氦质谱检漏仪使用说明教材
氦质谱检漏仪操作规程(3篇)
第1篇一、概述氦质谱检漏仪是一种用于检测气体泄漏的高效、精确的仪器，广泛应用于真空系统、半导体设备、化工、科研等领域。
为确保操作人员的人身安全和仪器的正常运行，以下为氦质谱检漏仪的操作规程。
二、操作前的准备工作1. 环境检查：确保操作环境安全，通风良好，无腐蚀性气体。
2. 设备检查：检查氦质谱检漏仪外观是否完好，电源线、连接线等是否完好无损。
3. 仪器预热：打开仪器电源，预热30分钟以上，使仪器达到工作状态。
4. 参数设置：根据检测需求，设置合适的检测参数，如漏率阈值、扫描时间等。
三、操作步骤1. 连接仪器：将氦气源、抽气系统、波纹管等连接至氦质谱检漏仪，确保连接牢固。
2. 真空系统连接：将氦质谱检漏仪连接至待检测的真空系统，确保连接正确无误。
3. 设置检测参数：根据待检测系统的真空度、漏率等要求，设置合适的检测参数。
4. 启动检测：开启氦气源，调整流量至合适范围，启动检测程序。
5. 观察检测结果：仔细观察仪器显示屏，根据漏率值、泄漏位置等信息，判断是否存在泄漏。
6. 记录数据：将检测结果记录在检测记录表中，包括检测时间、漏率值、泄漏位置等。
四、注意事项1. 安全操作：操作过程中，注意个人防护，佩戴防护手套、眼镜等。
2. 防止误操作：熟悉仪器操作流程，避免误操作导致仪器损坏或安全事故。
3. 注意仪器保养：定期对仪器进行清洁、保养，确保仪器性能稳定。
4. 氦气处理：使用完氦气后，关闭氦气源，确保氦气排放到安全区域。
5. 设备维护：定期对仪器进行校准、维护，确保检测结果的准确性。
五、操作结束后的工作1. 关闭仪器：检测结束后，关闭氦气源、抽气系统等，断开电源。
2. 清理现场：清理操作现场，确保无安全隐患。
3. 整理记录：整理检测记录，归档保存。
六、附录1. 氦质谱检漏仪操作流程图2. 氦质谱检漏仪常见故障及排除方法通过以上操作规程，可以确保氦质谱检漏仪的正确使用，提高检测效率，确保检测结果的准确性。
231B-02(氦质谱检漏仪说明书)
版本：V2.0 / 2014.4
SFJ-231
氦质谱检漏仪
目录
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1 1.1 2 3 3.1 3.2 4 4.1 4.2 4.3 4.4 4.5 5 5.1 5.2 5.3 6 6.1 6.2 6.3 6.4 7 8 8.1 8.2 9 前言 ........................................................ - 1 图标约定 .................................................... - 1 概述 ........................................................ - 2 仪器性能指标 ................................................ - 3 使用环境 .................................................... - 3 性能参数 .................................................... - 4 仪器简介 .................................................... - 5 仪器气路系统 ................................................ - 5 仪器电子系统 ................................................ - 6 系统工作流程 ................................................ - 7 仪器面板 .................................................... - 9 仪器外部接口 ................................................ - 9 仪器操作 ................................................... - 13 基本操作说明 ............................................... - 13 检漏（喷吹法） ............................................. - 31 其他检漏方法操作 ........................................... - 36 维护 ....................................................... - 37 漏率校准 ................................................... - 37 机械泵保养 ................................................. - 37 分子泵维护 ................................................. - 37 质谱管及离子源清洗 ......................................... - 38 常见故障和处理 ............................................. - 39 附录 ....................................................... - 42 通讯协议 ................................................... - 42 仪器外形尺寸 ............................................... - 47 售后服务 ................................................... - 48 -
莱宝氦质谱仪中文操作说明书
目录1. 一般介绍 ...........................................................................................................................................1.1 本手册使用中的注释......................................................................................................................1.1.1 安全符号 ......................................................................................................................................1.1.2 表示法 ..........................................................................................................................................1.1.3 真空工艺符号 ..............................................................................................................................1.1.4 术语定义 ......................................................................................................................................1.2 莱宝的服务支持 .............................................................................................................................1.3 引言 .................................................................................................................................................1.3.1 用途 ..............................................................................................................................................1.3.2 技术数据 ......................................................................................................................................1.3.2.1 PhoeniXL300物理数据 .............................................................................................................1.3.2.2 电气数据 ...................................................................................................................................1.3.2.3 其它数据 ...................................................................................................................................1.3.2.4 环境 ...........................................................................................................................................1.3.2.5 PhoeniXL300 dry物理数据.......................................................................................................1.3.2.6 电气数据 ...................................................................................................................................1.3.2.7 其它数据 ...................................................................................................................................1.3.2.8 环境 ...........................................................................................................................................1.3.2.9 PhoeniXL300 Modul物理数据..................................................................................................1.3.2.10 电气数据 .................................................................................................................................1.3.2.11 其它数据..................................................................................................................................1.3.2.12 环境 .........................................................................................................................................1.4 拆箱 .................................................................................................................................................1.4.1 提供的设备 ..................................................................................................................................1.4.2 附件和选用件 ..............................................................................................................................1.4.2.1 吸气线SL300 ............................................................................................................................1.4.2.2 手机 ...........................................................................................................................................2. 