气动真空阀

气动真空阀
否损坏,弹簧是否装配不良；外泄漏→连接处松动或密封件已坏→紧螺丝或更换密封件；通电时有噪声→头子上坚固件松动
,拧紧。

电压波动不在允许范围内，调整好电压。

铁芯吸合面杂质或不平，及时清洗或更换。

众所周知,任何一种真空设备包括极高真空设备,都存在着气体通过器壁、微孔从高压力区向低压力区渗透即漏气的现象,绝对不漏的真空设备是不存在的。

所谓的“
漏”,必须和设备的最大允许漏量相联系。

只要将漏气控制在设备允许的范围内,则认为是合理的、经济的。

不同的真空设备对漏气量的要求是不同的,因此最大允许
漏量也不一样。

漏率和升压率是用于检测真空设备密封性的两个重要参数。

真空阀门
目录
三、真空蝶阀类
1、GI型系列高真空蝶阀
2、GI-A型系列高真空蝶阀
3、GI-C型系列高真空蝶阀
4、GIQ型系列气动高真空蝶阀
5、GIQ-A型系列气动高真空蝶阀
6、GIQ-B型系列气动高真空蝶阀
7、GIQ-AB型系列气动高真空蝶阀
8、GID型系列电动高真空蝶阀
9、GID-A型系列电动高真空蝶阀
四、真空球阀类
1、GU型系列真空(压力)球阀
2、GUQ型系列气动真空(压力)球阀
3、GUD型系列电动真空(压力)球阀
五、其它真空阀类
1、GW-J-T型系列高真空微调阀
2、GM型系列高真空隔膜阀
3、J611F活塞角座阀
4、ZT-B系列管道阀
5、CC-A型系列超高真空插板阀
6、CCQ-A型系列气动超高真空插板阀
GI 型系列高真空蝶阀是用来接通或切断真空管路中的气流。

适用的工作介质为空气和非腐蚀性气体。

主要技术性能
适用范围(Pa) 105～1.3x10-5 阀门漏率(Pa.L/S) ≤1.3x10-6
介质温度（℃） -25～+80(密封材料为丁腈橡胶) -30～+150(密封材料为氟橡胶)
法兰标准 JB919 安装位置
任意
连接及外形尺寸 型号 通径(DN) ΦD ΦB H A
L
n-ΦC
GI-25 25 70 55 72 22
82 4-Φ7
GI-32 32 78 64 76 GI-40 40 82 70 80 GI-50 50 110 90 98 95
4-Φ9 GI-63 63 130 110 122 26
132 GI-80 80 145 125 130 30
4-Φ12
GI-100 100 170 145 142 GI-125 125 195 170 155 35
170
GI-150
150
220
195
17
8-Φ12
6
GI-200 200 275 250 23
2
40 234
GI-250 250 330 300 27
5
45 273
GI-300 300 380 350 32
4
55 361 8-Φ14
GI-400 400 500 465 40
9
60 420 8-Φ18
注：GI-63法兰连接GB/T6070标准. GI-A型系列高真空蝶阀
GI-A 型系列高真空蝶阀是用来接通或切断真空管路中的气流，阀门的阀板采用夹紧结构，把阀板的密封圈夹紧，起到更好的密封作用。

适用的工作介质为空气和非腐蚀性气体。

主要技术性能
适用范围(Pa) 105～1.3x10-5 阀门漏率(Pa.L/S) ≤1.3x10-6
介质温度（℃） -25～+80(密封材料为丁腈橡胶) -30～+150(密封材料为氟橡胶)
法兰标准 GB/T6070 安装位置
任意
连接及外形尺寸 型号 通径(DN) ΦD ΦB H A L
n-ΦC GI-50A 50 110 90 82 26
171 4-Φ9 GI-63A 63 130 110 93 32
GI-80A 80 145 125 100 8-Φ9
GI-100A 100 165 145 111 8-Φ12
GI-125A 125 200 175 128 35
197
GI-150A 150 225 200 142 GI-200A
200
285
260
17
45
250
12-Φ11
6
GI-250A 250 335 310 20
5
50
363
GI-300A 300 425 395 24
9
55 12-Φ14
GI-C型系列高真空蝶阀
GI-C型系列高真空蝶阀是用来调节真空系统中的气流量。

