10超纯水系统PPT课件
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超纯水课件
4
1.2超纯水（UPW）的标准
➢中国电子行业超纯水国家标准GB/T1146.1-1997 ➢电子行业、半导体业标准：ASTM D5127-99
5
中国电子行业超纯水国家标准GB/T1146.1-1997
中国电子行业超纯水国家标准 GB/T1146.1-1997
指标\级别
EW－Ⅰ
EW－Ⅱ
EW－Ⅲ
电阻率 MΩ，cm(25℃)
Type E-2
5.0~1.0 17.5 50 —
—
—
—
— 10 — 10 1 2 1 —
—
— 1 —
— 1 —
—
— 1 1 1 —
—
Type E-3
>5.0 12 300 — — — — — 50 — 10000 5 5 5 — —
— 2 —
— 2 —
—
— 10 5 5 —
—
Type E-4
— 0.5 1000 — — — — — 1000 — 100000 1000 500 500 — —
Parameter
Type E-1
Linewidth(microns)
1.0~0.5
Resistivity(MΩ×cm) TOC(ppb)
18.2 5
0.05~0.1 500
Particles 0.1~0.2 五大指标 (micron range) 0.2~0.3
1.2超纯水（UPW）的标准
➢中国电子行业超纯水国家标准GB/T1146.1-1997 ➢电子行业、半导体业标准：ASTM D5127-99
5
中国电子行业超纯水国家标准GB/T1146.1-1997
中国电子行业超纯水国家标准 GB/T1146.1-1997
指标\级别
EW－Ⅰ
EW－Ⅱ
EW－Ⅲ
电阻率 MΩ，cm(25℃)
Type E-2
5.0~1.0 17.5 50 —
—
—
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— 10 — 10 1 2 1 —
—
— 1 —
— 1 —
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— 1 1 1 —
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Type E-3
>5.0 12 300 — — — — — 50 — 10000 5 5 5 — —
— 2 —
— 2 —
—
— 10 5 5 —
—
Type E-4
— 0.5 1000 — — — — — 1000 — 100000 1000 500 500 — —
Parameter
Type E-1
Linewidth(microns)
1.0~0.5
Resistivity(MΩ×cm) TOC(ppb)
18.2 5
0.05~0.1 500
Particles 0.1~0.2 五大指标 (micron range) 0.2~0.3
纯水系统培训资料PPT课件
微生物膜：同胶体 。
RO 清洗水泵
5um 过滤器
RO
第45页/共58页
终端处理系统流程
流程仅为例举， 实际每个项目都有不同
RO 产水箱
供水泵
混床 或CDI
N2
纯水箱
用水点
纯水泵 UV
终端过 滤器
抛光床
第46页/共58页
混床
阴、阳离子交换树脂按一定比例 混合装填于同一交换柱内的离子 交换装置称为混合离子交换柱， 简称混床（MB）。
纯水系统的总流程
纯水系统分为四个子系统
预处理系统
反渗透系统
混床系统
终端处理系统
第1页/共58页
预处理系统流程
流程仅为例举， 实际每个项目都有不同
PAC加药系统
原水泵
多介质过滤器
活性炭过滤器
阳床
脱气塔 脱气塔水箱
罗茨风机
反洗泵
阳床再生系统
第2页/共58页
原水泵
作用：向预处理系统供水 控制方式：由出口管道压力 或者水箱液位控制
•原理：活性炭过滤器利用活性炭 的吸咐作用，去除水中的氧化性 物质（如游离氯）及部分有机物。 • 反洗：碳粉的泄漏和截留物的 积累，会使活性炭滤器的进出水 压差增加，需要定期反洗以去除 污物。 • 出水：余氯值＜0.1ppm
第15页/共58页
活性炭过滤的填料
《纯化水系统》PPT课件
精选课件ppt
