真空技术历史、现在和将来

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的经 历典 史真 回空 顾技
术 及 其 应 用
通常衡量气体稀密程度的物理量是压力,因 为气体分子处于无规则的热运动之中,与物 体碰撞时会产生压力。气体分子密度越大, 气体压力也越大。
在海洋平面上,气体产生的压力值为 101325Pa,约105Pa,此值称为标准大气 压。而珠峰顶处的大气压力只有32000Pa。 为海平面处压力的三分之一左右。
19世纪末20世纪初。20世纪中期,随着

电子器件、原子能、航天技术对真空条件
的需求,推动了真空技术的长足进步。

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我国在20世纪60年代初,把真空技术作 为极端技术(高压、真空、高温、低温)
二. 经典真空技术及其应用的历史回顾
的经 历典 史真 回空 顾技
术 及 其 应 用
1.何谓真空 2.真空技术的发展历史
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的经 历典 史真 回空 顾技
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术 及 其 应 用
大气压力随着离地高度的递增而降低,基本 按指数规律下降。高度(Z)每升高15公里, 压力(p)下降一个数量级。地球大气层以 外的宇宙真空,称为“空间真空”,它是典型 的“自然真空”。
的经 历典 史真 回空 顾技
术 及 其 应 用
地球上存在着自然状态的真空。包围地球的 大气层、受地心引力(空气分子重力)的作 用,离地面越高、空气越稀薄。
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根据IUVSTA的划分,现代真空技术的分
支学科包括:经典的真空技术(真空获得、
检测、系统及其常规应用),真空冶金及
表面工程,等离子体科学与技术,薄膜,

电子材料及加工工艺,表面科学,应用表
面科学,纳米科学与技术(见图1.1)。
目前我国真空学会也是按此分支设置专业
委员会的。

因此,真空技术不仅为现代许多科技所需
术 及 其 应 用
1.何谓真空
所谓的真空,一种是物理学上的“真空”,没 有或者不计气体分子和原子存在的物理空 间,仅存在各种能量粒子的场空间;另一 种是应用物理与技术所讨论的“真空”,指低 于一个大气压力的稀薄气体的空间状态。 “真空”一词来自拉丁语“Vacuum”,原意是 “空虚”。
真空的定义
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术 及 其 应 用
进一步,人们运用科技手段,发明了各种真ຫໍສະໝຸດ Baidu空泵去抽掉密闭容器中的气体,获得“人为 真空”,逐渐形成了“真空技术”这个学科。但 是,即使在使用现代排气方法获得的最低压 力,也只能达到10-12~10-13Pa,还远未达 到绝对真空。
真空技术的历史回顾与近代发展
一.前言 二.经典真空技术及其应用的历史回顾 三.真空实用技术及其应用 四.真空技术的近代发展
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一.前言
“真空技术”作为独立的学科体系,始于
要,而且在更深层次的物理学研究中也是
一个非常重要的物理范畴。
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图1.1 现代真空技术
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会。1983年中国真空学会作为中国唯一 的会员单位加入了国际真空科学技术与应
用协会(IUVSTA)。
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传统的真空技术主要包括:真空的获得、检 测以及真空系统的配置等。它成为配合许多 学科创新的条件和手段。
之一,受到国家的高度重视。

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我校的“真空技术及设备”专业正是在这种
情况下,于1958年诞生的,1962年有了
第一届毕业生。1979年成立中国真空学
前 现代科学技术的相互交叉渗透,极大地丰富
了真空技术的内涵。尤其是超高真空、超清 洁表面的出现,揭示了自然界中许多新的现 象和规律,纳米科技就是一例。

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大气压力与高度的关系式
自然真空
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的经 历典 史真 回空 顾技
术 及 其 应 用
人通过胸腔和腹腔之间的膈膜的收缩和放 松迫使肺呼吸,吸气时胸腔压力接近大气 压力,呼气时可降到大气压力以下,即人 为真空状态。
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