调节角度范围0~90°。

适用的工作介质为空气和非腐蚀性气体。

主要技术性能
适用范围(Pa) 105～1.3x10-5
阀门漏率(Pa.L/S) ≤1.3x10-6
介质温度（℃）-25～+80(密封材料为丁腈橡胶) -30～+150(密封材料为氟橡胶)
法兰标准JB919
安装位置任意
连接及外形尺寸
型号通径(DN) ΦDΦB H A L L1 n-ΦC
GI-32 32 78 64 51
22 62 29
4-Φ7
GI-40 40 85 70 55 65 32
GI-50 50 110 90 69 71 45
4-Φ9 GI-63 63 130 110 72 26 87 55
GI-80 80 145 125 80
30 85 63
GI-100 100 170 145 93 110 75 4-Φ12
GI-150 150 220 195 12
2
35 155 98
8-Φ12
GI-200 200 275 250 15
6
40 159 117
GI-250 250 330 300 25
9
45 167 132
GI-300 300 380 350 28
4
55 197 162 8-Φ14
注：GI-63C法兰连接为GB/T6070标准。

GIQ型系列气动高真空蝶阀
GIQ型系列气动高真空蝶阀适用于高真空系统中用来接通或截止气流之用。

该阀以压缩空气为动力，通过电磁换向阀改变气路方向，执行气缸推动，使固定在转动轴上的阀板旋转90°实现阀门的开启和关闭。

适用的工作介质为空气和非腐蚀性气体。

主要技术性能
适用范围(Pa) 105～1.3x10-5
阀门漏率(Pa.L/S) ≤1.3x10-6
介质温度（℃）-25～+80(密封材料为丁腈橡胶) -30～+150(密封材料为氟橡胶)
气源压力（MPa）0.4～0.6 法兰标准JB919 安装位置任意
电源电压
标准出厂：AC220V/50Hz
特殊指定：AC110V；DC24V；DC12V等
信号反馈标准出厂：不带反馈信号
特殊指定：磁性开关DV/AC5～240V
连接及外形尺寸
型号通径
(DN)
ΦDΦB H A L W n-ΦC
GIQ-40 40 85 70 1148
22 160 62
4-Φ7
GIQ-50 50 110 90 161
4-Φ9
GIQ-63 130 110 171 26 180 81
63 GIQ-80 80 145 125 178
30
GIQ-100 100 170 145 192
4-Φ12
GIQ-125 125 195 170 209 35
207
86
GIQ-150 150 220 195 220 8-Φ12
GIQ-200 200 275 250 252 40
236
100
GIQ-250 250 330 300 283 45 GIQ-300 300 380 350 329 55 280 118 8-Φ14 GIQ-400
400
500
465
389
60
303
136
8-Φ18
注：GIQ-63法兰连接为GB/T6070标准
GIQ-A型系列气动高真空蝶阀
GIQ-A型系列气动高真空蝶阀适用于高真空系统中用来接通或截止气流之用。

