集成电路中的薄膜材料.详解

2、超晶格与量子阱
• 超晶格（英语：superlattice）是两种或多种 材料构成的周期性交替层结构。通常每一层的 厚度在几个纳米的数量级。
• 量子阱（QW）是指由2种不同的半导体材料相 间排列形成的、具有明显量子限制效应的电子 或空穴的势阱。
• 由于超晶格和量子阱的每一层厚度只有几个纳 米，小于电子的平均自由层厚度，从而出现量 子化现象，导致所制备的材料具有优异的光学 和电学性质。 • 超晶格和量子阱通常需要通过金属有机化学气 相沉积技术（MOCVD）和分子束外延（MBE ）来制备，因此对实验条件要求较高。
一次球磨 4h
预烧 950℃×5h
二次球磨 8h
性能测量
镀电极
烧结 1250℃×5h
1.3、后期工作
• 分析数据和写论文； • 铁电薄膜。
2、集成电路中薄膜材料应用
2.1、集成电路简介
• 集成电路（Integrated Circuit,简称IC）是将 一个电路的大量元器件集合于一个单晶片上所 制成的器件。
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• 集成电路按其功能、结构的不同，可以分为模 拟集成电路、数字集成电路和数/模混合集成电 路。
2.2、发光二极管和异质结激光器
• 发光二极管（light emitting diode，LED） 是利用PN结的光电效应将电能转换成光能的光 电半导体器件。
图 发光二极管工作原理图
• 不同种半导体材料之间的接触都称为 半导体异质结。 • 单异质结激光器可以分为同型异质结（N－n或 P－p）和异型异质结（N－p或P-n）。
电容器 气体探测器 动态随机存储器 （介电性）
声表面波器件 微型压电马达 热释电探测器 微型压电驱动器 （压电性、热释电性）
主要铁电 器件
移相器 滤波器 铁电随机存取存储器 （铁电性）
全息存储器 声光偏转器 光波导、光调制器 （电光效应、声光效应）
1.2、实验进展
• 合成方法：两步烧结法
原料干燥 与称量
集成电路中的薄膜材料
黄先雄 材料物理与化学专 业 导师：唐新桂研究
• 1、研究方向及实验进展
1.1、铁电材料简介 1.2、实验进展 1.3、后期工作
• 2、集成Biblioteka Baidu路中薄膜材料应用
2.1、集成电路简介 2.2、发光二极管和异质结激光器 2.3、超晶格
1、研究方向及实验进展
1.1、铁电材料简介
• 铁电体的本质特征是具有自发极化，且极化可 在电场作用下转向。自发极化的大小可用单位 体积的偶极矩或者采用垂直极化的表面上单位 面积的电荷来表征。电滞回线则形象地体现了 铁电体的自发极化特征。