常用的几种氦质谱检漏方法(1)

氦检漏原理和检漏方法介绍

氦检漏是一种常用的检测技术，用于发现和定位工业系统或设备中的气体泄漏。

以下是氦检漏的原理和常用方法的介绍：
检漏原理：
原理基础：氦是一种惰性气体，无色无味，非常稳定。

因此，当氦气从泄漏点逸出时，它能够快速扩散和传播，使得泄漏点周围的浓度升高。

检测方法：通过将氦气注入被检测系统或设备，并使用氦气检测仪器来检测泄漏点周围的氦气浓度变化，从而确定泄漏的位置和严重程度。

检漏方法：
泡沫方法：在潜在泄漏点周围涂抹或喷洒含有氦气的泡沫剂。

泡沫剂会通过泄漏点进入系统，并在泄漏点附近形成明显的气泡，以便于检测和定位。

真空腔方法：将被检测系统或设备置于真空腔中，并将氦气注入腔体。

当系统或设备有泄漏时，氦气会进入腔体并被检测仪器探测到，从而确定泄漏位置。

静态方法：将被检测系统或设备与氦气检测仪器连接，以测量系统或设备中氦气浓度的变化。

当测量到氦气浓度增加时，可以确定存在泄漏。

检漏仪器：
氦检漏仪：使用特定的氦气传感器或探测器，可以测量和定位氦气泄漏点的位置。

这些仪器通常具有高灵敏度和精确的测量能力。

气体分析仪：用于测量和分析氦气浓度变化，以检测和定位泄漏点。

这些仪器通常具有数据记录功能和报警系统，以便于记录和处理检测结果。

氦检漏方法在工业和制造领域广泛应用，特别适用于对密封性要求高的设备、管道、阀门和容器等进行泄漏检测。

它具有高灵敏度、准确性和快速性的优点，能够发现微小的泄漏，并在维修和安全管理中发挥重要作用。

氦质谱检漏方法

氦质谱检漏方法
[1]氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干
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扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中最常用的两种方法。

氦检漏卤素检漏

一、氦检漏TSG R0004-2009 《固定式压力容器安全技术监察规程》规定，对于介质毒性程度为极度、高度危害或者设计上不允许有微量泄漏的压力容器，应当进行泄漏试验。

因此，泄漏检测已经成为该类压力容器普遍使用的无损检测方法之一。

氦质谱泄漏检测技术具有检漏灵敏度高、可靠性好、对漏孔既能定位又能定量等优点，从而在压力容器泄漏检测中得到了广泛的应用。

氦质谱检漏按照检测过程中氦气的流向，可分为正压检漏（氦气流出被检容器）和真空检漏（氦气流进被检容器）两种情况。

１.正压检漏氦质谱正压检漏通过在被检容器中充入一定压力的空气和氦气的混合气体，然后在容器压力较低的外侧采用一定的方式检测泄漏的氦气，从而达到对容器局部或整体、定位或定量的检漏目的。

常见的氦质谱正压检漏方法主要有吸枪直测法和氦罩积累法。

（1）吸枪直测法吸枪直测法是指用吸枪在大气中从压力容器被检部位直接获得示漏氦气，从而对压力容器进行检漏的一种氦泄漏检测方法。

吸枪直测法检漏示意图见下图。

１．氦质谱检漏仪２．吸枪３．被检容器４．氦气瓶该法为一种定性、定位检测技术，用以探测泄漏并确定其位置，检测灵敏度可达10－7Pa·m３/s。

扫查距离、速度以及不同操作人员对吸枪直测法的检测灵敏度均有一定程度的影响。

吸枪直测法一般用于容器焊缝、密封面等部位的泄漏检测，也可用于整体检漏后漏孔的定位。

（2）氦罩积累法如果被检容器的泄漏率很小，用吸枪直测法难以检测到泄漏时，则需采用氦罩积累法进行检漏。

相对于吸枪直测法的定性检测而言，氦罩积累法通过一定的积累时间，可以实现被检容器的定量微漏检测。

氦罩积累法可以对被检容器的局部或整体进行泄漏检测。

如果容器较小，用氦罩将其整个罩住，就可以对容器整体泄漏情况进行检测。

但对于焊缝、密封面较多的容器，则无法同时实现漏孔的定位。

若容器较大而且结构复杂，则需用多个小氦罩将被检部位罩住，这样既可以实现容器整体泄漏情况的检测，还可以对具体的泄漏位置以及泄漏率进行判定。

氦质谱检漏仪使用说明(1)