该阀以压缩空气为动力，通过电磁换向阀改变气路方向，执行气缸推动，使固定在转动轴上的阀板旋转90°实现阀门的开启和关闭。

适用的工作介质为空气和非腐蚀性气体。

主要技术性能
适用范围(Pa) 2x105～1.3x10-5
阀门漏率(Pa.L/S) ≤1.3x10-6
介质温度（℃）-25～+80(密封材料为丁腈橡胶) -30～+150(密封材料为氟橡胶)
气源压力(MPa) 0.4～0.6 法兰标准GB/T6070 安装位置任意
电源电压标准出厂：AC220V/50Hz
特殊指定：AC110V；DC24V；DC12V等
信号反馈标准出厂：不带反馈信号
特殊指定：磁性开关DV/AC5～240V
连接及外形尺寸
型号通径(DN) ΦDΦB H h A L W n-ΦC
GIQ-50A 50 110 90 16
2
55 26 160 62
4-Φ9
GIQ-63A 63 130 110 1766 32 180 81
2
GIQ-80A 80 145 125 17
8
74 8-Φ9
GIQ-100A 100 165 145 18
7
84
8-Φ12
GIQ-125A 125 200 175 20
8
10
2
35 207 86
GIQ-150A 150 225 200 22
11
4
GIQ-200A 200 285 260 25
6
14
6
45
236 100 12-Φ11
GIQ-250A 250 335 310 28
2
17
3
50
GIQ-300A 300 425 395 35
21
6
55 280 118 12-Φ14
GIQ-400A 400 510 480 39
2
25
9
60 304 130 16-Φ14
GIQ-500A 500 600 565 44
31
2
80 350 175 12-Φ18
GIQ-600A 600 710 670 52
5
36
6
10
360 212 12-Φ21
GIQ-800A 800 920 880 69
47
3
13
520 268 20-Φ21
注：通径DN≥500法兰连接为JB919标准.
GIQ-B型系列气动高真空蝶阀
GIQ-B型系列气动高真空蝶阀的气动执行器是以压缩空气为动力，通过电磁换向阀改变气路方向，推动活塞齿条、齿轮的机械运动，以角行程输出扭矩来驱动蝶阀，作启闭运动。

从而达到接通或切断真空管路中气流的目的，是目前一种新型的气动执行器控制的气动蝶阀，分为双作用和单作用(弹簧复位)气缸。

可选配反馈信号装置及电气阀门定位器。

适用的工作介质为空气及非腐蚀性气体。

主要技术性能
适用范围(Pa) 105～1.3x10-5
阀门漏率(Pa.L/S) ≤1.3x10-6
介质温度（℃）-25～+80(密封材料为丁腈橡胶) -30～+150(密封材料为氟橡胶)
气源压力（MPa）0.4～0.6 法兰标准JB919 安装位置任意
控制电路
标准出厂：AC220V/50Hz开关型
特殊指定：AC110V；DC24V；DC12V等
信号反馈标准出厂：带无源触点型
特殊指定：4～20mA DC调节型
气缸可选标准出厂：双作用式
特殊指定：单作用式（有弹簧返回）可选常开或常闭
连接及外形尺寸
型号通径ΦDΦB H A L W n-ΦC
(DN)
GIQ-50B 50 110 90 205 22
164
105 4-Φ9
GIQ-63B 63 130 110 218 26
GIQ-80B 80 145 125 248
30
190
124
GIQ-100B 100 170 145 260 4-Φ12
GIQ-125B 125 195 175 273
35
GIQ-150B 150 220 195 332 247 140 8-Φ12
GIQ-200B 200 275 250 386 40 302 165 GIQ-250B 250 330 300 466 45 372 198 GIQ-300B 300 380 350 535 55 432 225 8-Φ14 GIQ-400B
400
465
465
631
60
518
243
8-Φ18 注：GIQ-63B 法兰连接为GB/T6070标准
GIQ-AB型系列气动高真空蝶阀
GIQ-AB型系列气动高真空蝶阀的气动执行器是以压缩空气为动力，通过电磁换向阀改变气路方向，推动活塞齿条、齿轮的机械运动，以角行程输出扭矩来驱动蝶阀，作启闭运动，从而达到接通或切断真空管路中气流的目的。