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膜脱气装置
• 1、概述 • 膜脱气装置是利用脱气膜的扩散原理将水
中的气体去除的一种设备。膜脱气装置中 装有大量中空纤维，纤维壁上有微孔，水 分子不能穿过而气体分子可以穿过。 • 2、功能 • 去除水中二氧化碳和氧气
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19
EDI装置
• 1、概述
• EDI是一种将离子交换技术、离子交换膜技术和 离子电迁移技术相结合的纯水制造技术。它巧妙 的将电渗析和离子交换技术相结合，利用两端电 极高压使水中带电离子移动，并配合离子交换
料
• 当清洗消毒后，出水水质仍然不达标的情况下， 更换滤料
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12
软化器
• 1、概述 • 软化器是一种内装有阳离子交换树脂的过
滤器，用以去除水中的钙离子，镁离子， 以达到降低水的硬度、改善水质的目的。 • 2、功能 • 去除水中钙镁离子，软化水质
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13
• 3、操作规程和注意事项 • 软化器配制了盐箱，由电气系统自动控制
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5
• 4、操作规程
• 4.1、产水运行
• a、排气 • 开启过滤器的进水阀和排气阀，启动原水泵，使水进入到
过滤器内。当排气管道连续出水后排气完毕。 • b、正洗 • 排气完毕后，开启正洗排放阀，同时关闭排气阀，此时进
入正洗状态，等到水变清澈，正洗结束。 • c、产水 • 打开出水阀，关闭正排阀，正常产水。
纯水系统培训ppt课件.ppt
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1、纯水系统培训资料祥鹅帚尝帚媚腔讣维壶跃淫慷烟纂蝉庸吞遣琐磺溶共
铅婪铀器烫远梨盂碍纯水系统培训资料纯水系统培训资料纯水系统的总流程多
介质过滤器软化器活性炭过滤器反渗透〔一级、二级、EDI〕纯水支配系统寿每
沛特烂尚痰檀砷辩召贱殴屏消编刻踪斯尼沤贝坏吴某唱呛乏挥霞访兴纯水系统
培训资料纯水系统培训资料预处理系统流程原水箱多介质过滤器软化器活性炭
过滤器次氯酸钠PAC原水泵亚硫酸氢钠反洗再生反洗消毒泵板换蒸汽分散水禁捶恭哪好杠偏士民炎银超壶警碌冒米永囱滤虽汛闭冒姨侠欧瞧隐志堂预纯水系统
培训资料纯水系统培训资料原水箱作用：
2、1.沉淀2.缓冲姚迭估庚磕盈丑蹭敛弧涟筛滋芦飘涂徐浸姥沼鬼寨缴箭愿右初茹留足耀粮纯水系统培训资料纯水系统培训资料PAC加药装置水中的胶体是粒径较小的悬浮物质，外表带有的电荷使胶体之间形成静电斥力而不易聚集，难以自然沉降或过滤。胶体大多带有负电荷，在水中投加PAC这样的阳离子絮凝剂，通过电荷中和作用和大分子架桥网捕作用使胶体相互粘接成较大的悬浮物而被
过去除。手交浓荐规污雇灾段方捍滚杠蒲懦谁苦年常琉拯焕谍满着婆窄兹绞出年睛纯水系统培训资料纯水系统培训资料原水泵作用：向预处理系统供水把握方式：由出口管道压力和水箱液
3、位把握图片曹拐汁卯崩炯睁蔚囤怒杉犯甩螺钟蒋榷盒枉嘴陨矩镶娜笋王
苟灵窿吟孙废纯水系统培训资料纯水系统培训资料多介质过滤器构造：填料共分2层，上层为无烟煤，中层为细石英砂，下层为粗砂粒。作用：通过砂粒层之间的缝隙截留水中的胶体和微粒，另外通过参与3-5ppm的PAC，使水中的胶体颗粒和微粒形成较大的颗粒，提高过滤的效果。反洗：截留物的积累，会使多介质过滤器的进出水压差增加，出水水质会因污物穿透而下降，需要定期反洗以去除污物。反洗条件：当砂滤器的进口压力(PI360.1.1)减去出口压力(PI360.2.1)的差值
超纯水概述 PPT
系统的手动运行
系统在或者部分自动控制元件故障时可手动运 行， 手动运行操作如下： • 超纯水箱补水的手动操作： a.在操作盘上将自动补水阀打至“停止”位置； b.打开自动补水阀旁通管路上的手动蝶阀，根 据外供水量调整补水量，确保安全运行；
2018/6/9
系统的手动操作
