气瓶柜分类
合集下载
相关主题
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
FAX：886-3-5620473 www.wholetech.com.tw
備註
管件
配件
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED 新竹市高峰路487號 TEL：886-3-5228823
6
Baidu Nhomakorabea
漢科系統科技股份有限公司
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED
•
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED
G/C TYPE 1
(A) Flammable High Pressure Gas Type-1a
Accessories： ： Sprinkler IR2 Detector Over Temperature Detector Diff. Pressure Gauge/Switch Emergency Shut-Off Valve AV1L/R Shut-Boy High-pressure Test Pipes and Valves Excess Flow Switch Purge N2 Safety Release Valve Auto Damper
銜接規格 銜接名稱 Gas Outlet Purge Gas Inlet Vent N2 Inlet VG Vent Instrument Inlet Exhaust of GC 尺寸 Ø 6.35 Ø 6.35 Ø 6.35 Ø 9.52 Ø 4.00 Ø 100
Utility (2)
銜接型式 Metal Gasket (VCR) Metal Gasket (VCR) Metal Gasket (VCR) Metal Gasket (VCR) 1/8” PT Short Pipe 備註
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED 新竹市高峰路487號 TEL：886-3-5228823 FAX：886-3-5620473 www.wholetech.com.tw
8
漢科系統科技股份有限公司
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED
管線/路配置(2)
7.緊急停止系統 主要功能： 緊急中斷氣瓶櫃的所有動作 注意! 注意 按下時，仍保留部分偵測用電 源 WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED 新竹市高峰路487號 TEL：886-3-5228823 FAX：886-3-5620473 www.wholetech.com.tw
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED 新竹市高峰路487號 TEL：886-3-5228823 FAX：886-3-5620473 www.wholetech.com.tw
7
漢科系統科技股份有限公司
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED
管線/路配置(1)
11
漢科系統科技股份有限公司
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED
安全防護裝置 (3)
6.灑水裝置 主要功能： 撲滅先期火災與降低火場溫度 注意! 注意 禁止使用和水會反應之氣體 WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED 新竹市高峰路487號 TEL：886-3-5228823
Utility (1)
內容 主管路：SUS 316L VIM+VAR 吹淨管路：SUS 316L VIM+VAR 抽氣管路：SUS 316L VIM+VAR Instrument Pipe：Nylon Tube 主管路 ：Auto-welding butt type Using elbow with welding. 吹淨管路：Auto-welding butt type Using elbow with welding. 抽氣管路：Auto-welding butt type Instrument Pipe：Quick Connection.
腐蝕性/毒性 惰性 惰性
低蒸發壓氣態 液態 高壓氣態
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED 新竹市高峰路487號 TEL：886-3-5228823 FAX：886-3-5620473 www.wholetech.com.tw
1
漢科系統科技股份有限公司
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED 新竹市高峰路487號 TEL：886-3-5228823 FAX：886-3-5620473 www.wholetech.com.tw
3
漢科系統科技股份有限公司
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED
G/C TYPE 2
材料使用廠牌
項次 1 品名 調壓閥 Regulator (1) (2) (3) 2 手動閥 Manual Valve (4) (1) (2) (3) (1) (2) (3) 4 5 流量感測器 過濾器 Exceed Flow Sensor Filter (1) (1) (2) 6 逆止閥 Check Valve (3) (1) (2) 建議廠商 APTECH VERIFLO TESCOM CROWN FUJIKIN VERIFLO APTECH FUJIKIN VERIFLO APTECH SWAGELOK PALL MILLIPORE TEM-TECH NUPRO FUJIKIN 13 鋼瓶接頭 Cylinder Connector 12 管接頭 Fitting 8 9 壓力表 壓力傳輸器 Pressure Gauge Pressure Transducer 項次 7 品名 真空產生器 Vacuum Generator (1) (2) (1) (2) (1) (2) (3) (1) (1) (2) (3) (1) (2) (3) (1) 建議廠商 VERIFLO SVT MILLIPORE WIKA TEM-TECH MILLIPORE MKS MILLIPORE KUZE POLYMOUTH SUMIKIN FUJIKIN HAMLET PARKER EWAL