是目前一种新型的气动执行器控制的气动真空蝶阀，分为双作用和单作用(弹簧复位)气缸。

可选配反馈信号装置及电气阀门定位器。

适用的工作介质为空气及非腐蚀性气体。

主要技术性能
适用范围(Pa) 2x105～1.3x10-5
阀门漏率(Pa.L/S) ≤1.3x10-6
介质温度（℃）-25～+80(密封材料为丁腈橡胶) -30～+150(密封材料为氟橡胶)
气源压力（MPa）0.4～0.6 法兰标准GB/T6070 安装位置任意
控制电路
标准出厂：AC220V/50Hz
特殊指定：AC110V；DC24V；DC12V等
信号反馈标准出厂：阀位指示器
特殊指定：微动开关；智能型4～20mA DC
气缸可选标准出厂：双作用式
特殊指定：单作用式（有弹簧返回）可选常开或常闭
连接及外形尺寸
型号通径
(DN
)
ΦDΦB H A L W n-ΦC
GIQ-50AB 50 110 90 206 26
164 105 4-Φ9 GIQ-63AB 63 130 110 217 32
GIQ-80AB 80 145 125 247 190
124
8-Φ9
GIQ-100A B 100 165 145 257 8-Φ12
GIQ-125A B 125 200 175 273
35
GIQ-150A B 150 225 200 334 247
140 GIQ-200A B 200 285 260 391 45 302 165
12-Φ11
GIQ-250A B 250 335 310 467 50 372 198 GIQ-300A B 300 425 395 557 55 432 225 12-Φ14 GIQ-400A B 400 510 480 640 60 518 243 16-Φ14 GIQ-600A B
600
710
670
892
100
780
408
12-Φ21
注：GIQ-600AB 法兰连接为JB919标准
GID型系列电动高真空蝶阀
GID型系列电动高真空蝶阀采用回转型电动、电子调节式阀门驱动装置，可以通过外接电源的切换(用手动转位开关或电脑控制)或外部输入信号，来实现阀门开、关或中间位置的控制，从而达到接通或切断真空管路中气流的目的。

适用的工作介质为空气和非腐蚀性气体。

主要技术性能
适用范围(Pa) 105～1.3x10-5
阀门漏率(Pa.L/S) ≤1.3x10-6
开闭时间(S) DN≤63 20；80≤DN≤200 30；DN≥250 48
介质温度（℃）-25～+80(密封材料为丁腈橡胶) -30～+150(密封材料为氟橡胶)
法兰标准JB919 安装位置任意
控制电路
标准出厂：AC220V/50Hz开关型特殊指定：AC380V；DC24V开关型
4～20mA DC
信号反馈标准出厂：带无源触点型
特殊指定：4～20mA DC调节型
连接及外形尺寸
型号
通
径(D N)
ΦD ΦB H A L W n-ΦC
GID-25 25 70 55 177 22
160
113
4-Φ7
GID-32 32 78 64 182 GID-40 40 85 70 186 GID-63 63 130 110 229 26 4-Φ9
GID-80 80 145 125 273 30
196
121
GID-100 100 170 145 285 4-Φ12
GID-125 125 195 170 299
35
GID-150 150 220 195 368 255
158
8-Φ12
GID-200 200 275 250 394 40
GID-250 250 330 300 426 45 GID-300 300 380 350 449 55 8-Φ14 GID-400
400
500
465
538
60
310
207
8-Φ18
注:GID-63法兰连接为GB/T6070标准
GID-A型系列电动高真空蝶阀
GID-A型系列电动高真空蝶阀采用回转型电动、电子调节式阀门驱动装置，可以通过外接电源的切换(用手动转位开关或电脑控制)或外部输入信号，来实现阀门开、关或中间位置的控制，从而达到接通或切断真空管路中气流的目的。