a.超纯水泵的手动操作 b.将超纯水泵的操作旋钮打至“停止”位置； c.关闭超纯水泵的出口阀； d.将要启动的超纯水泵的操作旋钮打至“手 动”； e.按下要启动的超纯水泵的“启动”按键； f. 缓慢打开运行超纯水泵的出口阀，观察出水管 上的压力表，将水泵的出水压力控制在 0.42MPa。
206超纯水供水要求
• 供水流量：≥35m³/h • 供水压力：≥0.40MPa
2018/6/9
206超纯水简介
•超纯水箱及进水装置 水箱选用FPR材质，容积约32m³（有效容积 24m³），要求原水进水流量≥50m³/h，超纯水 箱主要起到缓冲与平衡作用。 超纯水箱进水管安装有自动进水阀及旁通管 路，安装有氮气减压阀及旁通管路，安装有氮气 排放去室外管道，安装有氮气水封装置。 在超纯水箱加装氮封装置利用氮气是惰性气 体的原理，防止二氧化碳、细菌等其它物质融入 水中影响水质，保证水箱内的水不受二次污染而 水质下降。
原水、产水水质标准
原水（10M纯水）水质： •电导率： ≤0.1μ s/cm（25℃） •二氧化硅：≤20μ g/L •PH： 6.6～7.4 •温度： ≥20℃ 产水水质（18M超纯水）水质： •电导率： ≤0.1μ s/cm（25℃） •二氧化硅：≤20μ g/L •温度： ≥25±2℃ •颗粒度： 大于0.5μ m的颗粒≤0.01个/mL • TOC： ≤100μ g/L 2018/6/9
超纯水系统的过滤柱与预处理(“设备”文档)共10张
二、超纯水设备基本维护更换过滤柱
1、将设备器调节为STANDBY”状态，卸下终端过滤器，打开取水开关，将系统卸压，待确认 设备器无水流出后，关闭取水开关。
2、向左轻扳设备器正面蓝色门的锁片(上下各一片)，打开蓝门，将“QUANTUM”柱 取出，再将设备器右侧白色“QGARD”柱上端盖子打开，取下金属锁片，即可取出 “QGARD”柱。
5所L以左要右生)，产在超确纯认3水系、一统定石中是确英要实选砂无择空过原气水滤的水前器质提比下较，好多的数地是方因。为终端过滤器已堵塞所至。 酒类制造及降度采用水用；石英砂滤料以除去原水中较大颗粒的悬浮物、泥沙、杂质等，降低水的 太超空纯水 水、设混纯备净，浊水简度、单蒸来。馏说而水就等是且制生还备产；超可纯水以的使设备水，中而超的纯有水又机被物我们质广、泛用细于菌生活、饮病用、毒化工等、随医疗着、浊养殖度、的种植降、低食品而、被饮料大等量行业。 在这里牵去扯到除一，个非并常为重要滤的后指数消就是毒“电创导造率”了。 良好条件。 希酒望类能 制对造大及家降了度4解用、这水个；活行性业炭提供过一滤定的器帮助。
3、将新的“QGARD”柱装到设备器上，注意设备器上的金属杆要对准柱子上的孔，向 左推紧后，将金属锁片锁在金属杆的卡槽内，扣上顶端盖子，再将新的“QUANTUM”柱装 入蓝门内，稍用力向里推紧，关闭蓝门，需听到两个锁片“嗒”的声音后，才能确认柱子已装
超纯水PPT课件
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5.1 超純水生産流程 -- V
Reverse Osmosis
逆滲透
CDI / EDI
持續去除離子器
TOC Reducer
TOC 清除器
去除可溶解之 固體 ( TDS )： 如 Na. K. Fe. HCO3. NO3. SO4. SiO2等
用離子交換法 進一步去除水 中微量的離子 ：如 Na. K. Fe. HCO3. NO3. SO4. SiO2 、 Silica、 TOC等
(Example from Taiwan Memory Storage manufacture)
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4. 水中主要的雜質有哪些？
• 水經由河川、湖泊等各處流過地表，或深處於地底下，因溶 解作用，而含許多雜質如礦物質、有機物、微生物、淤泥及 氣體等。一般水中的雜質可大約分類如下： • 懸浮固體(SS.)：如泥土、砂石及金屬氧化物等。 • 溶解氣體：氣體的溶解與週遭環境如氣壓、溫度、PH等有 一定的關係，一般水中都含有二氧化碳、氧氣、氮氣及其他 氣體。 • 可溶解之固體 ( TDS )：如Ca. Mg. Na. K. Fe. HCO3. NO3. SO4. SiO2等。 • 有機物 ( TOC ) ：所有含碳物質如油脂、污水、溶劑、 果糖、動植物屍體等。 • 微生物：如各種細菌、黴菌、藻類、熱原及病毒等。