安装 ...................................................................................................................................................2.1 工作场所 .........................................................................................................................................2.2 电气连接 .........................................................................................................................................2.2.1 系统供电 ......................................................................................................................................2.2.2 数据采集系统的连接...................................................................................................................2.2.2.1 选项（附件）............................................................................................................................2.2.2.2 数字输出 ...................................................................................................................................2.2.2.3 数字输入 ...................................................................................................................................2.2.2.4 记录器 .......................................................................................................................................2.2.2.5 RS232..........................................................................................................................................2.2.2.6 手机 ...........................................................................................................................................2.3 真空连接 .........................................................................................................................................2.3.1 吸入口 ..........................................................................................................................................2.3.2 排气口 ..........................................................................................................................................2.3.3 放气 ..............................................................................................................................................2.3.4 气镇连接 ......................................................................................................................................2.4 缺省设置 .........................................................................................................................................3. 首次运行检查 ...................................................................................................................................3.1 必须的设备 .....................................................................................................................................3.2 初次运行概述 .................................................................................................................................3.2.1 启动和测量 ..................................................................................................................................3.2.2 内部校准 ......................................................................................................................................3.2.3 检验 ..............................................................................................................................................4. 工作原理 ...........................................................................................................................................4.1 引言 .................................................................................................................................................4.1.1 PhoeniXL300真空系统 ................................................................................................................4.1.1.1 PhoeniXL300 dry真空系统.......................................................................................................4.1.1.2 PhoeniXL300 Modul真空系统..................................................................................................4.1.2 控制面板 ......................................................................................................................................4.1.2.1 液晶显示器 ...............................................................................................................................4.1.2.2 START（启动）按钮 ................................................................................................................4.1.2.3 STOP（停止）按钮...................................................................................................................4.1.2.4 ZERO（调零）按钮 ..................................................................................................................4.1.2.5 MENU（莱单）按钮.................................................................................................................4.1.2.6 软键 ...........................................................................................................................................4.1.2.7 数字输入 ...................................................................................................................................4.1.3 真空法 ..........................................................................................................................................4.1.4 分流法 ..........................................................................................................................................4.1.5 吸气模式 ......................................................................................................................................4.1.6 手机控制 ......................................................................................................................................4.1.7 手机上显示器 ..............................................................................................................................5. Phoenix的使用 ..................................................................................................................................5.1 显示器 .............................................................................................................................................5.2 起动模式下屏幕 .............................................................................................................................5.3 待机模式下显示器..........................................................................................................................5.3.1 气镇 ..............................................................................................................................................5.4 测量模式下屏幕 .............................................................................................................................5.4.1 调出校准 ......................................................................................................................................5.4.2 扬声器音量 ..................................................................................................................................5.4.3 显示器上状态行...........................................................................................................................5.4.4 数字显示模式 ..............................................................................................................................5.4.5 趋势模式 ......................................................................................................................................6. 莱单简介 ...........................................................................................................................................6.1 主菜单 ..............................................................................................................................................6.2 视图 .................................................................................................................................................6.2.1 标尺线性/对数 .............................................................................................................................6.2.2 显示范围自动/手动 .....................................................................................................................6.2.3 时间轴 ..........................................................................................................................................6.2.4 对比度 ..........................................................................................................................................6.2.5 待机模式下本底...........................................................................................................................6.2.6 显示下限 ......................................................................................................................................6.3 模式 .................................................................................................................................................6.4 触发器和报警 .................................................................................................................................6.4.1 触发电平1 ...................................................................................................................................6.4.2触发电平2 ....................................................................................................................................6.4.3触发电平3 ....................................................................................................................................6.4.4 单位 ..............................................................................................................................................6.4.5 音量 ..............................................................................................................................................6.4.6 报警延迟 ......................................................................................................................................6.4.7 音频报警类型 ..............................................................................................................................6.4.7.1 定点 ...........................................................................................................................................6.4.7.2漏率比 ........................................................................................................................................6.4.7.3设置点 ........................................................................................................................................6.4.7.4 触发报警 ...................................................................................................................................6.5 