阀门的阀板采用夹紧结构，把阀板的密封圈夹紧，除了能用在真空状态下，也能在低压状态下使用。

适用的工作介质为空气和非腐蚀性气体。

主要技术性能
适用范围(Pa) 2x105～1.3x10-5
阀门漏率(Pa.L/S) ≤1.3x10-6
开闭时间(S) DN≤63 20；80≤DN≤200 30；DN≥250 48
介质温度（℃）-25～+80(密封材料为丁腈橡胶) -30～+150(密封材料为氟橡胶)
法兰标准GB/T6070 安装位置任意
控制电路
标准出厂：AC220V/50Hz开关型特殊指定：AC380V；DC24V开关型
4～20mA DC
信号反馈标准出厂：带无源触点型
特殊指定：4～20mA DC调节型
连接及外形尺寸 型号 通径
(DN) ΦD ΦB H A L W n-ΦC
GID-50A 50 110 90 218 26
160 113 4-Φ9
GID-63A 63 130 110 229 32
GID-80A 80 145 125 272 196
121
8-Φ9
GID-100A 100 165 145 282 8-Φ12
GID-125A 125 200 175 300
35
GID-150A 150 225 200 369 255
158
GID-200A 200 285 260 399 45
12-Φ11
GID-250A 250 335 310 427 50 GID-300A 300 425 395 471 55 12-Φ14 GID-400A
400
510
480
546
60
310
207
16-Φ14
GU型系列真空(压力)球阀
GU型系列真空(压力)球阀是适用于真空系统中接通或切断管路的介质流。

该阀为直通式手动球阀，靠球面密封，因而既能用在真空状态下，也能在低压状态下使用，并可任意位置安装。

适用的工作介质为带酸、碱性的气体或液体。

主要技术性能
适用范围(Pa) 快卸法兰（KF）2x105～1.3x10-5 活套法兰16x105～1.3x10-5
阀门漏率(Pa.L/S) ≤1.3x10-5
介质温度（℃）标准出厂：-30～+150 特殊指定：-30～+240
安装位置任意
法兰标准GB4982；GB/T6070
快卸法兰（KF）连接及外形尺寸（GB4982）
型号通径(DN) ΦDΦB H L A GU-16/K
F
16 30 17.2 62 100 120 GU-25/K
F
25 40 26.2 75 114 150
GU-40/K F 40 55 41.2 115 165 200 GU-50/K F
50
75
52.2
125
175
221
活套法兰连接及外形尺寸（GB/T6070） 型号 通径
(DN) ΦD ΦB H L A n-ΦC GU-16 16 60 45 62 100 120 4-6.5
GU-25 25 70 55 75 114 150 GU-32 32 90 70 93 140 180 4-9
GU-40 40 100 80 115 165 200 GU-50 50 110 90 125 175 221 GU-63 63 130 110 166 186 230 GU-80 80 145 125 175 198 290 8-9
GU-100 100 165 145 189 220 260 GU-125 125 200 175 232 266 360
8-11
GU-150
150
225
200
250
296
400
GUQ型系列气动真空(压力)球阀
GUQ型系列气动真空(压力)球阀是适用于真空系统中接通或切断管路中的介质流。

