原子层沉积操作步骤

原子层沉积操作步骤
1、开机：开普氮（压力0.4-0.6MPa）、高纯氮气瓶（压力小于0.1MPa）；
开总电源；开水冷机。

2、放样品：点击“进气”，待压强升至1个大气压后，打开腔体，放
入样品。

点击“设置”，将流量重新设置为：20。

3、开机械泵：先打开机械泵电源开关，然后点击“泵阀开”。

4、设置温度参数：点击“设置”，开始设置温度参数，例如1：200
度；2：230度；11（水）：50度，或者11（臭氧）：0度；10（Al 源）：0度。

循环次数根据需要设置。

流量：20 。

点击“确定”，开始加热，加热时间不少于45min。

5、排水：加热45min后，若之前用过水，而本次实验用臭氧，则需
排水。

点击“模式1”，将前驱体4的脉冲时间设为：1000ms，清洗时间设为：5s，关闭小窗，点击“开始”，n个循环后，点击“结束”，排水完成。

6、设置沉积模式参数：点击“模式1”或者“模式2”，设置前驱体
和水（或者臭氧）的脉冲时间和清洗时间。

以沉积氧化铝为例，前驱体3为铝源，前驱体4为水（或者臭氧），其他为空置，设置前驱体3的脉冲时间为：60ms，清洗时间设为：10s；设置前驱体4的脉冲时间为：50ms，清洗时间设为：30s。

7、设置载气流量和循环次数：点击“设置”，流量设置为：20；循环
次数根据所需样品厚度而定。

8、开始实验：打开相应前驱体的手动阀，如果使用臭氧作为反应源，
则需打开臭氧的截止阀。

（如果使用臭氧作为反应源，请参考臭氧发生器操作说明）。

点击“开始”，开始镀膜。

9、取样品：当所设置的循环次数完成后，循环次数自动清零。

点击
“设置”将流量重新设置为：0。

关闭源的手动阀（若用臭氧，还需关闭臭氧的截止阀），点击“泵阀关”，点击“进气”，大约5min后气压达到1个大气压，开腔体，取出样品。

10、抽真空：点击“泵阀开”，气压下降后，点击“进气”，关闭高
纯氮的减压阀，流量下降至1位数时，点“设置”，将将流量重新设置为：0。

（若下次实验换另外的源，则需排空，具体操作：点击“泵阀开”，气压下降后，点击“进气”，点击“模式1”，将前驱体3的脉冲时间设为：500ms，清洗时间设为：5s，将前驱体4的脉冲时间设为：1000ms，清洗时间设为：10s，关闭小窗，点击“开始”，100个循环后，点击“结束”，排空完成。

）
11、关仪器：点击“设置”，将1、2和11（水）的温度设为：0 ，
将所用源的温度设为：0。

点击“泵阀关”，关机械泵，关总电源，关普氮、关水冷。

臭氧发生器操作步骤
1、开水冷。

2、气体调节：开氧气瓶减压阀（压力小于0.05MPa），通过气体调
节旋钮调节进气压力（1个小格），调节进气流量为150 NL/h，等待10min。

3、开机与功率调节：按下电源开关开机，屏幕显示“主电源开启，
变频器关闭，功率10%”后，按下“设置”键，通过“+”或者
“-”键改变设定值，一般设置在30%-40%，不能超过53%。

按
下“逆变器”键2秒钟启动逆变器，产生臭氧。

4、关机：运行结束时，按下“逆变器”键2秒钟关闭逆变器。

5-10min
后，关冷却水、关氧气减压阀和气瓶、关电源。