校准 .................................................................................................................................................6.6 设置 .................................................................................................................................................6.6.1 真空设置 ......................................................................................................................................6.6.1.1 放气延迟 ...................................................................................................................................6.6.1.2 真空范围 ...................................................................................................................................6.6.1.3 分流设备 ...................................................................................................................................6.6.1.4 吸气因子 ...................................................................................................................................6.6.1.5 机器因子 ...................................................................................................................................6.6.1.6 内部测试漏孔漏率....................................................................................................................6.6.2 过滤器和本底 ..............................................................................................................................6.6.2.1 计算吸入口区段本底................................................................................................................6.6.2.2 本底抑制 ...................................................................................................................................6.6.2.3 漏率过滤器 ...............................................................................................................................6.6.3 质量 ..............................................................................................................................................6.6.4 接口 ..............................................................................................................................................6.6.4.1 控制的位置 ...............................................................................................................................6.6.4.2 确定记录器输出........................................................................................................................6.6.4.3 RS232协议.................................................................................................................................6.6.4.4 确定PLC输出 ..........................................................................................................................6.6.4.5 确定PLC输入 ..........................................................................................................................6.6.4.6 记录器输出定标........................................................................................................................6.6.5 杂项 ..............................................................................................................................................6.6.5.1 时间和日期 ...............................................................................................................................6.6.5.2 语言 ...........................................................................................................................................6.6.5.3 校准请求 ...................................................................................................................................6.6.5.4 前级泵检修周期........................................................................................................................6.6.5.5 油过滤器检修周期....................................................................................................................6.6.5.6 油过滤器检修信息....................................................................................................................6.6.6 参数保存/装入 .............................................................................................................................6.6.6.1 装入参数组 ...............................................................................................................................6.6.6.2 保存参数组1 ............................................................................................................................6.6.7 监视功能 ......................................................................................................................................6.6.7.1 真空模式压力限制....................................................................................................................6.6.7.2 吸气模式压力极限....................................................................................................................6.6.7.3 最大抽空时间............................................................................................................................6.7 信息 .................................................................................................................................................6.7.1 维护 ..............................................................................................................................................6.8 访问控制 .........................................................................................................................................6.8.1访问校准功能 ...............................................................................................................................6.8.2修改莱单—PIN .............................................................................................................................6.8.3调零 ...............................................................................................................................................7. 