触摸屏控制）。

2、真空腔体：

真空腔体主要是分为两种材质的：1）不锈钢真空腔体，2）石英腔体。

3、真空泵：

真空泵分为两种：1）干泵、2）油泵。

三，等离子清洗机的工作原理

等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特

殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。

等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、

分子、原子团（自由基）；离子化的原子、分子；未反应的分子、原子等，但物质在总体上

仍保持电中性状态。

在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，

通过等体子体轰被清洗产品面．以达到清洗目的．

我们在长期从事等离子体应用技术研究和设备研制的基础上，充分借鉴欧美的先进技术，并通过与国内外着名研究机构的技术合作，开发出具有自主知识产权的电容耦合放电、电感

耦合放电和远区等离子放电等多种放电类型的产品。特色鲜明的处理腔体形状和电极结构可

以满足不同形状、不同材质的表面处理要求，包括薄膜、织物、零件、粉体和颗粒等。