该阀以压缩空气为动力，通过控制气动元件来改变气路方向，推动活塞齿条、齿轮的机械传动，以角行程输出扭矩来驱动球阀作启闭运动。

阀门为直通式，靠球面密封，因而既能用在真空状态下，也能在低压状态下使用，并可任意位置安装。

气缸分为双作用和单作用(弹簧复位)，可选配反馈信号装置及电气阀门定位器。

适用的工作介质为带酸、碱性的气体或液体。

主要技术性能
适用范围(Pa) 快卸法兰（KF）2x105 ～1.3x10 -5 活套法兰16x105～1.3x10 -5
阀门漏率(Pa.L/S) ≤1.3x10-5
介质温度（℃）标准出厂：-30～+150 特殊指定：-30～+240
气源压力（MPa）0.4～0.8 法兰标准GB4982；GB/T6070 安装位置任意
电源电压
标准出厂：AC220V/50Hz
特殊指定：AC110V；DC24V；DC12V等
信号反馈
标准出厂：阀位指示器
特殊指定：微动开关；智能型4～20mA DC
气缸可选
标准出厂：双作用式
特殊指定：单作用式（有弹簧返回）可选常开或常闭
快卸法兰（KF ）连接及外形尺寸（GB4982）
型号 通径(DN)
ΦD ΦB H L A GUQ-16/K
F 16 30 17.2 154 100 140 GUQ-25/K
F 25 40 26.2 175 114 164 GUQ-40/K
F 40 55 41.2 247 165 210 GUQ-50/K
F
50
75
52.2
282
175
247
活套法兰（KF ）连接及外形尺寸（GB/T6070）
型号 通径(DN)
ΦD ΦB H L A n-ΦC GUQ-16 16 60 45 154 100 140 4-6.5
GUQ-25 25 70 55 175 114 164 GUQ-32 32 90 70 220 140 190 4-9
GUQ-40 40 100 80 247 165 210 GUQ-50 50 110 90 282 175 247 GUQ-63 63 130 110 320 186 GUQ-80 80 145 125 345 198 276 8-9
GUQ-100 100 165 145 378 220 302 GUQ-125
125
200
175
458
266
372
8-11
GUD型系列电动真空(压力)球阀
GUD型系列电动真空(压力)球阀采用回转型电动、电子调节式阀门驱动装置，可以通过外接电源的切换(用手动转位开关或电脑控制)或外部输入信号，来实现阀门开、关或中间位置的控制，从而达到接通或切断真空管路中气流的目的。

阀门为直通式，靠球面密封，因而既能用在真空状态下，也能在低压状态下使用，并可任意位置安装。

适用的工作介质为带酸、碱性的气体或液体。

主要技术性能
适用范围(Pa) 快卸法兰（KF ）2x105～1.3x10-5 活套法兰16x105～1.3x10-5
阀门漏率(Pa.L/S) ≤1.3x10-5
开闭时间（S ） DN≤32?? 20； DN≥40?? 30
介质温度（℃） 标准出厂：-30～+150 特殊指定：-30～+240
法兰标准 GB4982；GB/T6070 安装位置 任意
控制电路
标准出厂：AC220V/50Hz 开关型 特殊指定：AC380V ；DC24V 开关型
4～20mADC 调节型
信号反馈
标准出厂：带无源触点型 特殊指定：调节型4～20mADC
快卸法兰(KF)连接及外形尺寸（GB4982） 型号 通径(DN) ΦD ΦB H L A
GUD-16/KF 16 30 17.2 178 100
160
GUD-25/KF 25 40 26.2 193 114 GUD-40/KF 40 55 41.2 248 165
196
GUD-50/KF
50
75
52.2
257
175
活套法兰连接及外形尺寸（GB/T6070） 型号 通径
(DN) ΦD ΦB H L A
n-ΦC
GUD-16 16 60 45 178 100
160 4-6.5
GUD-25 25 70 55 193 114 GUD-32 32 90 70 211 140 4-9
GUD-40 40 100 80 248 165
196 GUD-50 50 110 90 257 175 GUD-63
63
130
110
275
186
GUD-80 80 145 125 300 198
8-9
GUD-
100
100 165 145 338 220
GUD-
125
125 200 175 373 266 255 8-11 GW-J-T型系列高真空微调阀
GW-J-T型系列高真空微调阀(又称真空针阀)是靠螺杆传动来调节锥形针和孔的缝隙长度，改变阀座流导值。

是用来向真空系统中充气并可精确调节进气流量，以控制和调节系统内的真空度。

适用的工作介质为不含颗粒灰尘的空气及非腐蚀性气体。

主要技术性能
型号通径(DN) ΦD 最小
可调
节量
（Pa.
L/S）
最大
可调
节量
（Pa.
L/S）
适
用
范
围
(P
a)
阀门
漏率
(Pa.
L/S)
介质温度（℃）
GW-J30-T 0.8 22 1.3x1
0-2
4000
10
-5
～
1.
3x
10
-2
＜
1.3x
10-6
-25～+80
GW-J200-T 2 38 1.3x1
0-1
26700
GM 型系列高真空隔膜阀
GM 型系列高真空隔膜阀是利用阀杆将橡胶膜直接压在阀座上，用来截止或接通真空系统。