Item Line Width (µ) Resistivity Mohm @ 25C TOC (ppb) Pacticles (no./ml) Bacteria (CFU/ml) Dissolved Oxygen (ppb) Silica (ppb) Boron (ppb) Sodium (ppb) Potassium (ppb) Zinc (ppb) Iron (ppb) Copper (ppb) Chloride (ppb) Bromide (ppb) Nitrate (ppb) Sulfate (ppb) Residue (ppb) 1 M DRAM 0.8 - 1.0 >18.0 <30 (0.1µ ) <10/ml <1/100 <100 <5 <2 <0.1 <0.1 <0.05 <0.05 <0.05 <0.1 <0.1 <0.1 <0.2 0.1 <0.1 <0.1 <0.05 <0.05 <0.05 0.1 0.05 0.05 0.05 0.05 4 M DRAM 0.4 - 0.6 >18.0 <10 (0.05µ ) <30/ml <5/1000 <50 <3 0.05 16 M DRAM 0.2 - 0.3 >18.1 <3 (0.03µ ) <10/ml <5/1000 <5 <1 0.05 0.05 0.05 0.02 0.02 0.005 0.02 0.02 0.02 0.05 0.05 >18.1 <1 (0.03µ) <5/ml <5/1000 <3 <0.5 0.05 0.01 0.02 0.02 0.02 0.005 0.02 0.02 0.02 0.05 0.05 64 M DRAM 0.1
纯化水系统设计介绍PPT课件
社会形象。
04
纯化水系统运行管理
水质监测与控制
定期检测水质
对纯化水的各项指标进行定期检 测，包括pH值、电导率、微生物
指标等，确保水质符合标准。
自动控制系统
采用自动控制系统，实时监测水质 参数，根据需要自动调整纯化水处 理设备的运行参数，保证水质稳定。
水质报警系统
建立水质报警系统，当水质指标超 出正常范围时，系统自动报警并提 示操作人员采取相应措施。
后处理
包括混床、EDI等设备，用于进一步提高 水的纯度和质量。
精处理
包括混合离子交换器、反渗透膜等设备， 用于深度去除水中的离子、有机物等杂质 ，达到纯化水的标准。
02
纯化水制备工艺流程
原水预处理
去除大颗粒杂质
去除重金属
通过过滤、沉淀等方法去除原水中的 大颗粒杂质，如泥沙、悬浮物等。
通过化学沉淀、离子交换等方法去除 原水中的重金属离子，如铅、汞等。
设备维护与保养
定期检查设备
01
对纯化水系统中的各个设备进行定期检查，包括过滤器、反渗
透膜、水泵等，确保设备运行正常。
预防性维护
02
制定设备维护保养计划，定期对设备进行清洗、更换滤芯等保
养工作，预防设备故障。
维修与更换
03
对于出现故障的设备，及时进行维修或更换，保证纯化水系统
04
纯化水系统运行管理
水质监测与控制
定期检测水质
对纯化水的各项指标进行定期检 测，包括pH值、电导率、微生物
指标等，确保水质符合标准。
自动控制系统
采用自动控制系统，实时监测水质 参数，根据需要自动调整纯化水处 理设备的运行参数，保证水质稳定。
水质报警系统
建立水质报警系统，当水质指标超 出正常范围时，系统自动报警并提 示操作人员采取相应措施。
后处理
包括混床、EDI等设备，用于进一步提高 水的纯度和质量。
精处理
包括混合离子交换器、反渗透膜等设备， 用于深度去除水中的离子、有机物等杂质 ，达到纯化水的标准。
02
纯化水制备工艺流程
原水预处理
去除大颗粒杂质
去除重金属
通过过滤、沉淀等方法去除原水中的 大颗粒杂质，如泥沙、悬浮物等。
通过化学沉淀、离子交换等方法去除 原水中的重金属离子，如铅、汞等。
设备维护与保养
定期检查设备
01
对纯化水系统中的各个设备进行定期检查，包括过滤器、反渗
透膜、水泵等，确保设备运行正常。
预防性维护
02