氦质谱检漏仪使用说明一、检漏仪及其真空系统的组成VARIAN959-50检漏仪检漏漏率范围从1X10-3（毫升/秒）到2X10-10（毫升/秒）（相当于30年漏1毫升），它主要由质谱管、高真空泵、热偶规管、一系列按钮控制的阀、测试接口、真空和漏率指示，以及电路板等部分组成，其真空系统结构为（分子泵型），如图1：图1 检漏仪真空系统结构图（分子泵型）检漏仪开启后，V1、V2、V6阀打开，测试口与质谱管保持真空连接。

如果按下“VENT”键，放气阀V3打开，V1关闭，测试口处于大气状态，同时V2打开，使分子泵、质谱管和机械泵连通。

分子泵运行时，质谱管真空度要达到2X10-4TORR以上，才能给离子源灯丝加热。

二、检漏仪工作原理图2 检漏仪工作原理图如果被检系统有微小漏孔，在小孔周围喷氦气时，总有部分氦原子会通过漏孔进入检漏仪接口，通过其真空系统扩散到质谱管。

质谱管是检漏仪核心组成部分，参见上图2，在电场和磁场作用下，灯丝发射电子使气体电离，电离后带正电的离子通过聚焦和孔集中后，进入分析磁场（磁场强度为2340高斯），由于受洛仑磁力作用，离子会发生偏转，其它外界条件相同的情况下，偏转半径由带电粒子电量与质量之比即荷质比决定，荷质比小的离子偏转半径小，荷质比大的粒子偏转半径大，只有氦离子才能通过抑制小孔到达收集极，信号经放大后，检漏仪报警。

三、控制和指示器功能说明：序号控制、指示器功能四、开机操作步骤（对分子泵检漏仪）1) 将待检设备和检漏仪接口接好确保不漏；2) 开前级机械泵电源；3) 打开右边小门，合上主电源开关，所有指示灯暂亮起，等到“TRURBO READY”指示灯亮；4) “HIVACK OK”指示灯亮后，将“FIL”开关打到ON，灯丝指示灯亮，必要时多次重复这一步骤直到灯丝指示稳定；5) 按下START键；6) 当测试口压力降到绿色指示段（100 millitorr）时，TEST指示灯亮，三分钟后，如果测试口真空度降到绿色指示段，HOLO指示灯亮，压力降到100milltor以下后，HOLO指示灯灭，（如果真空度达不到要求，HOLD指示将在三分钟内发亮）；7) 检漏仪会自动上一步，直到测试口压力降到100毫以下；8) 被检系统喷氧检漏；五、关机步骤1) 按下VENT键；2) 关掉检漏仪主电源；3) 关机械泵主电源；以上操作使分子泵隔离大气，质谱管保持真空状态六、检漏仪调零和校准在检漏之前，检漏议质谱应调到对氦反应灵敏，这需要用到标准漏孔。

氦质谱正压检漏方法

氦质谱正压检漏方法嘿，咱今儿就来唠唠氦质谱正压检漏方法！这可是个相当重要的玩意儿呢！你想想看啊，要是有个什么容器或者设备，它不能漏气吧，一旦漏气那可就麻烦大啦！就好比咱家里的水管要是漏了，那水不得哗啦啦到处流啊。

这氦质谱正压检漏方法呢，就像是个超级厉害的侦探，能把那些小小的漏气点给揪出来。

它的原理其实也不难理解。

就是用氦气呀，这氦气就像个小精灵，在里面到处跑。

然后通过专门的仪器，也就是氦质谱仪来检测氦气的踪迹。

要是哪里有氦气跑出来了，那就说明那里有漏洞啦！是不是挺神奇的呀？具体操作起来呢，首先得准备好氦气和氦质谱仪。

然后把氦气充到要检测的东西里面，让它在里面好好地溜达溜达。

这时候，氦质谱仪就开始工作啦，它就像个警惕的小卫士，时刻盯着氦气的动静呢。

这过程中可得仔细咯，不能有一丝马虎。

就好像你在找你丢的钥匙一样，得认真地找遍每一个角落。

如果不认真，那可就找不到漏洞啦，到时候出了问题可就糟糕啦！而且啊，这氦质谱正压检漏方法的精度那可是相当高的呀！它能检测到极其微小的漏气点，比你用眼睛看可厉害多啦！你说要是光靠咱肉眼，那得费多大劲才能找到那些小漏洞呀。

