氦质谱检漏原理
合集下载
相关主题
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
时间内流过漏泄ห้องสมุดไป่ตู้的给定温度的干燥气体量
）
1、 喷吹法-确定漏孔位置 2、 吸入法——确定漏孔位置 3、 钟罩法——测总漏率 4、 背压法——测总漏率
1.漏点型（定性）：确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置—喷氦法（抽真空 喷氮 检测）--注意方向 2.漏率型（定量）：不确定检测器件的漏点或漏孔的位置和数量，只是计算漏率（在已知漏泄处两侧压差的情况下，单位
）
1、 喷吹法-确定漏孔位置 2、 吸入法——确定漏孔位置 3、 钟罩法——测总漏率 4、 背压法——测总漏率
1.漏点型（定性）：确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置—喷氦法（抽真空 喷氮 检测）--注意方向 2.漏率型（定量）：不确定检测器件的漏点或漏孔的位置和数量，只是计算漏率（在已知漏泄处两侧压差的情况下，单位