设备维修配件和保养费用清单
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############ 维修
合计： ￥
大写：
记录人： 王宏伟
日期: 月 2011年 8
件
数量 单位 价格 使用场所
厂家
更换日期
备注
百度文库
1 个 900元
1 个 90元
2 根 15元 2 个 120元 2 个 200元 1 个 40元 1 个 260元 3 个 600元 2 个 420元
扩散工段 广东昆德
2011年8月5日 维修购买更换
去磷硅玻璃 无锡奥曼特科技有限公
工段
司
2011年8月8日
维修
PECVD工段 高淳大市场
2011年8月1日 改造
PECVD工段 南京飞翔气动
2011年8月1日 改造
制绒工段 上海兴益
2011年8月8日 维修
PECVD工段 南京正泰电器
############ 维修
外围
外修
############ 维修
刻蚀工段 外修
############ 维修
扩散工段 外修
设备日常维修配件费用记录
序 号
名称
型号 规格
1 方阻测试仪探针头 KDY-1型
2 交流接触器
3 皮带（真空泵) 4 单向阀 5 轴流风机 6 交流接触器 7 水泵电机 8 刻蚀电机 9 酸碱排风电机 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22
总计
CJX2-32 A762 KJ-20 200ZY2-D CJ20-10 3.7KW 2.2KW 2.2KW