咱再打个比方，这氦质谱正压检漏方法就像是医生给病人做检查一样，要仔仔细细地把每一个地方都检查到，不能放过任何一个小毛病。

只有这样，才能确保设备或者容器的安全可靠呀。

在很多行业里，氦质谱正压检漏方法都发挥着重要的作用呢！比如航天航空领域，那可都是高科技的东西，一点点漏气都可能引发大问题，所以这个方法就显得尤为重要啦。

还有一些精密仪器的制造，也离不开它呢。

你说这氦质谱正压检漏方法是不是很牛呀？它能让我们的生活变得更加安全可靠，让那些可能出现的危险都被扼杀在摇篮里。

所以呀，咱可得好好了解了解它，说不定啥时候咱自己也能用得上呢！反正我觉得这东西真的很棒，你们觉得呢？。

氦质谱检漏仪检测泄漏的6种方法

氦质谱检漏仪检测泄漏的6种⽅法原⽂出⾃：/index.aspx?lanmuid=101&sublanmuid=711&id=1866氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）是真空检漏领域⾥不可缺少的⼀种技术，设备具有检漏效率⾼、简便易操作、仪器反应灵敏、精度⾼、不易受其他⽓体的⼲扰等特点，该仪器在电阻炉检漏中得到了⼴泛应⽤。

氦质谱检漏仪检漏中最常⽤的两种⽅法是喷枪测试法及吸枪测试法，其实除了这两种⽅法之外，氦质谱检漏仪的检漏⽅法多达6种，且每种测试也各有⾃⼰的优点，今天⼩编就跟⼤家普及⼀下。

氦质谱检漏仪检测泄漏⽅法⼀：喷枪测试法喷枪测试法主要⽤在真空环境下定位泄漏点。

⾸先，检漏仪将检测部件内部的⽓体抽到⼀定的真空度。

然后，探测⽓体通过喷枪喷扫在部件的外表⾯。

通过泄露点进⼊的探测⽓体流量定位泄漏点。

喷枪测试法具有定位泄漏、⾼灵敏度、操作简便、局部或整体测试等特点。

氦质谱检漏仪检测泄漏⽅法⼆：吸枪测试法吸枪测试法是通过正压的⽅法定位泄漏点。

⾸先，向测试部件内充⼊⼀定压⼒的探测⽓体。

然后，吸枪探头对被测部件四周进⾏检测。

如果存在泄漏，检漏仪会探测出外泄的探测⽓体从⽽定位泄漏点。

吸枪测试法具有定位泄漏、⽆需在真空环境下进⾏测试、操作简便等特点。

氦质谱检漏仪检测泄漏⽅法三：真空箱测试法真空箱测试法主要应⽤于⽣产线环境。

测试部件被放置在充满探测⽓体的真空腔体内。

如果发现有泄漏，探测⽓体会从测试部件内逃到真空腔体内，从⽽检测出泄漏点。

真空箱测试法具有⾼灵敏度、⾼产量、便于集成到产线上、易于校准、⾼重复性等特点。

氦质谱检漏仪检测泄漏⽅法四：背压法背压法要求测试部件是已经密封好的，没有⽓体外泄也不能加压。

将测试部件置于真空腔体内，灌⼊探测⽓体并加压。

如果发现有泄漏，由于⽓压关系探测⽓体会进⼊到测试部件内部。

随后将被测部件脱离真空环境。

由于压差关系，原先进⼊到测试部件内的探测⽓体会脱附出来，同时被检漏仪检测出。

氦质谱检漏仪的检漏方法

氦质谱检漏仪的检漏方法氦质谱检漏仪的检漏方法氦质谱检漏仪是一种高精度的检漏设备，可以检测出微小的漏孔和缺陷。

下面是氦质谱检漏仪的几种常见检漏方法：1.吸枪法吸枪法是一种常用的检漏方法，它通过将吸枪放置在待检测部位，利用氦气在漏孔处产生的气流吸引，将漏气吸入质谱室进行分析。