制定设备维护保养计划，定期对设备进行清洗、更换滤芯等保
养工作，预防设备故障。
维修与更换
03
对于出现故障的设备，及时进行维修或更换，保证纯化水系统
纯水纯净水超纯水的区别课件
超纯水的质量标准与检测方法
质量标准
超纯水是经过超滤、反渗透、离子交换等工艺处理的水，其水质应符合国家相关标准和规定的要求。超纯水中的 杂质和有害物质含量极低，几乎不含矿物质和微量元素，是一种高纯度的水。
检测方法
超纯水的检测主要包括理化指标和微生物指标的检测。理化指标包括浊度、pH值、溶解性总固体、电导率、氧 化还原电位、吸光度等；微生物指标包括细菌总数、总大肠菌群等。同时，还需要对超纯水中痕量有机物、痕量 重金属等进行检测和分析。
超纯水通常用于高精度仪器、电子工业、制药等领域，以满足对水质极高纯度要 求。
02 来源与制备方法
纯水的来源与制备方法
01
02
03
纯水的定义
纯水是指通过物理和化学 方法去除水中杂质和有害 物质，达到一定纯度要求 的水。
纯水的来源
纯水可以通过多种方式制 备，包括蒸馏、离子交换 、反渗透、电渗析等。
纯水的应用
纯水纯净水超纯水的 区别课件
目录
CONTENTS
• 定义与特性 • 来源与制备方法 • 应用领域 • 质量标准与检测方法 • 优缺点比较
01 定义与特性
纯水的定义
纯水是指通过物理或化学方法去除水 中的杂质、离子和微生物，达到一定 纯度要求的水。其纯度取决于所采用 的处理技术和方法。
纯水通常用于工业生产、实验室、医 疗等领域，以满足不同领域对水质的 要求。
超纯水的制备PPT精选文档
23.05.2020
14
影响反渗透膜性能的因素
1：回收率 2：温度 3：压力 4：压密 5：浓差极化
23.05.2020
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反渗透膜的材料
醋酸纤维素：又称乙酰纤维素或纤维素醋酸酯。常以含纤 维素的棉花、木材等为原料，经过酯化和水解反应制成醋 酸纤维素，再加工成反渗透膜。
聚酰胺：包括脂肪族聚酰胺和芳香族聚酰胺两大类。20世 纪70年代应用的主要是脂肪族聚酰胺，如尼龙—4、尼 龙—6和尼龙—66膜；目前使用最多的是芳香族聚酰胺膜。 膜材料为芳香族聚酰胺、芳香族聚酰胺—酰肼以及一些含 氮芳香聚合物。
例如：用反渗透处理海水，在膜的低压侧得到淡水，在高压侧 得到卤水。
RO反渗透膜是实现反渗透的核心元件，是一种模拟生物半透膜 制成的具有一定特性的人工半透膜。一般用高分子材料制成。 如醋酸纤维素膜、芳香族聚酰肼膜、芳香族聚酰胺膜。表面微 孔的直径一般在0.5～10nm之间，透过性的大小与膜本身的化 学结构有关。有的高分子材料对盐的排斥性好，而水的透过速 度并不好。有的高分子材料化学结构具有较多亲水基团，因而 水的透过速度相对较快。因此一种满意的反渗透膜应具有适当 的渗透量或脱盐率。
23.05.2020
8
原水预处理
原水——原水箱——原水泵—— ——石英砂过滤器
原水经过多介质过滤器的多层机械过滤，可以滤除掉原水中的泥砂、 铁锈、固体大颗粒物、胶体等杂物。
相关主题
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超纯水系统
1
國家奈米元件實驗室 半導體人才師資培訓班
整体概况
+ 概况1
您的内容打在这里，或者通过复制您的文本后。
概况2
+ 您的内容打在这里，或者通过复制您的文本后。
概况3
+ 您的内容打在这里，或者通过复制您的文本后。 2
國家奈米元件實驗室 半導體人才師資培訓班
超纯水系统
• 水质介绍及用途说明 • 纯水制造流程介绍 • 前处理介绍 • 一级处理单元介绍 • 精炼段介绍 • 配管注意事项 • 新技术介绍
0.2~1.2 0.2~1.0
• 总有机碳 TOC ″
1.1~2.5
• 污泥指数
6.0~6.7
• 温度
℃
15~27
6
國家奈米元件實驗室 半導體人才師資培訓班
原水水质介绍〈三〉
项目
单位
•Biblioteka Baidu溶解性固体 SS ppm
• 色度
铂钴单位
• 总菌落数
CFU/mL
原水 170 <5 --
法规 600 5 100
•总菌落数：被选择作为微生物(病原菌)的指标，如自
来水被检出有超过标准的总菌落数，即表示净水和供