校准 ...................................................................................................................................................7.1 引言 .................................................................................................................................................7.2 校准程序 .........................................................................................................................................7.2.1 内部校准 ......................................................................................................................................7.2.2 外部校准 ......................................................................................................................................7.3 校准系数—数值范围......................................................................................................................8. 错误和警告信息 ...............................................................................................................................8.1 提示 .................................................................................................................................................8.2 错误和警告清单 .............................................................................................................................9. 维修 ...................................................................................................................................................9.1 莱宝服务 .........................................................................................................................................9.1.1 维护计划 ......................................................................................................................................9.1.2 拆开Phoenix ................................................................................................................................9.1.3 更换过滤网 ..................................................................................................................................9.1.4 换油 ..............................................................................................................................................9.1.5 清洁 ..............................................................................................................................................9.1.6 更换熔断器 ..................................................................................................................................9.1.7 油过滤器 ......................................................................................................................................9.2 涡轮分子泵 ..................................................................................................................................... 附录a ......................................................................................................................................................1. 一般介绍我们建议您认真阅读本技术手册，确保从启动开始就一直保持最佳工作状态。
氦质谱检漏仪使用说明
氦质谱检漏仪使用说明(总9页)--本页仅作为文档封面，使用时请直接删除即可----内页可以根据需求调整合适字体及大小--氦质谱检漏仪使用说明书资产编号：型号：ZQJ-542一、设备组成及工作原理1、设备组成框图2、设备工作原理检漏仪内部组成：氦质谱检漏仪主要由分子泵、质谱室、组合阀体，机械泵以及控制电路板等组成。
检漏仪的工作原理：氦质谱检漏仪是根据质谱仪学原理，用氦气作为搜索气体制成的气密性检测仪器。
ZQJ-542检漏仪采用180度磁偏转质谱室，钨制灯丝发射出来的电子经过加速进入离化室，在离化室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入离化室的氦气互相碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，由于不同质量数（m/e）的离子其偏转半径不同，这样就将不同的离子分离开了。
由于磁场参数是固定的，只有调节加速压力就可以改变氦离子的偏转半径，使氦离子正好通过隔离板上的窄缝打到放大器入口，这样就使氦离子（m/e=4）与其他离子分开了。
氦离子流正比于容器中氦分压。
因此，对氦离子的测量可以用来确定被检件的漏率。
二、设备工作外部条件氦质谱检漏仪电源电压220V 频率50HZ 额定功率2000W。
仪器应安装在符合仪器使用的环境要求的场所，特别是仪器的电源插座，应符合要求，要有良好的地线，左右要留有30CM的通风间距。
放置好检漏仪，以避免仪器有倾斜或倾倒的危险。
检漏仪的底部有安装孔，可以将其固定在桌子或支架上。
在仪器运行前要确保真空泵中的机械泵油是否足够，机械泵油必须用专用的针对机械泵型号的油。
三、设备工作外部条件接通操作氦质谱检漏仪图1检漏仪的机械泵有足够的机械泵油；保证机体内分子泵、机械泵、真高空组件各连接顺畅；电源线线路没有破损，有良好的接地。
检漏仪要放平稳，不能倾斜，检漏仪底面要有一层防静电布。
加压罐压氦装置图2加压罐压氦装置的外部接通顺序：写出设备外部条件的接通先后顺序，操作方法，具体的参数等。
氦质谱检漏仪原理及使用方法及相关介绍
氦质谱检漏仪原理及使用方法及相关介绍一、原理氦质谱检漏仪的原理基于质谱技术。
质谱技术是一种将样品原子或分子离子化并加速到特定质量的仪器分离和检测方法。
在氦质谱检漏仪中，首先将氦气引入被测系统中，然后利用真空泵将系统抽成高真空状态，此时如果系统存在泄漏，氦气会从泄漏点进入真空室。
接下来，仪器将氦气离子化并加速，然后将其通过质谱仪进行分离和检测。
质谱仪按质量对氦离子进行分离，只保留本离子，其他离子则被排除在外。
最后，通过测量离子的电流，就可以确定氦气的浓度，从而判断系统是否有泄漏的情况。
二、使用方法1.准备工作：将氦气瓶连接到仪器中，确保连接紧固，打开氦气瓶阀门。
2.开机操作：按下电源开关，等待仪器启动并进入工作状态。
此时，仪器会进行自检，并显示相关的信息。
3.设置参数：根据需要，设置仪器的工作参数，如离子加速电压、离子电流等。
这些参数的设定会影响仪器的灵敏度和分辨率。
一般来说，根据被测系统的特点和泄漏的排查需求来确定。
4.测试操作：将仪器探头移至被测系统周围，并尽量靠近可能存在泄漏的区域。
慢慢移动探头，直到仪器探测到氦气浓度的变化。
此时，仪器会发出声音或显示信号，以提示泄漏处的位置。
5.结果判断：根据仪器显示的信号确定泄漏点，可以通过仔细观察和移动探头来进一步定位泄漏。
6.数据记录：记录泄漏点的位置、泄漏大小以及检测时间等信息，便于后续处理和跟踪。
三、相关介绍1.灵敏度：氦质谱检漏仪具有非常高的灵敏度，可以检测非常微小的氦气泄漏。
一般来说，它可以检测漏率为10^-9至10^-12毫升/秒的泄漏。
2.应用范围：氦质谱检漏仪广泛应用于各个领域，如航空航天、化学工业、电子、制药等。
在这些领域，确保系统的密封性非常重要，而氦质谱检漏仪的高灵敏度和精确度可以满足这些需求。
3.优点：氦质谱检漏仪的优点包括操作简单、快速、准确，具有高灵敏度和分辨率，可以定位并确定泄漏点。
4.注意事项：在使用氦质谱检漏仪时，需要保证被测系统处于高真空状态，以确保准确的检测结果。
氦质谱检漏仪使用说明资料
加压罐压氦装置
图2 加压罐压氦装置的外部接通顺序： 写出设备外部条件的接通先后 顺序，操作方法，具体的参数等。 1、把加压罐、电阻真空计、真空泵、氦气瓶按要求连接。 2、检查加压罐的密封圈是否有损害， 加压罐进出阀门是否关闭不了； 真空泵是否有足够的泵油， 气镇阀旋钮是否处在关闭的位置； 氦气瓶 减压阀是否漏气现象。 3、确认所有应该注意的事项没有问题之后可以接电源通电。 重氟油粗检
图3 1、 查看温度检测线路和加热板线路没有破损。
2、 在油箱中加入适量的重氟油 3、 插上电源线，设定重氟油的温度进行加热处理，打开照明灯。
当温度达到要求即可用来粗检产品。 四、详细操作 启动检漏仪 1、 连接电源插头，打开检漏仪开关。 2、 机械泵开始启动。 3、 面板上的指示灯亮。 4、 液晶屏（ LCD ）显示如下信息：
化。如果在报废点之内则说明密封性合格， 如若有报警声响则说明该 点密封性不合格需要返修。 4、组件检完之后再按下检漏按钮当待机按钮灯亮之后即可取下组件。 (二)全检（背压法） 1、由于组件在加压罐和检漏盒中会受到一定的压力冲击，因此要用 一张无尘纸包裹住组件以免碰伤和组件内部元件受到冲击。 2、全检是要把产品先放在充满氦气的加压罐中施加绝对压力 0.2Mpa 的压力加压 4h。 加压罐装置如下图所示：
氦质谱检漏仪使用说明书
资产编号：
一、设备组成及工谱检漏仪
重氟油粗检装置 检漏盒
检漏托盘 氦气喷抢
型号： ZQJ-542
双级旋片真空泵 电阻真空计 氦气瓶
2、设备工作原理 检漏仪内部组成：氦质谱检漏仪主要由分子泵、质谱室、组合阀体， 机械泵以及控制电路板等组成。 检漏仪的工作原理： 氦质谱检漏仪是根据质谱仪学原理， 用氦气作为 搜索气体制成的气密性检测仪器。 ZQJ-542 检漏仪采用 180 度磁偏转质谱室， 钨制灯丝发射出来的电子 经过加速进入离化室， 在离化室内与残余气体分子和经被检件漏孔进 入离化室的氦气互相碰撞使其电离成正离子， 这些离子在加速电场作 用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，由于不同质量数（ m/e） 的离子其偏转半径不同， 这样就将不同的离子分离开了。 由于磁场参