采用连接形式有活套法兰连接、快卸法兰连接、焊接式连接。

焊接式连接又分焊接式I 型连接(即两端焊接)，焊接式II 型连接(即 一端焊接，另一端插入)。

阀门适用的工作介质为空气及非腐蚀性气体。

主要技术性能
适用范围(Pa) 105～1.3x10-4 阀门漏率(Pa.L/S) ≤1.3x10-4
介质温度（℃） -25～+80(密封材料为丁腈橡胶) -30～+150(密封材料为氟橡胶)
安装位置
任意
(图一)活套法兰连接及外形尺寸
型号
通径(DN)
ΦD
ΦB
ΦW
H
L
n-ΦC
法兰标准
GM-10 10 46 36 55 75 75 4-Φ6 JB919
GM-25 25 70 55 90 115 120 4-Φ7 GB/T6070
GM-40 40 100 80 100 132 150 4-Φ9 GM-50
50
110
90
100
157
180
4-Φ9
(图二)快卸法兰(KF)连接及外形尺寸 型号 通径(DN) ΦD ΦB ΦW H L 法兰标准
GM-10/KF 10 30 12.2 55 75 75 GB4892 GM-25/KF 25 40 26.2 90 115 100 GM-40/KF 40 55 41.2 100 132 150 GM-50/KF
50
75
52.2
100
15
18
/
7 0 (图三)焊接式连接及外形尺寸
型号通径(DN) ΦDΦW H L
GM-10-H(Ⅰ) 10 19 55 75 150
GM-25H(Ⅰ) 25 32 90 11
5
200
GM-40H(Ⅰ) 40 45 100 13
2
240
GM-50H(Ⅰ) 50 57 100 15
7
240
GM-10H(Ⅱ) 10 9 55 75 150
GM-25H(Ⅱ) 25 19 90 11
5
200
注：Ⅰ型为两端焊接Ⅱ型为一端焊接，另一端插入
J611F活塞角座阀
J611F活塞角座阀系列适用于蒸汽和气体，温度达180℃。

外部气体先导，阀体角座结构可实现较大流量，无需维修，带长使用寿命活塞圈的执行机构可靠度高。

主要技术性能
适用范围(Pa) 1.6MPa
介质温度（℃）-10～+180
环境温度（℃）-10～+60
阀体材料(Pa) 不锈钢
密封材料聚四氟乙烯
执行机构外壳聚酰胺
控制介质中性气体、空气
连接及外形尺寸
接口（ΦD）内孔(DN) 执行机
构尺寸
（mm）
A B C ΦE F H
A/F
G1 25 63 105 21 22 80 52 17
3
41
G11/2 40 63 130 230 24 80 52 18
9
55
G2 50 63 150 250 25 80 52 20
5
70
ZT-B系列管道阀
ZT-B 系列焊接式真空流量调节阀是改变管道内截面积大小达到调节流量的目的。

适用溴化理冷热机组管道外形尺寸、性能参数
型号ZT-3
3B ZT-40
B
ZT-50B ZT-65B ZT-80B ZT-100B
尺寸
DN 33 40 50 65 80 100 ΦD38 47 57 73 88 108
H 125 134 144 160 175 195
h 87 92 97 105 113 123 适用范围 1.5x105～1x10-2
工作压力0.15MPa
轴封处漏气率1x10-2PA.L/S
CC-A型系列超高真空插板阀
CC-A型系列超高真空插板阀是通过手柄以螺杆传动推动钢球架运动，撑开阀板关闭，又靠弹簧力收拢阀板，打开后再退出的真空阀门。