吸枪法的优点是操作简单、灵敏度高，适用于检测表面上的小漏孔。

但是，对于一些深孔或内部缺陷，吸枪法可能无法检测到。

2.喷吹法喷吹法是通过将氦气或氮气等气体以一定的压力和流量喷向待检测部位，从而发现漏孔的方法。

喷吹法的优点是可以检测到深孔或内部缺陷，并且对于一些小漏孔也有较好的检测效果。

但是，喷吹法的灵敏度相对较低，需要较高的气体压力和流量，可能会对被检测部件造成一定损伤。

3.真空法真空法是通过将被检测部件放置在真空环境中，然后向其内部充入一定量的氦气或氮气等气体，再通过检测部件内部气体压力的变化来判断是否存在漏孔的方法。

真空法的优点是可以检测到微小的漏孔，并且不会对被检测部件造成损伤。

但是，真空法的操作比较复杂，需要较高的技术水平和设备投入。

4.压力法压力法是通过将被检测部件放置在一定压力的氦气或氮气等气体环境中，然后通过观察部件表面是否有气体泄漏来判断是否存在漏孔的方法。

压力法的优点是可以检测到较大的漏孔，并且操作简单、灵敏度高。

但是，压力法可能会对被检测部件造成一定损伤，需要小心操作。

5.粘滞液体法粘滞液体法是通过将粘滞液体（如硅油）涂抹在被检测部件表面，然后在一定压力的氦气或氮气等气体环境中观察是否有气泡产生来判断是否存在漏孔的方法。

粘滞液体法的优点是可以检测到微小的漏孔，并且不会对被检测部件造成损伤。

但是，粘滞液体法的操作比较复杂，需要小心操作避免产生假阳性结果。

压力容器氦质谱检漏法介绍

被检件漏孔检漏方法介绍压力容器氦质谱检漏法介绍一、概述检漏的目的是确定被检件漏孔的位置和漏率，这些目的是通过采用一些标准的检漏方法实现的。

采用什么方法要视被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。

根据不同的检漏目的，基本上有吸入法、喷吹法、背压法、真空箱法等几种常用检漏方法：1、吸入法——确定漏孔位置又称吸枪检漏，如图1-5，将专用吸枪联接在仪器检漏口上，被检件则充入规定压力的氦气（纯氦气或一定比例含氦的混合气）。

检漏时，让吸枪沿可疑漏孔处慢慢移动，若被检件有漏孔，氦气自漏孔漏出，被吸枪吸入送至仪器的质谱管而被检测。

吸入法检漏灵敏度相对喷吹法要低，但是其检漏口真空主要是由吸枪流量决定的，所以不受被检件容积的限制，适合检测大的容器。

2、喷吹法——确定漏孔位置该方法是将被检件接在检漏仪的检漏口，用仪器的真空系统对其抽真空并达到真空衔接与质谱管沟通，然后用喷枪向可疑漏孔喷吹氦气。

当有漏孔存在时，氦气就通过漏孔进入质谱管被检测。

下图是喷吹法原理示意图。

喷吹法检漏的灵敏度高，质谱管不吸枪检漏仪装有氦气的压力容器装有氦气的压力容器喷枪被检件漏孔检漏仪易受污染，但是检大容器时可能有真空抽不下来的情况，可能要加辅助真空设备。

3、背压法——测总漏率电子元器件进行气密性检测时常用背压法。

检漏前用专用加压容器向被检件压入氦气（由压力和时间控制压入的量），然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入专用检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。

若器件有漏，则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐，最终到达质谱管。

用这种方法测得的漏率也是总漏率。

图1－7为背压法检漏示意图。

4、真空箱法真空箱法是一种比较复杂的方法。

检漏时先将工件如上图放入真空箱中，关闭V1、V2，打开V3使用真空箱预抽系统对真空箱抽真空，如果可以在规定时间内抽到规定的真空度，说明被检工件没有大漏，反之有大漏则需要将工件拿下来检大漏。