水管理不够完善，必须立即加以改善以确保饮用者的
安全。
9
國家奈米元件實驗室 半導體人才師資培訓班
水质指标说明（三）
•色度：当水中含有色物质时，肉眼即可看出颜色，而 颜色的深浅即是色度，一般而言河川水常含有腐植物， 所造成的颜色多为黄褐色，这种颜色与铂钴溶液的色 系相同，故其单位以铂钴单位表示。
4
國家奈米元件實驗室 半導體人才師資培訓班
原水水质介绍〈一〉
项目
单位
• 酸碱度 pH
• 电导率 µs/cm
• 钙离子 Ca+ ppm as CaCO3 • 镁离子 Mg+ ″
• 钠离子 Na+ ″
• 钾离子 K+ ″
• 碳酸根离子CO3-2 ″ • 硫酸根离子SO4-2 ″ • 氯离子 Cl- ″
12
國家奈米元件實驗室 半導體人才師資培訓班
制造超纯水之目的1
A. For 晶片制造
1. 所有酸洗后之DI Rinse清洁用水。
H2SO4 + 50:1 HF + DI QDR + DI Final Rinse + Spin Dry
2. 所有有机溶剂清洗后之清洗
RS-3000 + IPA + DI QDR + DI Final Rinse + Spin Dry 3. 黄光显影后清洗 Developer + DI Rinse + Spin Dry 4. 机械研磨清洗用水 DI Rinse + Spin Dry
水质指标说明（四）
•氯盐：氯盐与人体健康并无密切关系，之所以会订定 标准主要是因为含有超过 250 毫克／公升的氯盐的水 喝起来有咸味，同时氯盐亦是一种污染指标，例如滨 海地区地下水的氯盐较高，即是受到海水侵入的影响。
•硫酸根：此项标准的订定系考量高于此浓度的水可能 会使饮用者腹泻。
•锰：含有高于此标准的水会产生黑色或黑褐色使得饮 用者会怀疑而不敢饮用，同时易将衣服染色影响美观。
7
國家奈米元件實驗室 半導體人才師資培訓班
水质指标说明（一）
•自由余氯：自来水多以氯气或次氯酸钠消毒，当氯气
溶于水中会变成次氯酸或次氯酸根离子，即俗称有效 余氯，因次氯酸具有极高的氧化能力，如自来水含有 效余氯，它在配水管中停留时可预防细菌(病原菌)的 滋生。
•pH值：饮用水水质标准之pH值的含量是 6.0 ～8.5 ，
事实上pH值与人体健康的关系并不密切，因此各国在 制订此一标准时多依照其水源的pH值来订定。
8
國家奈米元件實驗室 半導體人才師資培訓班
水质指标说明（二）
•硬度：白色漂浮物或锅垢是水中氢碳酸盐(俗称暂时硬 度)被加热变成碳酸钙固体。水中溶解的钙离子和镁离 子以碳酸钙表示即被称为硬度，水中硬度可分为暂时 硬度与永久硬度，暂时硬度是指以氢碳酸盐方式存在 者，当它被加热煮沸时会变成碳酸钙白色固体而从水 中析出，永久硬度则是以离子钙溶解于水中者，即使 被加热亦不会析出，一般地下水常含有氢碳酸钙，当 被煮沸时会变成碳酸钙（即俗称的锅垢）。
11
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水质指标说明（五）
• 导电率：可用来表示水之纯度，若值愈小，表示该水
体之纯度愈高，单位为microSimen/cm (μs/cm)。
•浊度：即水的外观的一种指标，当水中含有粘土、细 泥、有机和无机胶体、或浮游生物等会悬浮在水中的 物质时，它会将经过的光线折射或反射，当含量较多 时，水看起来就会污浊，它会保护细菌免受消毒的摧 毁，饮用水水质标准的浊度最大限值是 2 NTU 。
3
國家奈米元件實驗室 半導體人才師資培訓班
水质之定义
•其水性质质就是是一水定的的性。质但，水化是学很上好水的的溶分剂子，式故为我H2们O ， 日常所接触的天然水由其来历之不同，各含有 不同量之各种成分，因而影响其原有性质。
•水分子的2个 O-H键约呈105o角，加上氧的阴电 性较强，会将共享的价电子往自身方向拉，而 形成氧略带负电、氢略带正电的极性分子，使 其成为甚佳之溶剂。
项目
单位
原水
法规
• 总阳离子浓度 ppm as CaCO3 132~189
400
• 总阴离子浓度 ppm as CaCO3 132~189
• 锰离子
ppm
<0.02
0.05
• 铁离子
″
0.05~0.5
0.3
• 总硅量 SiO2 ″ • 溶解二氧化碳 ″
5.0~10.0 9.8~12.6