阀门适用于超高真空系统中接通或截止气流之用。

高真空系统中接通或截止气流之用。

适用的工作介质为洁净的空气和非腐蚀性气体。

主要技术性能
适用范围(Pa) 105～1.3x10-7
阀门漏率(Pa.L/S) DN≤200为≤1.3x10-7 DN≥250为≤6.7x10-7
阀门烘烤温度（℃）≤150(除传动装置外) 开阀时阀板两侧压力差(Pa) ≤2.7x103
阀板密封件氟橡胶
轴封处密封件不锈钢波纹管
连接及外形尺寸
型号通径(DN) ΦDΦD0ΦD
1
Φ
D
2
ΦD
3
H A
n-d
L
L
1
B
法兰标
准
CC-50A 50 89 72.4 61.
6
55
.6
/ 60 91 8-M8
4
9
3
1
6
5
8
GB/T607
1
CC-63A 63 114 92.1 82.
6
76
.6
/ 65
10
5
8-M8
5
4
7
1
9
8
CC-80A 80 130 110 99 93 / 65 13
16-M8
6
7
2
2
5
8
CC-100A 100 152 130.
2
120
.7
11
4.
7
/ 70
15
2
16-M8
6
6
2
6
7
1
CC-150A 150 202 181 171
.5
16
5.
5
/ 70
20
2
20-M8
7
8
4
3
5
1
CC-200A 200 254 231.
8
222
.3
21
6.
6
/ 80
25
1
24-M8
8
8
2
4
2
6
1
CC-250A 250 314 288 308 27
5
271 85
30
24-M10
1
1
4
6
5
7
1
3
JB5278
CC-300A 300 365 338 353 32
3
318 90
35
2
32-M10
1
2
6
6
1
3
1
3
/
CCQ-A型系列气动超高真空插板阀
CCQ-A型系列气动超高真空插板阀是用压缩空气为动力，通过电磁换向阀改变气路方向，推动气缸活塞，驱动阀板作上下运动，实现阀门的开启或关闭，从而达到在超高真空系统中接通或切断气流的目的。

适用的工作介质为洁净的空气和非腐蚀性气体。

主要技术性能
适用范围(Pa) 105～1.3x10-7
阀门漏率(Pa.L/S) DN≤200为≤1.3x10-7 DN≥250为≤6.7x10-7
阀门烘烤温度（℃）≤150(除传动装置外) 开阀时阀板两侧压力差(Pa) ≤2.7x103
气源压力（MPa）0.4～0.6
电源电压标准出厂：AC220V/50Hz
特殊指定：AC110V；DC24V；DC12V等
信号反馈标准出厂：不带反馈信号
特殊指定：微动开关DC/AC5～240V
连接及外形尺寸
型号通径(DN) ΦDΦD0ΦD
1
Φ
D
2
ΦD
3
H A
n-d
L
L
1
B
法兰标
准
CCQ-50A 50 89 72.4 61.
6
55
.6
/ 60 91 8-M8
5
1
5
1
5
3
6
2
GB/T607
1
CCQ-63A 63 114 92.1 82.
6
76
.6
/ 65
10
5
8-M8
5
9
1
8
6
2
CCQ-80A 80 130 110 99 93 / 65 13
16-M8
6
8
2
2
7
5
CCQ-100 A 100 152
130.
2
120
.7
11
4.
7
/ 70
15
2
16-M8
6
5
5
2
6
7
9
4
CCQ-150 A 150 202 181
171
.5
16
5.
5
/ 70
20
2
20-M8
7
7
3
5
9
4
CCQ-200 A 200 254
231.
8
222
.3
21
6.
6
/ 80
25
1
24-M8
8
6
4
2
6
1
1
2
CCQ-250 A 250 314 288 308
27
5
271 85
30
24-M10
1
1
2
5
5
1
1
2
JB5278
5
CCQ-300 A 300 365 338 353
32
3
318 90
35
2
32-M10
1
1
9
5
6
1
3
1
4
/。