光伏行业超纯水设备项目设计说明
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光伏行业超纯水设备项目设计说明
2020年7月29日
进水水质:市政自来水/地下水
产水水质:国标/美标电子级超纯水
氮气要求:99.9999%
所需电源:稳定电源380V 50HZ
占地面积:根据产水量设计
公共条件:氮气要求:99.9999%进水管道清洁无污染进水压力0.3-0.4MPA持续稳定电源AC380V/AC220V地面设置排水设施设备间温度需10℃-30℃
项目设计说明:
本系统配置设计根据客户提供水源水质设计,水质如下:
超纯水系统产水2×15吨(水量可根据用户需求定制),产水达到美标E1.2的标准;
系统采用全自动智能控制程序,自动运行、停止、清洗、再生、报警、启动等一系列操作,系统运行可以实现全程无人值守运行。
工艺流程:
设备详细介绍
预处理系统
原水箱、原水泵、石英砂过滤器、活性炭过滤器、阻垢剂系统
反渗透除盐系统
保安过滤器、RO高压泵、反渗透
EDI系统
EDI的作用就是通过除去电解质(包括弱电解质)的过程,将水的电阻率从0.05~1.0MΩ.cm提高到5~16MΩ.cm。
抛光混床
抛光混床是超纯水在接触到半导体芯片前的最后一道化学精制的处理程序,选用品质好的核子级树脂,绝不能释出任何物质,进而污染到不能间断的超纯水供水系统。
脱气系统
是控制液体脱气、供气的中空纤维膜组件。具有致密表皮层的中空纤维不透过液体,只透过气体,适合用于液体的脱气、供气。
TOC系统
采用UV-180nm单波长紫外技术,并通过高剂量的UV-185紫外光催化,在水中产生。OH翔基自由基,对水中的有机物进行氧化降解,以达到降低水中TOC的含量。
设计优势
高性能高质量:完善工艺质量控制贯彻到每个功能单元,使产品水达到优于用水标准。
系统运行稳定:通过膜分离软件进行设计,设计参数准确,尽量降低工程投资和运行费用。
环保高效节能:设备选型做到合理、可靠、先进,布局力求紧凑、合理、简洁、美观。