• 自由余氯 ″
• 硝酸根 NO3- ″
原水 法规(饮用水水质标准)
7.0~7.7 6.0~8.5
240~370
80~90
30~35 20~60 2.4~3.6 70~90 45~64
碳酸钙系统是 水质化学上, 最常用来表示 硬度之系统
250
16~33 250
<2.0
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原水水质介绍〈二〉
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制造超纯水之目的2
B. For 机台一般用水
1. Implanter / Etcher / CVD补充用水。 2. 厂务PCW调整水阻质用补充水 3. 厂务OAC设备Spray water补充水 4. QC实验室用水
•铁：铁的自来水标准之订定系考量水的美观及其它用 途，含有高于此标准铁含量的水在与空气接触后，铁 会被氧化使水变成黄褐色，饮用者会怀疑而不敢饮用， 同时易将衣服染色影响美观。
•锰：含有高于此标准的水会产生黑色或黑褐色使得饮 用者会怀疑而不敢饮用，同时易将衣服染色影响美观。
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整体概况
+ 概况1
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概况2
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概况3
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超纯水系统
• 水质介绍及用途说明 • 纯水制造流程介绍 • 前处理介绍 • 一级处理单元介绍 • 精炼段介绍 • 配管注意事项 • 新技术介绍
0.2~1.2 0.2~1.0
• 总有机碳 TOC ″
1.1~2.5
• 污泥指数
6.0~6.7
• 温度
℃
15~27
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原水水质介绍〈三〉
项目
单位
•Biblioteka Baidu溶解性固体 SS ppm
• 色度
铂钴单位
• 总菌落数
CFU/mL
原水 170 <5 --
法规 600 5 100
•总菌落数：被选择作为微生物(病原菌)的指标，如自
来水被检出有超过标准的总菌落数，即表示净水和供
水管理不够完善，必须立即加以改善以确保饮用者的
安全。
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水质指标说明（三）
•色度：当水中含有色物质时，肉眼即可看出颜色，而 颜色的深浅即是色度，一般而言河川水常含有腐植物， 所造成的颜色多为黄褐色，这种颜色与铂钴溶液的色 系相同，故其单位以铂钴单位表示。
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原水水质介绍〈一〉
项目
单位
• 酸碱度 pH
• 电导率 µs/cm
• 钙离子 Ca+ ppm as CaCO3 • 镁离子 Mg+ ″
• 钠离子 Na+ ″
• 钾离子 K+ ″
• 碳酸根离子CO3-2 ″ • 硫酸根离子SO4-2 ″ • 氯离子 Cl- ″
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制造超纯水之目的1
A. For 晶片制造
1. 所有酸洗后之DI Rinse清洁用水。
H2SO4 + 50:1 HF + DI QDR + DI Final Rinse + Spin Dry
2. 所有有机溶剂清洗后之清洗
RS-3000 + IPA + DI QDR + DI Final Rinse + Spin Dry 3. 黄光显影后清洗 Developer + DI Rinse + Spin Dry 4. 机械研磨清洗用水 DI Rinse + Spin Dry
水质指标说明（四）
•氯盐：氯盐与人体健康并无密切关系，之所以会订定 标准主要是因为含有超过 250 毫克／公升的氯盐的水 喝起来有咸味，同时氯盐亦是一种污染指标，例如滨 海地区地下水的氯盐较高，即是受到海水侵入的影响。
