精工-机械结构及电气元件介绍
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17Fra bibliotek下炉体部件
4.溢流棉：防止硅液溢流时烧穿炉壁，起到保 护炉壁的作用
5.隔热条：减少热量的流失。
下炉体部件
溢流线装置
下炉体部件
溢流线：溢流线的作用是当硅锭溢流时，硅液通过溢流孔而流 向溢流线，使其断开，使溢流报警从而自动进入紧急冷却。
20
下炉体部件
溢流线的检查：
1.溢流线在溢流棉上是否紧贴，有无翘起。如有的话，用别 针将翘曲部位别住。使其贴紧溢流棉。 2.检查溢流线有无杂物。如有则清干净，以免造成假报警。 3.检查溢流线表面是否有发黑现象，是否需要更换。 4.拔掉溢流插头，电脑显示屏上是否弹出报警窗口 5.用万用表测量溢流线两头的电阻：2.5--2.8Ω之间。检查溢 流线与炉壁电阻无穷大。
电流放大器
KA4-伺服电机抱闸 继电器 5V 电源(3个）
隔热板提升电机 驱动器PC800
24V 电源
B3000
LCM4 24V 电源 滤波器 15V 电源
0002-机械泵；0004罗茨泵；0006-下炉体电机运行； 0008-至SCR控制器给功率信号
0012-黄灯； 0016-蜂鸣器；
0014-绿灯； 0018-红灯；
水流计: 1011+ F5; 1013+F6; 1015+F7; 1017+F8；
1021+离合器检测 1023+UPS检测 1025+至SCR控制器 1027+精工500为氩气用量检测 1031+下炉体上限位 1033+下炉体上减速限位 1035+下炉体下减速限位 1037+下炉体下限位
下 排
1041+电源缺相检测 1043+加热器电源接通检测 1045+机械泵运行反馈 1047+罗茨泵运行反馈 1051+压缩空气检测 1053+控制电源掉电检测 1055+下炉体上升 1057下炉体下降 1061+隔热笼上限位 1063+隔热笼下限位 1065+伺服故障 1067+高温计原位检测 1072+1073-粗读压力计 1076+1077-精读压力计 1082+进水水温 1091+1092- TC1 1101+11021111+1112TC2 硅液溢流检测 1086+出水水温
21
下炉体部件
TC2-监测石墨平台温度
下炉体部件 隔热板伺服电机 传动丝杆
下炉体部件
下炉体提升电机：下炉体提升电机是直流电机，514C模拟直流 调速器进行下炉体的升降，三根提升丝杆以及二根软轴组成。
下炉体部件
真空泵
真空泵
机械泵
罗茨泵
28
真空泵
机械泵电源开关
罗茨泵电源开关
真空泵
油雾分离器
8
上炉体部件 MFC（质量流量控制器） V2阀（小口径进气阀）
V6阀（大口径进气阀）
电磁阀
上炉体部件
精读压力计(0-1Torr）
1 0
粗读压力计(0-1000Torr)
上炉体部件
V1插板阀
比例阀
V3出气阀
上炉体部件
TC1-控温热电偶
上炉体部件 隔热笼
上炉体部件
热区部分：主要是由隔热笼不锈钢架、碳碳保温板、碳碳保 温条、 加热石墨电极、顶部石墨加热器、四周石墨加热器、 紧固螺栓、 观察孔 、陶瓷垫片、陶瓷套筒。
0022-V2 ；0024-V6；0026-V3；0028-V7 0032-下炉体抱闸； 0036-伺服使能； 0034-电机RUN； 0038-伺服复位
上 排
0042- V1阀；0044- 放气阀；0046- 加热器开关
0051+ KA4伺服电机抱闸；0055+ 到SCR控制器复位 0062+ 0063-\MFC输出； 0066+ 0067-比例阀输出
精工炉体结构
炉体主要组成部分
上炉体
下炉体 冷却水路
真空泵
电脑显示器
上炉体结构
上炉体部件
变压器
高温计
SCR
水冷电缆 加热电极 SCR-可控硅控制器
上炉体部件
高温计
上炉体部件
SCR-可控硅控制器
SCR
上炉体部件
MFC（质量流量控制器）: 采用热式流量传感技术，即流量传感器将非电量的气体 流量转换成电信号（MV信号），该信号经放大器放大后输 出给PLC作控制信号，另外MFC还包括一个比例电磁阀，这 个阀可以控制阀芯的开启程度，通过闭环控制回路使程序要 求的进气量得以实现。 压力计：（有两个压力计） 一个为粗读压力计（0~1000torr） 一个为精读压力计（0~1torr）
31
配电柜
配电柜
514C电源开关 QF17
QF4 QF5 QF2
QF20
下炉体提升电 机电源开关 总电源开关 （通 向变压器） 罗茨泵开关 机械泵开关 配电柜排热 风扇电源 总电源开关 （为继电器供电） 下炉体提升电 机电源接触器 罗茨泵接触器
缺 相 监 控 传 感 器
QF3 QF14
KM2
KM3