1. 一次側管路 (High Pressure)：
• 一般是以鋼瓶入口至調壓閥這段管路稱做一次側管路，由於這個區段的管路 壓力最大，因此再與其他部分連接時，應裝設逆止閥或調壓閥來阻止高壓氣 體進入低壓區域，避免損害低壓閥件。
2. 二次側管路 (High Pressure)：
• 製程氣體經由調壓閥轉換成低壓狀態後再輸出至氣櫃以外的系統（如VMB）， 這部分稱為二次側管路，主要功能在於管制製程氣體的供應，若連接一次側 與二次側的調壓閥失去作用，將會使這部份管路的低壓閥件造成損壞，因此 在二次側管路的出口端是採用高壓的手動閥以避免輸出高壓的製程氣體。
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED 新竹市高峰路487號 TEL：886-3-5228823 FAX：886-3-5620473 www.wholetech.com.tw
4
漢科系統科技股份有限公司
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED
G/C TYPE 3
9
漢科系統科技股份有限公司
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED
安全防護裝置 (1)
1.氣動閥壓力開關 主要功能： 偵測氣動閥驅動壓力 注意! 注意 驅動氣源壓力不足或 過高時，將無法控制 器動閥 5.外部訊號 預設功能： 遠端EMO、地震 訊號、氣體洩漏偵 測
4.差壓系統 主要功能： 測量閥箱的負壓 值 注意! 注意 壓力不足時，極 有可能表示氣體 洩漏 2.過流量檢測開關 主要功能： 檢測鋼瓶供氣的流量 注意! 注意 氣體流量過高，將會 損壞閥件` WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED 新竹市高峰路487號 TEL：886-3-5228823 FAX：886-3-5620473 www.wholetech.com.tw
(C) Corrosive Liquid Gas Type-3a
Accessories： ： Diff. Pressure Gauge/Switch Emergency Shut-Off Valve AV1L/R Shut-Boy Excess Flow Switch *Note 1 Load Cell Purge N2 Safety Release Valve *Note 1：Type–3a for WF6 does ： not contain excess flow switch EFS1L/R. *Note 2：Type–3b for BCl3 does ： not contain excess flow switch EFS1L/R. And regulator PRV1L/R.
3.火焰偵測器（IR2） 主要功能： 偵測鋼瓶內部是否有火燄產 生 注意! 注意 需另安裝消防備用電源
3. 吹淨管路（Purge）：
• 吹淨用的N2可分為鋼瓶供應或外界供應。在本氣瓶櫃中，是採用鋼瓶提供N2 來吹淨製程管路，另外，還可分別提供高壓或低壓的N2氣體。由於N2通常僅 用於維修或換裝新製程鋼瓶，且使用量並不大，因此在本氣瓶櫃還提供N2給 其他VMB或氣瓶櫃使用。
4. 抽氣管路（Vent）：
漢科系統科技股份有限公司
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED
氣瓶櫃分類
鋼瓶數 TYPE 1 TYPE 2 TYPE 3 TYPE 4 TYPE 5 3 CY. (a) 2 CY. (b) 3 CY. (a) 2 CY. (b) 2 CY. (a) 2 CY. (a) 2 CY. (a) 主要危害性 燃燒性 燃燒性 高壓氣態 中壓液態 儲存狀態
10
漢科系統科技股份有限公司
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED
安全防護裝置 (2)
10.Z-Purge 主要功能： 防止製程氣體進入控制箱 注意! 注意 壓力不足時，洩漏之氣體 有可能進入控制箱 9.隔離開關 主要功能： 控制氣瓶櫃的電 源 8.緊急遮斷器 主要功能： 系統中斷氣動閥氣源 時，關閉鋼瓶
(B) Flammable Liquid Gas Type-2a
Accessories： ： Sprinkler UV/IR Detector Over Temperature Detector Diff. Pressure Gauge/Switch Emergency Shut-Off Valve AV1L/R Shut-Boy High-pressure Test Pipes and Valves Excess Flow Switch *Note 1 Purge N2 Safety Release Valve Load Cell Auto Damper
• GN2氣體經由氣動閥VVS管制在通過真空產生器VG，再由廢氣處理 系統的抽氣幫浦抽出氣櫃系統因為真空產生器與抽氣幫浦的作用，使 VENT管路與製程管路產生極大的壓差，進而將純度較低的製程氣體 －受污染的氣體或微塵粒子（Particles）抽離供氣管路。
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED 新竹市高峰路487號 TEL：886-3-5228823 FAX：886-3-5620473 www.wholetech.com.tw
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED 新竹市高峰路487號 TEL：886-3-5228823 FAX：886-3-5620473 www.wholetech.com.tw
5
漢科系統科技股份有限公司
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED
•
管路規格 項目
3
氣動閥
Air Valve
10 11
磅秤 管材
Scale Tube & Pipe
(3) SVT WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED 新竹市高峰路487號 TEL：886-3-5228823 FAX：886-3-5620473 www.wholetech.com.tw