氦质谱检漏仪原理及使用方法及相关介绍精编版

氦质谱检漏仪原理及使用方法及相关介绍精编版一、氦质谱检漏仪的原理1.首先，将待检测的物体使用泵抽真空，将环境中的空气抽去，使之达到一个低压下。

2.然后，将氦气注入被检测物体的周围环境中，此时被检测物体内部存在可能的泄漏点。

3.接下来，利用泵将周围的氦气抽入质谱仪进行分析。

在质谱仪中，氦气会分子破裂形成氦原子以及其他质子和电子组成的离子。

4.最后，利用质谱仪的探测器检测这些离子，并根据离子的种类和数量来确定氦气泄漏的位置和程度。

二、氦质谱检漏仪的使用方法使用氦质谱检漏仪来检测气体泄漏需要以下步骤。

1.连接仪器：首先，将氦质谱检漏仪的各个部分按照说明书连接好，确保仪器正常工作。

2.准备工作：确保被检测物体周围环境处于一定的真空状态，注入氦气之前，将其它气体从被检测物体周围排除出去。

3.注入氦气：将氦气注入被检测物体周围环境中，确保氦气在泄漏点出漏时能进入到被检测物体内部。

4.开始检测：通过操作仪器，将泵启动，将周围环境中的氦气抽入质谱仪中进行分析。

5.分析结果：根据质谱仪输出的数据和显示的曲线，来确定氦气泄漏的位置和程度。

6.维护和记录：检测完成后，对仪器进行维护和清洁，同时将检测过程和结果进行记录。

三、氦质谱检漏仪的应用1.工业领域：氦质谱检漏仪可以用于汽车、空调、制冷设备、容器、管道等工业设备的泄漏检测。

它可以检测到微小的泄漏，避免了潜在的安全隐患。

2.实验室应用：氦质谱检漏仪可以用于实验室的真空系统、气体贮存、气体分析等设备的泄漏检测。

它可以保证实验室设备和实验工作的准确性和安全性。

3.能源设备：氦质谱检漏仪可用于能源设备的泄漏检测，如太阳能光伏系统、风力发电机、核电站等。

它可以提高设备的使用寿命和能源利用效率。

综上所述，氦质谱检漏仪是一种非常有效的气体泄漏检测仪器，具有高灵敏度和准确性。

它的工作原理简单明了，使用方法也相对简单。

在工业和实验室中的广泛应用，保证了设备的安全和工作的正常进行。

氦漏的检测方法

氦漏的检测方法以氦漏的检测方法为标题，本文将介绍几种常见的氦漏检测方法，包括负压法、正压法和浸泡法。

一、负压法负压法是氦漏检测中最常用的方法之一。

该方法利用氦气的渗透性和低密度特性，在被测物体内部建立负压环境，通过检测氦气的泄漏来判断被测物体的漏气情况。

具体操作步骤如下：1. 将被测物体与氦气检测仪器连接，确保连接口密封良好。

2. 在被测物体内部建立负压环境，可以使用真空泵或者负压罐进行抽气，直至被测物体内部的气压降低到一定程度。

3. 将氦气注入被测物体外部的密封空间，通过负压环境，氦气会渗透到被测物体内部。

4. 使用氦气检测仪器检测被测物体内部的氦气浓度，如果检测到氦气浓度升高，则说明被测物体存在漏气现象。

二、正压法正压法也是一种常用的氦漏检测方法，该方法通过在被测物体外部施加正压，利用氦气的渗透性和低密度特性，检测被测物体的漏气情况。

具体操作步骤如下：1. 将被测物体与氦气检测仪器连接，确保连接口密封良好。

2. 在被测物体外部施加一定的正压，可以使用气源或者气缸进行充气。

3. 将氦气注入被测物体内部，通过正压作用，氦气会渗透到被测物体外部。

4. 使用氦气检测仪器检测被测物体外部的氦气浓度，如果检测到氦气浓度升高，则说明被测物体存在漏气现象。

三、浸泡法浸泡法是一种适用于容器或管道等密闭系统的氦漏检测方法。

该方法通过将被测物体浸泡在氦气中，利用氦气的渗透性和低密度特性，检测被测物体的漏气情况。

具体操作步骤如下：1. 准备一个密闭的容器，容器内部充满氦气。

2. 将被测物体完全浸泡在氦气中，确保被测物体表面与氦气充分接触。

3. 使用氦气检测仪器检测容器内部的氦气浓度，如果检测到氦气浓度升高，则说明被测物体存在漏气现象。

以上介绍的三种氦漏检测方法各有特点，可以根据具体的应用场景选择合适的方法进行检测。

其中负压法和正压法适用于较大的设备或系统的漏气检测，浸泡法适用于较小的容器或管道的漏气检测。

在实际应用中，还可以结合不同方法进行综合检测，提高检测的准确性和可靠性。

常见的四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测标准

常见的四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测标准氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。

当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。

在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对氦泄漏量。

根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同，可以将氦质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法，下面分别总结了这四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。

真空法氦质谱检漏采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。

按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。

其中真空喷吹法采用喷枪的方式向被检产品外表面喷吹氦气，可以实现漏孔的精确定位; 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的氦气，可以实现被检产品总漏率的测量。

真空法的优点是检测灵敏度高，可以精确定位，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。

真空法的缺点是只能实现一个大气压差的漏率检测，不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态。

真空法的检测标准主要有QJ3123-2000《氦质谱真空检漏方法》、GB /T15823-2009《氦泄漏检验》，主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。

正压法氦质谱检漏采用正压法检漏时，需对被检产品内部密封室充入高于一个大气压力的氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通孔漏孔进入被检外表面的周围大气环境中，再采用吸枪的方式检测被检产品周围大气环境中的氦气浓度增量，从而实现被检产品泄漏测量。

氦气用于高纯气体管道检漏

氦气用于高纯气体管道检漏
1、高纯大宗气体管道氦检漏常用方法采用内向检漏法、阀座检漏法、外向检漏法。

2、内向检漏法（喷氦法）应采用在高纯气体管道内部抽真空，外部喷氦气的方法进行检漏。

3、阀座检漏法应采用阀门上游充氦气，下游抽真空的方法检漏。

4、外向检漏法（吸枪法）应采用在高纯气体管道内部充氦气或氦氮混合气，外部用吸枪检查可能泄漏点的方法检漏。

5、氦检漏仪表应采用质谱型氦检测仪，其检测精度不得低于1
6、高纯气体氦检漏的泄漏率应符合下列要求：
6.1、内向检漏法测定的泄漏率不得大于1*10-9mbar.l/s；
6.2、阀座检漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar.l/s；
6.3、外向检漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar.l/s
7、氦检漏发现的泄漏点经修补后，应重新进行气密性试验并合格，然后应按规定再时行氦检漏。