•硫酸根：此项标准的订定系考量高于此浓度的水可能 会使饮用者腹泻。
•锰：含有高于此标准的水会产生黑色或黑褐色使得饮 用者会怀疑而不敢饮用，同时易将衣服染色影响美观。
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水质指标说明（一）
•自由余氯：自来水多以氯气或次氯酸钠消毒，当氯气
溶于水中会变成次氯酸或次氯酸根离子，即俗称有效 余氯，因次氯酸具有极高的氧化能力，如自来水含有 效余氯，它在配水管中停留时可预防细菌(病原菌)的 滋生。
•pH值：饮用水水质标准之pH值的含量是 6.0 ～8.5 ，
事实上pH值与人体健康的关系并不密切，因此各国在 制订此一标准时多依照其水源的pH值来订定。
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水质指标说明（二）
•硬度：白色漂浮物或锅垢是水中氢碳酸盐(俗称暂时硬 度)被加热变成碳酸钙固体。水中溶解的钙离子和镁离 子以碳酸钙表示即被称为硬度，水中硬度可分为暂时 硬度与永久硬度，暂时硬度是指以氢碳酸盐方式存在 者，当它被加热煮沸时会变成碳酸钙白色固体而从水 中析出，永久硬度则是以离子钙溶解于水中者，即使 被加热亦不会析出，一般地下水常含有氢碳酸钙，当 被煮沸时会变成碳酸钙（即俗称的锅垢）。
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水质指标说明（五）
• 导电率：可用来表示水之纯度，若值愈小，表示该水
体之纯度愈高，单位为microSimen/cm (μs/cm)。
•浊度：即水的外观的一种指标，当水中含有粘土、细 泥、有机和无机胶体、或浮游生物等会悬浮在水中的 物质时，它会将经过的光线折射或反射，当含量较多 时，水看起来就会污浊，它会保护细菌免受消毒的摧 毁，饮用水水质标准的浊度最大限值是 2 NTU 。
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水质之定义
•其水性质质就是是一水定的的性。质但，水化是学很上好水的的溶分剂子，式故为我H2们O ， 日常所接触的天然水由其来历之不同，各含有 不同量之各种成分，因而影响其原有性质。
•水分子的2个 O-H键约呈105o角，加上氧的阴电 性较强，会将共享的价电子往自身方向拉，而 形成氧略带负电、氢略带正电的极性分子，使 其成为甚佳之溶剂。
项目
单位
原水
法规
• 总阳离子浓度 ppm as CaCO3 132~189
400
• 总阴离子浓度 ppm as CaCO3 132~189
• 锰离子
ppm
<0.02
0.05
• 铁离子
″
0.05~0.5
0.3
• 总硅量 SiO2 ″ • 溶解二氧化碳 ″
5.0~10.0 9.8~12.6
• 自由余氯 ″
• 硝酸根 NO3- ″
原水 法规(饮用水水质标准)
7.0~7.7 6.0~8.5
240~370
80~90
30~35 20~60 2.4~3.6 70~90 45~64
碳酸钙系统是 水质化学上, 最常用来表示 硬度之系统
250
16~33 250
<2.0
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原水水质介绍〈二〉
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制造超纯水之目的2
B. For 机台一般用水
1. Implanter / Etcher / CVD补充用水。 2. 厂务PCW调整水阻质用补充水 3. 厂务OAC设备Spray water补充水 4. QC实验室用水
•铁：铁的自来水标准之订定系考量水的美观及其它用 途，含有高于此标准铁含量的水在与空气接触后，铁 会被氧化使水变成黄褐色，饮用者会怀疑而不敢饮用， 同时易将衣服染色影响美观。
•锰：含有高于此标准的水会产生黑色或黑褐色使得饮 用者会怀疑而不敢饮用，同时易将衣服染色影响美观。
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