2
漢科系統科技股份有限公司
備註
管件
配件
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED 新竹市高峰路487號 TEL：886-3-5228823
6
Baidu Nhomakorabea
漢科系統科技股份有限公司
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED
•
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED
G/C TYPE 1
(A) Flammable High Pressure Gas Type-1a
Accessories： ： Sprinkler IR2 Detector Over Temperature Detector Diff. Pressure Gauge/Switch Emergency Shut-Off Valve AV1L/R Shut-Boy High-pressure Test Pipes and Valves Excess Flow Switch Purge N2 Safety Release Valve Auto Damper
銜接規格 銜接名稱 Gas Outlet Purge Gas Inlet Vent N2 Inlet VG Vent Instrument Inlet Exhaust of GC 尺寸 Ø 6.35 Ø 6.35 Ø 6.35 Ø 9.52 Ø 4.00 Ø 100
Utility (2)
銜接型式 Metal Gasket (VCR) Metal Gasket (VCR) Metal Gasket (VCR) Metal Gasket (VCR) 1/8” PT Short Pipe 備註
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED 新竹市高峰路487號 TEL：886-3-5228823 FAX：886-3-5620473 www.wholetech.com.tw
8
漢科系統科技股份有限公司
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED
管線/路配置(2)
7.緊急停止系統 主要功能： 緊急中斷氣瓶櫃的所有動作 注意! 注意 按下時，仍保留部分偵測用電 源 WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED 新竹市高峰路487號 TEL：886-3-5228823 FAX：886-3-5620473 www.wholetech.com.tw
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED 新竹市高峰路487號 TEL：886-3-5228823 FAX：886-3-5620473 www.wholetech.com.tw
7
漢科系統科技股份有限公司
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED
管線/路配置(1)
11
漢科系統科技股份有限公司
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED
安全防護裝置 (3)
6.灑水裝置 主要功能： 撲滅先期火災與降低火場溫度 注意! 注意 禁止使用和水會反應之氣體 WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED 新竹市高峰路487號 TEL：886-3-5228823
Utility (1)
內容 主管路：SUS 316L VIM+VAR 吹淨管路：SUS 316L VIM+VAR 抽氣管路：SUS 316L VIM+VAR Instrument Pipe：Nylon Tube 主管路 ：Auto-welding butt type Using elbow with welding. 吹淨管路：Auto-welding butt type Using elbow with welding. 抽氣管路：Auto-welding butt type Instrument Pipe：Quick Connection.
腐蝕性/毒性 惰性 惰性
低蒸發壓氣態 液態 高壓氣態
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED 新竹市高峰路487號 TEL：886-3-5228823 FAX：886-3-5620473 www.wholetech.com.tw
1
漢科系統科技股份有限公司
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED 新竹市高峰路487號 TEL：886-3-5228823 FAX：886-3-5620473 www.wholetech.com.tw
3
漢科系統科技股份有限公司
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED
G/C TYPE 2
材料使用廠牌
項次 1 品名 調壓閥 Regulator (1) (2) (3) 2 手動閥 Manual Valve (4) (1) (2) (3) (1) (2) (3) 4 5 流量感測器 過濾器 Exceed Flow Sensor Filter (1) (1) (2) 6 逆止閥 Check Valve (3) (1) (2) 建議廠商 APTECH VERIFLO TESCOM CROWN FUJIKIN VERIFLO APTECH FUJIKIN VERIFLO APTECH SWAGELOK PALL MILLIPORE TEM-TECH NUPRO FUJIKIN 13 鋼瓶接頭 Cylinder Connector 12 管接頭 Fitting 8 9 壓力表 壓力傳輸器 Pressure Gauge Pressure Transducer 項次 7 品名 真空產生器 Vacuum Generator (1) (2) (1) (2) (1) (2) (3) (1) (1) (2) (3) (1) (2) (3) (1) 建議廠商 VERIFLO SVT MILLIPORE WIKA TEM-TECH MILLIPORE MKS MILLIPORE KUZE POLYMOUTH SUMIKIN FUJIKIN HAMLET PARKER EWAL
