单晶炉操作规范34页word

热检

冷检

1.目的

为单晶生产作业提供指导，规范操作，保证产品质量。

2.范围

本作业指导书适用于拉晶岗位。

3.安全要求

3.1单晶车间的安全注意事项

1.车间内的机器设备，无操作资格者勿动。

2.未装磁场的单晶炉，操作人员要注意防范掉进炉子旁边的缝隙里，对于已经装上磁场的，要注意不要带手机、磁卡（如银行卡身、份证）等靠近。也不能拿铁器、钢器靠近磁场，否则会造成人身伤害和设备损坏。

3.严禁在车间内打闹，上班时要杜绝擅离职守、睡觉等。

4.在副室与喉口间、炉盖与主室之间，只要存在可能压砸的地方，任何人严禁将身体的任何部位置于两者的空隙之间。

5.拉晶中的炉台，严禁任何人踩踏单晶炉的底盘或将身体靠在单晶和电控柜上，以免造成炉子震动或碰到电器开关。

3.2进入泵房的安全注意事项

1.确保泵房照明，如果照明灯损坏，要及时更换。

2.必须保持泵房地面干燥和清洁，定期清扫泵房，如将油到地面上时，要及时打扫干净。

3.机械泵皮带必须安装防护罩。

4.清洁机械泵和换油时，必须在泵的电源开关上悬挂警示牌，工作完毕后取走警示牌。

5洗泵时严禁将杂物掉入机械泵腔内。

3.3拆装炉

1.上班必须穿戴好劳保用品。装炉时，还需戴口罩、手套等防护用品。

2.拆炉取晶时、注意不要被烫伤、划伤、碰伤。

3.晶体出炉后按指定地点摆放，并将晶体上多余的籽晶部份剪掉。

4.拆拿及安装石墨件时要戴上线手套。

3.4乙醇、丙酮的使用

1.工业乙醇及有丙酮害、使用时，要注意防止其溅入眼内。

2.严禁用内酮擦拭密封圈！

注意：乙醇和丙酮都是易燃物，应安全使用和妥善保管。

4.工艺流程

5.4.1工艺流程图

4.2过程控制

4.2.1.1取晶体

1、停炉5小时后须先进行手动热检漏并记录，（真空度<15mTorr）泄漏率应<15mTorr(0.55Pa/5min)。泄漏率超出范围应报修。

手动热检漏操作步骤：在触摸屏上将电控系统退到手动状态，关闭供气管道上的手动球阀，将三个电磁阀全部打开，然后抽空到极限真空。停泵并保持炉子各阀门状态不

变，等待约1分钟，然后开始观察5分钟内真空的变动情况，计算出泄漏率。最后，将炉子状态复原。

2.检漏完毕后，分阶段缓慢降低晶转到零）持续时间约3-5分钟）。禁止将晶转快速或直接降到零！用蘸酒精的普通擦护纸将炉体外壁从上到下擦拭一遍。包括提拉头、检修平台、副炉筒、护盖、主炉筒。擦拭过程中要小心保护好线路及精密部件，也要防止造成环境的交叉污染。

3.停炉6小时后，才能充气拆炉。穿戴好劳保护用品，准备好拆炉工具。充氩气到大气压后，必须查看晶体完全提升到副室后方可提升副室。

4.将晶体提升到副室圆筒内，用托晶盘防护后，将副室转出。转出时注意推动的速度要缓慢均匀，以防止晶体撞到炉筒上。

注意：副室升起后，由于左右可旋转，要注意防止碰坏聂尔根。（测直径CCD）

5.在晶体下方摆放好取晶框后，撤掉托晶盘，然后降下晶体，在晶体离取晶框底部还有3-5mm距离时，停止下降，严禁使晶体接触到取晶框（会导致上轴钢丝绳因跳槽而损坏）。剪断细颈前，一人扶住取晶框，另一人用手抓住重锤或连杆（禁止触碰籽晶），然后剪断细颈后，要有控制地逐步释放重锤，防止重锤快速旋转和自由晃动，否则会导致钢丝绳跳槽或籽晶磕碰损伤。

6.检查钢丝绳是否完好可用。若

有变硬，毛刺或其它损坏情况，则应请维修人员去除老化、损坏部分，或换新的，注意钢丝绳在更换、维修后要及时校准限位！

7.在晶体上标识晶体编号，如实

完整填写《单晶生产随工单》后，将晶体放置到规定的地方。提渣盖了要标识好并妥善保存，待专门人员回收。

4.2.1.2拆热场、冷却和打扫炉内卫生。

SC籽晶控制板 CC坩埚控制板引晶目的：排除位错

SR晶转控制板 CR 埚转控制板收尾目的：减小位错提高成精率

SL晶升控制板 CL埚升控制板晶向：110两线

111三线 FB掺硼料

100四线 SG掺钾料

1.戴上高温隔热手套，将热屏、

保温盖取出，放置到石墨件专用小车上。将主炉筒升起旋出（垂直方向上要离开热系统）。将废石英、埚底料取出标记后放置到规定地点。然后升高埚位将三瓣石墨埚、石墨埚托、隔热体、托杆依次取出，拉到冷却室冷却。

2.注意：（1）取出的热屏应倒扣

在小车上、防止高温下重金属进入石墨中从而造成原料的污染，

（2）在升炉筒时要保护好热电锥、防止碰到炉盖。

（3）在以上的操作过程中，要注意人身安全和设备安全！8” 22”

2.待热场温度降下后，按附录一《热场及炉腔清扫规范》进行石墨和炉内卫生

的清理。严禁在高纯车间打扫石墨件！

计算锅跟比＝晶体直径 2 e固（2.33g/cm3）200 C (固态)

钳锅内径2e液（2.5 g/cm3）14200C(液态)

验算锅跟比＝B

2-B

1

(锅跟位)

A

2-A

1

（晶体位）

4.2.3装炉

4.2.3.1安装热场

1.确认热场打扫干净，所用石墨件及保温毡上无挥发物及浮灰，下底盘清理干净。上保温大盖的密封毡完好可用。

2.加热器石墨螺钉先拧紧（拧紧的尺度：尽量珠紧），拧松防止高温烧结，再拧紧防止松动打火。尤其磁场炉，若未拧紧，会加重加热器在通电时的振动。

3.托杆与下轴安装稳固、对中、托杆与下轴的固定螺钉拧紧即可（拧紧的尺度：适可而止）。

4.确认隔热体、：石墨埚托及三瓣埚是否完好可用

5.托杆与隔热体：隔热体与石墨埚：石墨埚托与三瓣埚托之间的止口在安装时要保证其连接必须吻合良好：做到旋转滑动自如。

6.将主炉筒的下沿及下炉筒的上沿用酒精擦试干净后全上主炉筒，查看、对中热电锥的取光孔。

7.除上下保温盖及热屏以外的所有石墨件确认安装完毕并互相对中后，才能准备装料。

1热场无挥发物

2取光孔排气孔对齐

3冷却水及泵油是否正常

4.2.3.2装料

1.装料前的准备

（1）确认已完成设备点检项目，设备方面已不存在影响开炉的问题，周围环境良好。

（2）检查所备多晶料及母合金与报告单是否相符。

（3）准备好剪刀、装料车等用品。穿戴好装料服、口罩、手套。