氦质谱检漏仪使用说明(1)
氦质谱检漏仪使用说明一、检漏仪及其真空系统的组成VARIAN959-50检漏仪检漏漏率范围从1X10-3（毫升/秒）到2X10-10（毫升/秒）（相当于30年漏1毫升），它主要由质谱管、高真空泵、热偶规管、一系列按钮控制的阀、测试接口、真空和漏率指示，以及电路板等部分组成，其真空系统结构为（分子泵型），如图1：图1 检漏仪真空系统结构图（分子泵型）检漏仪开启后，V1、V2、V6阀打开，测试口与质谱管保持真空连接。
如果按下“VENT”键，放气阀V3打开，V1关闭，测试口处于大气状态，同时V2打开，使分子泵、质谱管和机械泵连通。
分子泵运行时，质谱管真空度要达到2X10-4TORR以上，才能给离子源灯丝加热。
二、检漏仪工作原理图2 检漏仪工作原理图如果被检系统有微小漏孔，在小孔周围喷氦气时，总有部分氦原子会通过漏孔进入检漏仪接口，通过其真空系统扩散到质谱管。
质谱管是检漏仪核心组成部分，参见上图2，在电场和磁场作用下，灯丝发射电子使气体电离，电离后带正电的离子通过聚焦和孔集中后，进入分析磁场（磁场强度为2340高斯），由于受洛仑磁力作用，离子会发生偏转，其它外界条件相同的情况下，偏转半径由带电粒子电量与质量之比即荷质比决定，荷质比小的离子偏转半径小，荷质比大的粒子偏转半径大，只有氦离子才能通过抑制小孔到达收集极，信号经放大后，检漏仪报警。
三、控制和指示器功能说明：序号控制、指示器功能四、开机操作步骤（对分子泵检漏仪）1) 将待检设备和检漏仪接口接好确保不漏；2) 开前级机械泵电源；3) 打开右边小门，合上主电源开关，所有指示灯暂亮起，等到“TRURBO READY”指示灯亮；4) “HIVACK OK”指示灯亮后，将“FIL”开关打到ON，灯丝指示灯亮，必要时多次重复这一步骤直到灯丝指示稳定；5) 按下START键；6) 当测试口压力降到绿色指示段（100 millitorr）时，TEST指示灯亮，三分钟后，如果测试口真空度降到绿色指示段，HOLO指示灯亮，压力降到100milltor以下后，HOLO指示灯灭，（如果真空度达不到要求，HOLD指示将在三分钟内发亮）；7) 检漏仪会自动上一步，直到测试口压力降到100毫以下；8) 被检系统喷氧检漏；五、关机步骤1) 按下VENT键；2) 关掉检漏仪主电源；3) 关机械泵主电源；以上操作使分子泵隔离大气，质谱管保持真空状态六、检漏仪调零和校准在检漏之前，检漏议质谱应调到对氦反应灵敏，这需要用到标准漏孔。
安全操作规程-氦质谱检漏仪
SFJ-261氦质谱检漏仪安全操作规程
一、目的
通过了解设备工作原理、技术参数、使用操作步骤、HSE提示与注意事项同、常见故障处理。
以保障设备和人员的安全及正常运行。
二、适用范围
本规程适用于公司SFJ-261氦质谱检漏仪
三、工作原理
氦质谱检漏仪是根据光谱学原理，用氢气作探索气体制成的气密性监测仪器。
四、技术参数
五、使用操作步骤
1、启动
2、参数设定
3、音量设定
4、标漏的设定
5、滤波方式设定
6、检漏模式
7、校零模式 8、机器因素
9、单位设定 10、通讯设定
11、输出设定 12、时间设定
六、HSE提示，注意事项
1、使用仪器确保仪器可靠接地，严禁在没有接地的情况下使用。
2、仪器附近无强磁场干扰，无剧烈震动，无腐蚀性气体；室内要良好通风，以氦气干扰。
3、启动时最好不要让检漏口与大气直通，建议使用专用堵头堵住。
七、常见事故处理。
中科科仪氦简陋仪使用手册
B.1 检漏方式................................................B-1 B.2 检漏方法................................................B-2
目录
第一部分 仪器介绍...................................1-1
1.1 外观尺寸.................................................1-1 1.2 仪器结构.................................................1-2
附录 C 压强和漏率单位换算.................................C-1
IV
目录
KYKY
ZQJ-530 氦 质 谱 检 漏 仪
第一部分 仪器介绍
ZQJ－530 型氦质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的完整仪 器。
氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比，除检漏原理 不同外，以检测灵敏度高、速度快和适用范围宽，尤其是选择无毒、无破坏性、质量 轻的惰性气体氦作为探索气体，而成为当今诸多检漏方法中的佼佼者。
由于质谱室在高真空状态下工作，在对质谱室维护时要先对其放大气 （在确保分子泵停止转动的情况下，通常打开分子泵前级，图 3-18）。 避免在没放大气时强行取下质谱室或离子源等部件。
KYKY 服务支持
单位：北京中科科仪技术发展有限责任公司 地址：北京市海淀区中关村北二条十三号 100190 电话：+86-10-62571592 +86-10-62565522
SFJ-201 211-B 231-BD 241-D 251 型氦质谱检漏仪使用说明书
16
3-2 其他检漏方法的操作
22
3-2-1 吸入法检漏
22
3-2-2 背压法检漏
22
3-2-3 检大漏操作（仅适用于 SFJ-231D/241D）
22
四 维护
23
4-1 基本维护项目
23
4-1-1 漏率校准
23
4-1-2 机械泵保养
23
4-1-3 分子泵维护
23
4-1-4 质谱管及离子源清洗
SFJ-211(B)
2-3-2
内部结构及部件（以 SFJ-231 为例）
231
4
5
8
6 7
9
10
11
12
7
质谱室
俯视示意图
检漏口 标准漏孔（13）
分子泵和组合阀座 电子线路盒
编号
1
检漏口
2
接收器
3
离子源
4
质谱室
部件名称
5
真空计
6
分子泵
7
组合阀座
8
磁铁
9
电磁阀
10 电气盒
11 散热风扇
12 机械泵
13 标准漏孔
部件名称
简易操作说明
错误代码含义 漏率及其他相关情况显示区
漏率光柱显示 检漏口压力显示 质谱室压力显示 按键区域 工作状态指示 放气/准备就绪指示 硬件调零
备注
简易的操作步骤
错误代码的含义 漏率及其他情报显示窗口
与 3 同步显示漏率 指示了当前检漏口的压力 新款机器全部没有此项 按钮所在的区域 显示了当前仪器的工作状态 参见下表说明 请参阅 4-1-2 硬件调零
注意
SFJ-251 操作面板上除了 设定 确定 左右 上下 此四个菜单设定按钮与其他机型
231B-02(氦质谱检漏仪说明书)
4.5.2 遥控器接口、232 接口
接口 ：BD9 公头
图8
RS232 接口
图9
遥控器接口
4.5.3 RS485 接口
A B GND RS485
RS485 图 10 RS485 接口
- 11 -
仪器简介
4.5.4 I/O 输入输出接口
接口: DB25（母头）
图 11
- 12 -
I/O 接口分布
仪器操作
5
仪器操作
仪器搬运到检漏现场； 提供 220V±10% ,50Hz 的交流电源，并且确保有地线； 准备好三芯的插座，并且确保插座的容量是 250V*10A； 准备好氦气和喷枪及其他配件如：波纹管，快卸法兰等。
5.1 基本操作说明 5.1.1 启动
将检漏口用专用堵头堵住，接通电源,按下电源开关到“—”的位置，仪器开始 加电。设备显示启动画面。如下图：
本公司最新产品信息、相关文档修订和勘误表，请联系本公司客服。 400 112 0066
1.1 图标约定
符号 含义 可能对人身造成伤害的操作，必须由本公司确认的专业人士操作。 必须严格按照使用手册规程、确认安全后操作，或由专业人士操作，否则可能导 致故障。 日常操作时需要注意的事项 ¨ 参见的章节 如果您第一次使用本仪器，请仔细阅读本手册的所有章节。 本手册中的图片仅供参考，在不影响性能和操作方式的前提下，厂家保留产品 升级且不用另行通知的权利。 为确保操作人员和仪器的安全，请在使用前仔细阅读《说明书》
4.5.1 模拟输出接口
1
2
3
4
5
6
7
8
图4 5 6 7 8 AO-1 AGND AGND AO-2 GND
模拟输出各接口 备注
氦质谱检漏仪原理及使用方法及相关介绍精编版
氦质谱检漏仪原理及使用方法及相关介绍精编版一、氦质谱检漏仪的原理1.首先，将待检测的物体使用泵抽真空，将环境中的空气抽去，使之达到一个低压下。
2.然后，将氦气注入被检测物体的周围环境中，此时被检测物体内部存在可能的泄漏点。
3.接下来，利用泵将周围的氦气抽入质谱仪进行分析。
在质谱仪中，氦气会分子破裂形成氦原子以及其他质子和电子组成的离子。
4.最后，利用质谱仪的探测器检测这些离子，并根据离子的种类和数量来确定氦气泄漏的位置和程度。
二、氦质谱检漏仪的使用方法使用氦质谱检漏仪来检测气体泄漏需要以下步骤。
1.连接仪器：首先，将氦质谱检漏仪的各个部分按照说明书连接好，确保仪器正常工作。
2.准备工作：确保被检测物体周围环境处于一定的真空状态，注入氦气之前，将其它气体从被检测物体周围排除出去。
3.注入氦气：将氦气注入被检测物体周围环境中，确保氦气在泄漏点出漏时能进入到被检测物体内部。
4.开始检测：通过操作仪器，将泵启动，将周围环境中的氦气抽入质谱仪中进行分析。
5.分析结果：根据质谱仪输出的数据和显示的曲线，来确定氦气泄漏的位置和程度。
6.维护和记录：检测完成后，对仪器进行维护和清洁，同时将检测过程和结果进行记录。
三、氦质谱检漏仪的应用1.工业领域：氦质谱检漏仪可以用于汽车、空调、制冷设备、容器、管道等工业设备的泄漏检测。
它可以检测到微小的泄漏，避免了潜在的安全隐患。
2.实验室应用：氦质谱检漏仪可以用于实验室的真空系统、气体贮存、气体分析等设备的泄漏检测。
它可以保证实验室设备和实验工作的准确性和安全性。
3.能源设备：氦质谱检漏仪可用于能源设备的泄漏检测，如太阳能光伏系统、风力发电机、核电站等。
它可以提高设备的使用寿命和能源利用效率。
综上所述，氦质谱检漏仪是一种非常有效的气体泄漏检测仪器，具有高灵敏度和准确性。
它的工作原理简单明了，使用方法也相对简单。
在工业和实验室中的广泛应用，保证了设备的安全和工作的正常进行。
氦质谱检漏仪说明书
氦质谱检漏仪说明书
氦质谱检漏仪是一种用于检测气体泄漏的仪器，常用于工业生产中的排气管道、气密系统、发动机、航空航天等领域。
使用氦质谱检漏仪需要注意以下事项：
1. 确保氦气源充足并连接到仪器上。
2. 预热仪器至工作温度，一般为25℃-35℃之间。
3. 将检漏仪连接至被检测泄漏物的管路或设备。
4. 打开仪器的氦气流控开关，使氦气流经被检测泄漏物的管路或设备。
5. 打开检测仪器的高压控制开关，使电离针产生电离氦原子。
6. 从氦气源中选择一个适合被检测设备的质量标准。
7. 根据设备的检测需求，选择不同的泄漏检测程序和扫描速度。
8. 正常情况下，泄漏位置将在仪器上以响声、指示灯或数字显示的形式出现。
9. 检测完毕后，将仪器清洁干净并储存至干燥处。
10. 注意安全，避免氦气泄漏对人体造成危害。
以上是氦质谱检漏仪的基本操作使用说明，使用时务必遵守安全操作规程，以确保操作人员的安全和设备效果。
氦质谱检漏仪测试使用规范
氦质谱检漏仪1．本规范是氦气质谱检漏仪的使用和保养的技术指导规范2．概述质谱仪是在作FE测试用于检测空气中氦气分子的仪器，低温实验室的氦气质谱仪包含以下零件：主体检漏机、吸枪、卡箍、卡箍盖、真空校准漏孔、电源线。
其技术参数如下：型号：SFJ-211B最小可检漏范围：漏率显示范围：吸枪长度：探头直径：制造标准：渗氦型真空校准漏孔：校准标准：3．使用方法a.实验之前半小时，确认机体接口、卡箍、卡箍盖连在一起并卡紧。
插上电源，打开质谱仪后面的开，让质谱仪抽真空15分钟，准备就绪后，按显示板上的停止键，松开卡箍，将校准口装到主机接口上，拧紧卡箍，按显示板上的校准键，等机子校准结束后，上面的数值与校准口上的数值一样（如有问题在校准一次，还不行则送修），则按下停止键，拆开卡箍，装上吸枪，拧紧卡箍。
b.按下检漏键，将吸枪置于空气左右上下嗅探，测试一下环境中的HE气分子量，如果He分子量太高，则开启排风扇将实验室中的气体排出。
c.将吸枪探头置于离探源2-5mm的距离内嗅探，绕着探源走一圈，注意观察质谱仪上的数值，记下其瞬间最高数值。
也可以根据客户要求进行测试。
4．注意事项a.在使用过程中，不允许开风扇或者有引起空气流动的动作。
b.在测试进行一个小时后，应在标漏一次。
c.设备必须在停止状态下才能松开卡箍。
d.真空校准漏孔在使用时不要磕碰、用力甩动。
e.吸枪使用时不要有污垢堵住探头口，延长线不要弯折、打结。
f.每次嗅探中途停止时，应按下停止键。
g.非测试人员不得操作设备。
5．设备保养每次使用完设备后应将机器擦拭干净、吸枪接头松开、盖上卡箍盖，用卡箍拧紧。
吸枪绕好，放在设备上方，拔掉电源线，盖上透明塑料袋。
将渗氦型真空校准漏孔收到专门的盒子内。
ZQJ-230D氦质谱真空检漏仪使用说明书.