1. 一次側管路 (High Pressure)：
• 一般是以鋼瓶入口至調壓閥這段管路稱做一次側管路，由於這個區段的管路 壓力最大，因此再與其他部分連接時，應裝設逆止閥或調壓閥來阻止高壓氣 體進入低壓區域，避免損害低壓閥件。
2. 二次側管路 (High Pressure)：
• 製程氣體經由調壓閥轉換成低壓狀態後再輸出至氣櫃以外的系統（如VMB）， 這部分稱為二次側管路，主要功能在於管制製程氣體的供應，若連接一次側 與二次側的調壓閥失去作用，將會使這部份管路的低壓閥件造成損壞，因此 在二次側管路的出口端是採用高壓的手動閥以避免輸出高壓的製程氣體。
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED 新竹市高峰路487號 TEL：886-3-5228823 FAX：886-3-5620473 www.wholetech.com.tw
4
漢科系統科技股份有限公司
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED
G/C TYPE 3
9
漢科系統科技股份有限公司
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED
安全防護裝置 (1)
1.氣動閥壓力開關 主要功能： 偵測氣動閥驅動壓力 注意! 注意 驅動氣源壓力不足或 過高時，將無法控制 器動閥 5.外部訊號 預設功能： 遠端EMO、地震 訊號、氣體洩漏偵 測
4.差壓系統 主要功能： 測量閥箱的負壓 值 注意! 注意 壓力不足時，極 有可能表示氣體 洩漏 2.過流量檢測開關 主要功能： 檢測鋼瓶供氣的流量 注意! 注意 氣體流量過高，將會 損壞閥件` WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED 新竹市高峰路487號 TEL：886-3-5228823 FAX：886-3-5620473 www.wholetech.com.tw
(C) Corrosive Liquid Gas Type-3a
Accessories： ： Diff. Pressure Gauge/Switch Emergency Shut-Off Valve AV1L/R Shut-Boy Excess Flow Switch *Note 1 Load Cell Purge N2 Safety Release Valve *Note 1：Type–3a for WF6 does ： not contain excess flow switch EFS1L/R. *Note 2：Type–3b for BCl3 does ： not contain excess flow switch EFS1L/R. And regulator PRV1L/R.
3.火焰偵測器（IR2） 主要功能： 偵測鋼瓶內部是否有火燄產 生 注意! 注意 需另安裝消防備用電源
3. 吹淨管路（Purge）：
• 吹淨用的N2可分為鋼瓶供應或外界供應。在本氣瓶櫃中，是採用鋼瓶提供N2 來吹淨製程管路，另外，還可分別提供高壓或低壓的N2氣體。由於N2通常僅 用於維修或換裝新製程鋼瓶，且使用量並不大，因此在本氣瓶櫃還提供N2給 其他VMB或氣瓶櫃使用。
4. 抽氣管路（Vent）：
漢科系統科技股份有限公司
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED
氣瓶櫃分類
鋼瓶數 TYPE 1 TYPE 2 TYPE 3 TYPE 4 TYPE 5 3 CY. (a) 2 CY. (b) 3 CY. (a) 2 CY. (b) 2 CY. (a) 2 CY. (a) 2 CY. (a) 主要危害性 燃燒性 燃燒性 高壓氣態 中壓液態 儲存狀態
10
漢科系統科技股份有限公司
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED
安全防護裝置 (2)
10.Z-Purge 主要功能： 防止製程氣體進入控制箱 注意! 注意 壓力不足時，洩漏之氣體 有可能進入控制箱 9.隔離開關 主要功能： 控制氣瓶櫃的電 源 8.緊急遮斷器 主要功能： 系統中斷氣動閥氣源 時，關閉鋼瓶
(B) Flammable Liquid Gas Type-2a
Accessories： ： Sprinkler UV/IR Detector Over Temperature Detector Diff. Pressure Gauge/Switch Emergency Shut-Off Valve AV1L/R Shut-Boy High-pressure Test Pipes and Valves Excess Flow Switch *Note 1 Purge N2 Safety Release Valve Load Cell Auto Damper
• GN2氣體經由氣動閥VVS管制在通過真空產生器VG，再由廢氣處理 系統的抽氣幫浦抽出氣櫃系統因為真空產生器與抽氣幫浦的作用，使 VENT管路與製程管路產生極大的壓差，進而將純度較低的製程氣體 －受污染的氣體或微塵粒子（Particles）抽離供氣管路。
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED 新竹市高峰路487號 TEL：886-3-5228823 FAX：886-3-5620473 www.wholetech.com.tw
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED 新竹市高峰路487號 TEL：886-3-5228823 FAX：886-3-5620473 www.wholetech.com.tw
5
漢科系統科技股份有限公司
WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED
•
管路規格 項目
3
氣動閥
Air Valve
10 11
磅秤 管材
Scale Tube & Pipe
(3) SVT WHOLETECH SYSTEM HITECH LIMITED 新竹市高峰路487號 TEL：886-3-5228823 FAX：886-3-5620473 www.wholetech.com.tw
2
漢科系統科技股份有限公司