高精度转台速度稳定性研究

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ＤＵ－ｕ，ＺＨＡＮＧｈｕ－ｅ，ＧＡ０ｕｉｂｉＢｉｘｉＳｍｉＨ－ｎ，ＺＨＡＮＧｌａＹｕ－ｉｎｇ
（ｈｎｃｕｓｉｔｏＯｔｓＦｎｃａｉｎＰｙｉ，ｈｎｓＡａｅｙｏｃｅｃｓＣａｇｈｎ１０３，ｈｎＣａｇｈｎｎｔｕｅｆｐｉ，ｉＭｅｈｎｃａｄｈｓｓＣｉｅｅｃｄｍｉｎｅ，ｈｎｃｕ３０３Ｃｉａ）ＩｔｃｅｓｃｆＳ
关键词：高精度转台；速度稳定性；双闭环控制；变结构控制
中图分类号：Ｔ２３Ｐ７．４文献标志码：Ａｄｉ１．９９．ｓ．０ —０Ｘ．０１３０３ｏ：０３６／ｉｎ１３５１２１．．０ｊｓ００
ＴｈｅＳｅｔｂｌｔｏｈｅＨｉｈＰｒｃｓｏｒａｅｐｅｄＳａｉｉｙｆｒｔｇｅｉｉｎＴｕｎｔｂｌ
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第３卷第３期８
２１年３月０１
光电工程
ＯｐｏＥｌｃｒｎｃＥｎｉｅｒｎｔ — ｅｔｏｉｇｎｅｉｇ
Ｖ１８Ｎｏ３ｏ．，．３Ｍａｃ．０１ｒｈ２１
文章编号：１０ — ０Ｘ２１）３０１ — ５０３５１（０１０ — ０４０
高精度转台速度稳定性研究
杜璧秀，张淑梅，高慧斌，张玉良
（中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，长春１０３）３０３
摘要：针对摩擦力矩对高精度转台速度稳定性能的影响，考虑到转台系统的实际工作情况，本文提出了一种基于变结构的双闭环控制方法。该方法根据变结构控制的不变性特点，采用指数趋近律规则，构造了基于变结构的双
闭环控制方式。通过比对传统双闭环控制和基于变结构的双闭环控制在转台系统低速转动时的仿真分析及实验结果，表明本文提出的基于变结构的双闭环控制比传统双闭环控制可以更有效的克服摩擦力矩对高精度转台速度稳
定性的影响，提高转台的速 wenku.baidu.com 稳定性能。
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