ZQJ-230D氦质谱检漏仪企业通过ISO 9001质量管理体系认证ZQJ-230D型氦质谱检漏仪使用说明书目录第一部分仪器介绍1.1外观尺寸.................................................1-1 1.2仪器结构.................................................1-11.2.1 质谱室..............................................1-31.2.1.1 离子源.........................................1-31.2.1.2 磁分析器.......................................1-41.2.1.3 接收极与前置放大器.............................1-41.2.1.4 全离子检测极...................................1-41.2.2 真空系统............................................1-51.2.2.1 机械泵.........................................1-51.2.2.2 涡轮分子泵.....................................1-61.2.2.3 组合阀.........................................1-71.2.2.4真空测量.......................................1-81.2.3 电气系统............................................1-81.2.3.1 电子机柜.......................................1-81.2.3.2 操作台板......................................1-101.2.3.3 电磁阀电源箱..................................1-121.3 仪器主要性能参数.......................................1-131.4 仪器使用环境条件.......................................1-131.5 仪器成套性.............................................1-14 第二部分使用方法.....................................2-12.1 开箱...................................................2-12.2 操作前准备.............................................2-12.3 安装...................................................2-22.4 操作...................................................2-22.4.1 首次开机..........................................2-22.4.2 氦峰调试与漏率校准................................2-32.4.3 喷吹法检漏........................................2-62.4.3.1 正常检漏操作(≤10Pa........................2-62.4.3.2 高压检漏操作(10~20Pa......................2-72.4.3.3 延长预抽时间..................................2-72.4.3.4 超高压检漏(>20Pa...........................2-82.4.4 吸枪检漏...........................................2-82.5 停机....................................................2-92.5.1 维持备用..........................................2-92.5.2 完全停机.........................................2-10 第三部分维护.......................................3-13.1 漏率校准...............................................3-13.2 真空维护与清洗.........................................3-1 目录III3.2.1 机械泵油面观测.....................................3-1 3.2.2 更换机械泵油.......................................3-1 3.2.3 分子泵加注润滑油...................................3-2 3.2.4 清洗分子泵.........................................3-23.2.5 清洗质谱室.........................................3-23.2.6 更换离子源........................................3-113.2.7 清洗组合阀........................................3-123.3 电子部件调整...........................................3-13 3.3.1 发射调节..........................................3-133.3.2 离子源电压校正....................................3-13 3.3.3 热偶规管调整......................................3-14 3.3.4 过压保护调节......................................3-14 3.3.5 分子泵启动设置....................................3-15 3.3.6 漏率显示放大器调整................................3-15 3.3.7 检查前置放大器供电................................3-15 3.4 检验氦本底.............................................3-163.5 仪器泄漏自检...........................................3-16 第四部分常见故障及处理.............................4-14.1 正常运转与故障判断.....................................4-14.2 故障检查与排除.........................................4-3 附录A ZQJ-230D氦质谱检漏仪的工作原理...............A-1A.1 质谱原理.................................................A-1A.2 真空系统原理.............................................A-2A.3 电子学线路的原理.........................................A-5 附录B 氦质谱检漏仪的检漏方式和检漏方法..............B-1B.1 检漏方式................................................B-1B.2 检漏方法................................................B-2B.2.1 喷吹法--确定漏孔位置..............................B-2B.2.2 吸入法——确定漏孔位置..............................B-2B.2.3 钟罩法——测总漏率..................................B-3B.2.4 背压法——测总漏率..................................B-3 附录C 压强和漏率单位换算IV目录KYKY ZQJ-230D 氦质谱检漏仪第一部分仪器介绍 1-1第一部分仪器介绍ZQJ -230D 型氦质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的完整仪器。