0072+ 0073-\MFC 输入; 0076+ 03093-高温计 精工 660- 氩气压力及用量检测 0092+ 0093- 输出直流电机速度信号 0102+ 0103- \ 0106+ 0103- 电流检测 0112+ 01137- \ 0116+ 01137-电压检测
水流计: 1001+ F1; 1003+F2; 1005+F3; 1007+F4;
KM4
机械泵接触器
主电源接触器（KM1)
下炉体提升电机直流调速器 514C
变压器（380V—220V)
KA2-机械泵继电器 KA1-主电源开关继电器
KA3- 罗茨泵继电器 KA5-514C电源继电器
控制柜
控制柜
24V 24V 15V
UPS
KA8下 炉 体 抱 闸 继 电 器
KA6急 停 继 电 器
真空泵
问：真空泵上的油雾分离器作用是什么？怎样判断 其是否正常？ 答：1 .将油和气体通过滤芯（管状）分离开来，油气从滤芯管 孔内进入，油经过过滤从芯外经管道流回油腔，气体从分离 器顶部排放口排出。 2 .通过压力计的显示可帮助判断其是否正常，0.5～2.5psi说 明正常，小于0.5psi说明滤芯破裂或安装不当，大于2.5说明 滤芯堵塞。
下炉体结构
下炉体部件
石墨平台 DS-BLOCK 石墨支柱
隔热板
1 6
溢流棉
隔热条
下炉体部件
1.石墨平台(DS-BLOCK)：用来放置坩埚 2.石墨支撑柱：
是由三根石墨材料经过特殊的工艺加工成的三根柱子。 用来支撑石墨平台的作用。在使用一定的年限。我们一定 要检查支撑柱是否有开裂或者因其它外力所造成的损坏。 在装料之前一定要检查石墨平台是否晃动大。如晃动大， 一定不能上料、应及时向上级汇报并找机修工检查及更换。 3.隔热板：它可以上下运动，它上升与下降的速度是改进工 艺的主要因素。
KA7控 制 电 源 掉 电 检 测
QF7总 电 源 开 关
QF9工 控 机 电 源 开 关
QF10- 5V 电 源 及 急 停 开 关
QF11-15V
电 源 开 关
QF12-24V
电 源 开 关
QF14下 炉 体 抱 闸 电 源 开 关
电 机 驱 动 器 开 关
QF15-
QF16伺 服 电 机 电 源 开 关
4.溢流棉：防止硅液溢流时烧穿炉壁，起到保 护炉壁的作用
5.隔热条：减少热量的流失。
下炉体部件
溢流线装置
下炉体部件
溢流线：溢流线的作用是当硅锭溢流时，硅液通过溢流孔而流 向溢流线，使其断开，使溢流报警从而自动进入紧急冷却。
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下炉体部件
溢流线的检查：
1.溢流线在溢流棉上是否紧贴，有无翘起。如有的话，用别 针将翘曲部位别住。使其贴紧溢流棉。 2.检查溢流线有无杂物。如有则清干净，以免造成假报警。 3.检查溢流线表面是否有发黑现象，是否需要更换。 4.拔掉溢流插头，电脑显示屏上是否弹出报警窗口 5.用万用表测量溢流线两头的电阻：2.5--2.8Ω之间。检查溢 流线与炉壁电阻无穷大。
电流放大器
KA4-伺服电机抱闸 继电器 5V 电源(3个）
隔热板提升电机 驱动器PC800
24V 电源
B3000
LCM4 24V 电源 滤波器 15V 电源
0002-机械泵；0004罗茨泵；0006-下炉体电机运行； 0008-至SCR控制器给功率信号
0012-黄灯； 0016-蜂鸣器；
0014-绿灯； 0018-红灯；
水流计: 1011+ F5; 1013+F6; 1015+F7; 1017+F8；
1021+离合器检测 1023+UPS检测 1025+至SCR控制器 1027+精工500为氩气用量检测 1031+下炉体上限位 1033+下炉体上减速限位 1035+下炉体下减速限位 1037+下炉体下限位
下 排
1041+电源缺相检测 1043+加热器电源接通检测 1045+机械泵运行反馈 1047+罗茨泵运行反馈 1051+压缩空气检测 1053+控制电源掉电检测 1055+下炉体上升 1057下炉体下降 1061+隔热笼上限位 1063+隔热笼下限位 1065+伺服故障 1067+高温计原位检测 1072+1073-粗读压力计 1076+1077-精读压力计 1082+进水水温 1091+1092- TC1 1101+11021111+1112TC2 硅液溢流检测 1086+出水水温
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下炉体部件
TC2-监测石墨平台温度
下炉体部件 隔热板伺服电机 传动丝杆
下炉体部件
下炉体提升电机：下炉体提升电机是直流电机，514C模拟直流 调速器进行下炉体的升降，三根提升丝杆以及二根软轴组成。