8、所有可能泄漏的点应用塑料袋隔离。

9、系统测试完毕，应充入高纯氮气或氩气，并应进行吹扫。

10、测试完毕后，应提交测试报告。

氦质谱检漏仪的检漏方法

主要的优点总漏率检测，可靠相对而言成本较低
He
被测件
He
ASM 142
总漏率检测：背压式检漏
第一步 : 将被测件放置于一个充氦
的腔内
第二步 : 将被测件放于通风处（去 1
除表面累积的氦，以防影响之后的检
He
测精度
第三步 : 将被测件放置于一个与吸
枪探头相连的腔内
主要的优点
2
总漏率检测
(2)以1atm的纯氦作为示漏气体
(3)动态检漏时所能检出的最小漏孔的漏率 (指:检漏时不用累积法;仪器本身的真空系统仍在抽气;仪器反应时间小于1秒).
*
低灵敏度
氦检漏仪的灵敏度
一个容积为 1 升的自行车轮胎如果在24小时内气就漏光的话漏率为 3,5.10-2 mbar.l/s = 每秒有3 个半径 2 mm 的气泡
ks 10-7
aks
10-3
« big » leaks
气泡法检漏
压降法检漏
氦质谱检漏仪检漏
将被测件抽真空用喷枪对被测件表面喷氦检测进入被测件的氦流量
主要的优点非常高的灵敏度比较便宜
逐步区域检漏：喷氦式检漏
He
He
被测件
ASM 142
逐步区域检漏：吸枪式检漏
对被测件内部进行充氦用吸枪在被测件表面缓慢移动，采样逃逸的氦气
优点 :
• 到达可以检漏的压力所需时间 (+ +) • 灵敏度 (+) • 响应时间 (+ +) • 恢复时间 (++)
优点 :
• 到达可以检漏的压力所需时间 (+ +) • 灵敏度 (+) • 响应时间 (+ +) • 恢复时间 (++)

氦质谱检漏试验方法研究

氦质谱检漏试验方法研究作者：杨维来源：《科学与财富》2016年第18期摘要：一般而言，电子元器件失效的最直接最主要的原因，就在于密封腔体内部的水汽，这也是氦质谱检漏的关键点所在，做好氦质谱检漏，既有利于延长电子元器件的寿命，也有利于我国军事和经济的发展。

本文就针对氦质谱检漏，从常用的氦质谱检漏试验方法、美军标MILSTD-883氦质谱检漏试验方法、积累氦质谱试验方法和以氦气交换时间常数为基础的氦质谱检漏思路四个方面加以论述，以供参考。

关键词：氦质谱；检漏试验；研究方法0 引言在生产生活中，我们往往通过密封元器件的方式，来避免事先充入的保护气体外漏，同时防止外部的有害气体漏入。

但是，想要无限期的防止外界有害气体漏入是难以实现的，因为平常我们所使用的气密封装材料包括玻璃、陶瓷或者金属，只能通过冲入氮气的方式来避免出现污染现象。

由此可见，密封对电子元器件的重要性不言而喻，本文就着重叙述分析了以下四种氦质谱检漏试验方法。

1 目前常用的氦质谱检漏试验方法一般而言，常用的氦质谱检漏实验方法，包括氦质谱细检漏、光干涉法粗检漏或细检漏、增重粗检漏、染料浸透粗检漏、放射性同位素粗检漏或细检漏、积累氦质谱粗检漏或细检漏以及碳氟化合物粗检漏等七种试验方法。

所谓粗检漏和细检漏，是根据等效标准漏率来区分的，一般小于该标准的，就是细检漏，大于该标准的，就是粗检漏。

细检漏的试验方法中，放射性同位素细检漏理论上缺乏严谨性，而且存在辐射，一般国内很少应用；光干涉法细检漏主要应用在陶瓷或易变性金属上盖的封装，因为其不受吸附漏率的影响，所以检测效率非常高，基本可以达到先进单级氦质谱检漏仪的效果，所以应用比较广泛；普通氦质谱检测仪细检漏虽然检测效率高，且没有损害，但是会受到被检元件表面氦气的影响而存在缺陷；高灵敏积累氦质谱检漏仪则受制于设备条件和检漏原理等问题，检测效率相对较低。

粗检漏的试验方法中，碳氟化合物气泡法粗检漏，是可以和普通氦质谱细检漏实现无缝衔接的。

氦检漏卤素检漏学习资料

一、氦检漏TSG R0004-2009 《固定式压力容器安全技术监察规程》规定，对于介质毒性程度为极度、高度危害或者设计上不允许有微量泄漏的压力容器，应当进行泄漏试验。

因此，泄漏检测已经成为该类压力容器普遍使用的无损检测方法之一。

氦质谱泄漏检测技术具有检漏灵敏度高、可靠性好、对漏孔既能定位又能定量等优点，从而在压力容器泄漏检测中得到了广泛的应用。

氦质谱检漏按照检测过程中氦气的流向，可分为正压检漏（氦气流出被检容器）和真空检漏（氦气流进被检容器）两种情况。

１.正压检漏氦质谱正压检漏通过在被检容器中充入一定压力的空气和氦气的混合气体，然后在容器压力较低的外侧采用一定的方式检测泄漏的氦气，从而达到对容器局部或整体、定位或定量的检漏目的。

常见的氦质谱正压检漏方法主要有吸枪直测法和氦罩积累法。

（1）吸枪直测法吸枪直测法是指用吸枪在大气中从压力容器被检部位直接获得示漏氦气，从而对压力容器进行检漏的一种氦泄漏检测方法。

吸枪直测法检漏示意图见下图。

１．氦质谱检漏仪２．吸枪３．被检容器４．氦气瓶该法为一种定性、定位检测技术，用以探测泄漏并确定其位置，检测灵敏度可达10－7Pa·m３/s。

扫查距离、速度以及不同操作人员对吸枪直测法的检测灵敏度均有一定程度的影响。

吸枪直测法一般用于容器焊缝、密封面等部位的泄漏检测，也可用于整体检漏后漏孔的定位。

（2）氦罩积累法如果被检容器的泄漏率很小，用吸枪直测法难以检测到泄漏时，则需采用氦罩积累法进行检漏。

相对于吸枪直测法的定性检测而言，氦罩积累法通过一定的积累时间，可以实现被检容器的定量微漏检测。

氦罩积累法可以对被检容器的局部或整体进行泄漏检测。

如果容器较小，用氦罩将其整个罩住，就可以对容器整体泄漏情况进行检测。

但对于焊缝、密封面较多的容器，则无法同时实现漏孔的定位。

若容器较大而且结构复杂，则需用多个小氦罩将被检部位罩住，这样既可以实现容器整体泄漏情况的检测，还可以对具体的泄漏位置以及泄漏率进行判定。

氦质谱真空检漏方法

氦质谱真空检漏方法氦质谱真空检漏啊，就像是在微观世界里玩一场超级刺激的捉迷藏。

那些微小的漏点就像狡猾的小妖怪，藏得严严实实的。

而我们的氦气呢，就像是带着特殊使命的小侦探，准备把这些小妖怪给揪出来。

你想啊，整个真空系统就像是一座神秘的城堡，表面看起来严丝合缝，但是谁知道里面有没有偷偷开了个小“暗门”呢。

这个时候，氦气就大摇大摆地走进这座城堡。

要是有漏点，那就相当于小妖怪留下的踪迹，氦气就会顺着这个踪迹溜出去。

氦质谱仪就更厉害了，它就像是一个超级嗅觉灵敏的大鼻子妖怪探测器。

氦气从漏点跑出去一点，就像小妖怪释放出了独特的气味。

氦质谱仪一下子就能闻到这种“气味”，然后大喊：“嘿，找到你这个小漏点妖怪了！”而且它还特别精确，就好像能精确地定位小妖怪在城堡的哪个角落一样。

这个检漏过程有时候就像一场紧张的追捕。

氦气在真空系统里到处跑，要是有漏点，就像是小妖怪不小心暴露了自己的藏身之处。

而我们就通过氦质谱仪这个厉害的“追踪器”，眼睛紧紧盯着数据的变化，就像猎人盯着猎物的动静一样。

如果把真空系统比作一个大口袋，那漏点就是口袋上的小破洞。

氦气就像是口袋里调皮的小精灵，一有机会就从破洞里钻出去。

氦质谱仪呢，就站在外面，把那些逃跑的小精灵一个一个逮住，然后告诉我们：“看，这里破了个洞，得赶紧补补啦！”有时候，那些漏点特别小，就像微观世界里的小蚂蚁洞。

可是别小瞧这些小蚂蚁洞，氦气就像一群执着的小蚂蚁探险家，总能发现这些小通道，然后带着消息跑回氦质谱仪这个“蚁巢”报告。

在这个检漏的世界里，我们操作人员就像是指挥这场“捉妖”行动的魔法师。

我们操控着氦气的走向，看着氦质谱仪这个魔法探测器给出的结果，然后施展“修补魔法”，把那些漏点小妖怪封印起来，让真空系统这个神秘城堡重新变得严严实实。