下炉体部件
真空泵
真空泵
机械泵
罗茨泵
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真空泵
机械泵电源开关
罗茨泵电源开关
真空泵
油雾分离器
8
上炉体部件 MFC（质量流量控制器） V2阀（小口径进气阀）
V6阀（大口径进气阀）
电磁阀
上炉体部件
精读压力计(0-1Torr）
1 0
粗读压力计(0-1000Torr)
上炉体部件
V1插板阀
比例阀
V3出气阀
上炉体部件
TC1-控温热电偶
上炉体部件 隔热笼
上炉体部件
热区部分：主要是由隔热笼不锈钢架、碳碳保温板、碳碳保 温条、 加热石墨电极、顶部石墨加热器、四周石墨加热器、 紧固螺栓、 观察孔 、陶瓷垫片、陶瓷套筒。
0022-V2 ；0024-V6；0026-V3；0028-V7 0032-下炉体抱闸； 0036-伺服使能； 0034-电机RUN； 0038-伺服复位
上 排
0042- V1阀；0044- 放气阀；0046- 加热器开关
0051+ KA4伺服电机抱闸；0055+ 到SCR控制器复位 0062+ 0063-\MFC输出； 0066+ 0067-比例阀输出
精工炉体结构
炉体主要组成部分
上炉体
下炉体 冷却水路
真空泵
电脑显示器
上炉体结构
上炉体部件
变压器
高温计
SCR
水冷电缆 加热电极 SCR-可控硅控制器
上炉体部件
高温计
上炉体部件
SCR-可控硅控制器
SCR
上炉体部件
MFC（质量流量控制器）: 采用热式流量传感技术，即流量传感器将非电量的气体 流量转换成电信号（MV信号），该信号经放大器放大后输 出给PLC作控制信号，另外MFC还包括一个比例电磁阀，这 个阀可以控制阀芯的开启程度，通过闭环控制回路使程序要 求的进气量得以实现。 压力计：（有两个压力计） 一个为粗读压力计（0~1000torr） 一个为精读压力计（0~1torr）
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配电柜
配电柜
514C电源开关 QF17
QF4 QF5 QF2
QF20
下炉体提升电 机电源开关 总电源开关 （通 向变压器） 罗茨泵开关 机械泵开关 配电柜排热 风扇电源 总电源开关 （为继电器供电） 下炉体提升电 机电源接触器 罗茨泵接触器
缺 相 监 控 传 感 器
QF3 QF14
KM2
KM3
0072+ 0073-\MFC 输入; 0076+ 03093-高温计 精工 660- 氩气压力及用量检测 0092+ 0093- 输出直流电机速度信号 0102+ 0103- \ 0106+ 0103- 电流检测 0112+ 01137- \ 0116+ 01137-电压检测
水流计: 1001+ F1; 1003+F2; 1005+F3; 1007+F4;
KM4
机械泵接触器
主电源接触器（KM1)
下炉体提升电机直流调速器 514C
变压器（380V—220V)
KA2-机械泵继电器 KA1-主电源开关继电器
KA3- 罗茨泵继电器 KA5-514C电源继电器
控制柜
控制柜
24V 24V 15V
UPS
KA8下 炉 体 抱 闸 继 电 器
KA6急 停 继 电 器
真空泵
问：真空泵上的油雾分离器作用是什么？怎样判断 其是否正常？ 答：1 .将油和气体通过滤芯（管状）分离开来，油气从滤芯管 孔内进入，油经过过滤从芯外经管道流回油腔，气体从分离 器顶部排放口排出。 2 .通过压力计的显示可帮助判断其是否正常，0.5～2.5psi说 明正常，小于0.5psi说明滤芯破裂或安装不当，大于2.5说明 滤芯堵塞。
下炉体结构
下炉体部件
石墨平台 DS-BLOCK 石墨支柱
隔热板
1 6
溢流棉
隔热条
下炉体部件
1.石墨平台(DS-BLOCK)：用来放置坩埚 2.石墨支撑柱：
是由三根石墨材料经过特殊的工艺加工成的三根柱子。 用来支撑石墨平台的作用。在使用一定的年限。我们一定 要检查支撑柱是否有开裂或者因其它外力所造成的损坏。 在装料之前一定要检查石墨平台是否晃动大。如晃动大， 一定不能上料、应及时向上级汇报并找机修工检查及更换。 3.隔热板：它可以上下运动，它上升与下降的速度是改进工 艺的主要因素。
KA7控 制 电 源 掉 电 检 测
QF7总 电 源 开 关
QF9工 控 机 电 源 开 关
QF10- 5V 电 源 及 急 停 开 关
QF11-15V
电 源 开 关
QF12-24V
电 源 开 关
QF14下 炉 体 抱 闸 电 源 开 关
电 机 驱 动 器 开 关
QF15-
QF16伺 服 电 机 电 源 开 关