而且啊，这个过程就像在解一个超级神秘的微观谜题。

每一个数据的跳动，每一个发现的漏点，都是解开谜题的一块小拼图。

我们就在这种有趣又刺激的过程中，把整个真空系统的“健康状况”摸得一清二楚。

华尔升氦质谱检漏仪常见的三种检漏法

华尔升氦质谱检漏仪常见的三种检漏法华尔升氦质谱检漏仪应用广泛，在检漏作业中，根据不同产品对密封的要求多采用负压法，正压法和压氦法三种检漏方法。

1、负压法检漏负压法检漏是将被检件接到检漏仪的检测口，用喷枪连续向可疑的漏孔喷射示踪气体，示踪气体通过漏孔进入检漏仪并被检测。

一般电子器件的外壳、高压开关管、氧化锌、避雷器等都应采用这种方法检漏。

根据产品的不同，需要选择不同尺寸的夹具或辅助工具。

举个例子，比如管壳的检漏。

检漏仪正常工作后，用标准漏孔进行漏率校准，就可以对管壳作喷吹检漏，先将夹具固定在检漏口，待测管壳放在夹具上面的橡皮板上，辅助抽气系统将其抽至预定真空后自动接至仪器的测量系统。

然后用喷枪连续向管壳喷氦气，时间一般1～3秒，当管壳存在漏孔时，氦气将通过漏孔进入仪器的质谱分析部分，漏量大小在漏率表上直接显示出来，这种方法既能判断漏孔的位置也可测量漏孔的大小。

整个检测周期只需一分钟。

2、正压法检漏正压法检漏与负压法检漏相反，吸枪接在检漏仪的检测口，而被检件充入规定压力的示踪气体，漏孔泄漏出来氦气被吸枪吸入检漏仪被检测。

大型容器或内部放气管量很大的容器做负压检漏很不经济，而且检漏速度慢，一般采取正压检漏。

这种正压检漏法应注意事项：首先必须校准仪器的吸枪灵敏度，再向容器内充入比一个大气压高的氦气；其次有些容器是薄板结构，建议在容器外面做夹具防止高压时变形损坏器件；最后吸枪沿焊缝移动时速度不要太快，离开表面1mm左右，以保证吸入灵敏度，将探头做成喇叭口形效果更好。

3、压氦法检漏压氦法检漏是将压有一定压力的示踪气体的被检件放入检漏夹具中，然后连至检漏仪将其抽空，示踪气体通过漏孔泄漏出来，经检漏仪检测总泄漏量。

一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。

首先将仪器调整好，再将器件放入加压罐内压入氦气，氦气进入有漏孔的器件内部，无漏孔的器件只是表面吸咐氦气。

器件加压压力和时间根据GB2423，2328文件而定，器件从加压罐中取出后将表面吸咐的氦气吹掉再放入检漏夹具中抽空，待真空抽至设定值后自动将夹具连至仪器的测量系统。

微量漏气定位检漏方法

微量漏气定位检漏方法
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在小压差微量渗漏下，寻找漏气部位是比较困难的，因为，它可能相隔时间较长才漏一个气泡。

此时，准确地发现漏气部位是比较困难的。

根据目前国内外有关资料，微渗漏的定位检测方法，大致有如下几种：
（1）用氦气通过质谱仪检漏这方法是将一定量的氦气充入箱内，用吸枪在外部可
能渗漏部位进行抽吸，并将其输入质谱仪内进行质谱分析。

如果吸枪吸入的气体内含有
氦气分子，质谱仪就会有信号输出，这就可准确的发现漏气部位。

当然，用负压检测效果更好，即把箱内腔通过接头和质谱仪相通，利用质谱仪的真空泵将箱内抽成一定真空度，用氦气喷枪在箱外可能漏气部位喷氦气，由于氦分子极小，无孔不入，如果质谱仪有反应，则说明喷氦部位产生漏气。

用氦气质谱仪检漏法，在工业部门生产压力容器及大型火箭
储箱焊缝检漏得到应用，其检漏精度甚高。

可以达到5*10-9PA。

该方法有：质谱分析法需用氦气价格较贵，质谱仪本身价格昂贵等缺点，给用户带来不便。

（2）卤素检漏这方法是工业上常用的定位检漏方法之一，其原理是在容器中充入卤素气体（如氯气），也可充入氟利昂。

用探测头在可能漏气部位检测卤素气体是否有漏出，若有泄漏探测器发出叫声。

也可对采集的气样用气体分析仪进行成分分析，确定是否含卤素气体。