普发氦质谱检漏仪安全操作及保养规程
普发氦质谱检漏仪安全操作及保养规程普发氦质谱检漏仪是一种高精度的检漏仪器，适用于一些需要高精度检测的行业，如化学、制药、军工等。
使用氦气作为测试介质，通过分析氦气在被测目标表面的漏出率，确定被测物体的漏气情况。
本文将介绍普发氦质谱检漏仪的安全操作及保养规程。
操作规程1.检测前准备在检测前，确认被测物体处于安全状态并且没有其他危险性物质存在。
检测人员需要穿戴防护用具，包括手套、口罩和防护服等。
2.启动仪器将普发氦质谱检漏仪完全插上电源，按下电源开关开机。
在按下开机键后，仪器会进行初始化和自检，在自检完成后，仪器处于正常工作状态。
3.调节仪器参数在将被测物体放置于检漏仪上后，需要调节仪器参数以及检漏仪内部的质谱仪相关参数（如进气口的开合、电离器热量等），使仪器能够正确地对氦气进行分析。
不同的物体需要不同的参数设置，通常需要使用仪器的说明书进行正确设置。
4.开始检测检测前需要准确地将氦气喷洒于被测物体上，并记录被测物体表面的温度和其他相关参数。
在检测过程中需要对检测仪器作出正确的响应，如注意信号指示器、检查密封情况等。
5.结束检测在检测完毕后，关闭氦气的输入口，关闭检测仪器，并移除检测过的被测物体。
注意在移除被测物体时要小心操作，以避免破坏被测物体和导致泄漏。
保养规程1.清洁仪器普发氦质谱检漏仪能够检测极小的泄漏量，并且氦气对电子元器件具有腐蚀作用，因此需要经常进行清洁。
每次检测结束后需要将检测仪表内的氦气、杂质等清除干净，并使用干燥气体吹干内部。
在仪器外部的细节部位也需要进行清洗，并防止液体或粉尘进入检测仪器内部。
如需要进行更深层次的清洁，建议请专业维修人员进行处理。
2.定期更换必要部件普发氦质谱检漏仪内的电子元器件等易受氦气、湿度以及环境温度等影响，因此其寿命会受到较大制约。
为保证仪器能够长期稳定、精准地工作，建议定期更换必要部件（如灯管、检测器、检漏电离器等），以保持仪器的优良性能。
3.保持合适的工作环境普发氦质谱检漏仪工作时需要处于相对稳定的温度、湿度和空气流动状态。
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本文部分内容来自网络整理，本司不为其真实性负责，如有异议或侵权请及时联系，本司将立即删除！== 本文为word格式，下载后可方便编辑和修改！ ==氦检漏作业指导书篇一：氦气检漏作业指导书B版本篇二：氦检漏步骤氦检漏步骤1、抽真空至5Pa以下就可以开始检测。
2、插上检漏仪电源，关闭上部手动挡板阀，开启检漏仪总电源，此时，“放气”灯亮起，等待系统运行3、当“系统正常”及旁边的两个灯都显示为绿色时，观察预置参数，应为10-15，一般取15，观察数值，应为10的-8至-9次方时，可以开始检漏（等待几分钟）4、按“检漏”键，缓慢开启顶部手动挡板阀，注意：检漏口的压强不得超过10MPa,否则机器易损坏，5、数值稳定后，先记录下来，这就是“本底”6、逐个将氦气充入焊缝，并封堵插入口，将数值变动记录下来。
全部完成充氦后再观察20分钟，看数值有无大的变动。
7、关机时，应先关闭上部手动挡板阀，然后开启放气键，最后关电源。
篇三：氦质谱检漏仪使用说明 (1)氦质谱检漏仪使用说明一、检漏仪及其真空系统的组成VARIAN959-50检漏仪检漏漏率范围从1X10-3（毫升/秒）到2X10-10（毫升/秒）（相当于30年漏1毫升），它主要由质谱管、高真空泵、热偶规管、一系列按钮控制的阀、测试接口、真空和漏率指示，以及电路板等部分组成，其真空系统结构为（分子泵型），如图1：图1 检漏仪真空系统结构图（分子泵型）检漏仪开启后，V1、V2、V6阀打开，测试口与质谱管保持真空连接。
如果按下“VENT”键，放气阀V3打开，V1关闭，测试口处于大气状态，同时V2打开，使分子泵、质谱管和机械泵连通。
分子泵运行时，质谱管真空度要达到2X10-4TORR以上，才能给离子源灯丝加热。
二、检漏仪工作原理图2 检漏仪工作原理图如果被检系统有微小漏孔，在小孔周围喷氦气时，总有部分氦原子会通过漏孔进入检漏仪接口，通过其真空系统扩散到质谱管。
质谱管是检漏仪核心组成部分，参见上图2，在电场和磁场作用下，灯丝发射电子使气体电离，电离后带正电的离子通过聚焦和孔集中后，进入分析磁场（磁场强度为2340高斯），由于受洛仑磁力作用，离子会发生偏转，其它外界条件相同的情况下，偏转半径由带电粒子电量与质量之比即荷质比决定，荷质比小的离子偏转半径小，荷质比大的粒子偏转半径大，只有氦离子才能通过抑制小孔到达收集极，信号经放大后，检漏仪报警。
ZQJ-542型氦质谱检漏仪操作流程
ZQJ-542氦质谱检漏仪操作规程开机前准备：1，检查电源：确保正常供电（220V AC/10A），接稳压电源，仪器接地良好；2，总电源开关（检漏仪左侧，电源线旁边）置于OFF位。
4，检漏口用盲板堵死；如无盲板，使用手动挡板阀并关闭阀。
一、开机1.开总电源，至系统显示屏显示：ready for cycleInlet vent：on右侧操作部分变为待机状态。
二、测试漏孔待机状态下取下盲板装好542专用漏孔（注：漏孔阀门处于常开状态），按“测试”键后观察漏率显示：（应知晓本机的漏孔值，如漏孔标定值为2.0×10-8Pa·m3/s）a.显示读数为2.0×10-8Pa·m3/s，关闭漏孔手动阀门漏率显示下降到5.0×10-11Pa·m3/s受环境影响，显示值可能有一些波动，是正常的，可以直接进行四，检漏；b.显示读数不为2.0×10-8Pa·m3/s，则需要进行三、校准。
三、校准待机状态下取下盲板，装好542专用标准漏孔；（注意，校准仪器时，人员一定要根据仪器提示进行）按“校准”键，显示屏出现“PLEASE OPEN THE LEAK ON THE TEST，~~~~~NEXT”时，开标准漏孔，然后按“翻页”，当显示屏出现“PLEASE CLOSE THE LEAK ON THE TEST，~~~~~NEXT”时，关闭漏孔手动阀，按“翻页”，至检漏仪变为“待机”状态，校准完毕，检漏口压力满格，取下漏孔进行四，检漏。
四、检漏检漏之前确保按步骤进行，1，被检系统（尤其是密封面以及需要进入真空腔的部分）清洁，干净；2，工装（含胶圈，密封面以及工装内部）清洁，干净；3，1，2要求如未达到请清洁到位；4，安装工装，波纹管一端和真空炉专用接口连接，另一端使用手动挡板阀和检漏口连接，并关闭手动阀；当被检系统真空度最好达到50pa以下,5，按“测试”键,检漏仪进入检漏状态，慢慢得开手动阀，使得检漏口压力保持在10 Pa以下。
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氦质谱检漏仪使用说明书
资产编号：型号：ZQJ-542
一、设备组成及工作原理
1、设备组成框图
2、设备工作原理
检漏仪内部组成：氦质谱检漏仪主要由分子泵、质谱室、组合阀体，机械泵以及控制电路板等组成。
检漏仪的工作原理：氦质谱检漏仪是根据质谱仪学原理，用氦气作为搜索气体制成的气密性检测仪器。
ZQJ-542检漏仪采用180度磁偏转质谱室，钨制灯丝发射出来的电子经过加速进入离化室，在离化室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入离化室的氦气互相碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，由于不同质量数（m/e）的离子其偏转半径不同，这样就将不同的离子分离开了。
由于磁场参
数是固定的，只有调节加速压力就可以改变氦离子的偏转半径，使氦离子正好通过隔离板上的窄缝打到放大器入口，这样就使氦离子（m/e=4）与其他离子分开了。
氦离子流正比于容器中氦分压。
因此，对氦离子的测量可以用来确定被检件的漏率。
二、设备工作外部条件
氦质谱检漏仪电源电压220V 频率50HZ 额定功率2000W。
仪器应安装在符合仪器使用的环境要求的场所，特别是仪器的电源插座，应符合要求，要有良好的地线，左右要留有30CM的通风间距。
放置好检漏仪，以避免仪器有倾斜或倾倒的危险。
检漏仪的底部有安装孔，可以将其固定在桌子或支架上。
在仪器运行前要确保真空泵中的机械泵油是否足够，机械泵油必须用专用的针对机械泵型号的油。
三、设备工作外部条件接通操作
氦质谱检漏仪
图1 检漏仪的机械泵有足够的机械泵油；保证机体内分子泵、机械泵、真高空组件各连接顺畅；电源线线路没有破损，有良好的接地。
检漏仪要放平稳，不能倾斜，检漏仪底面要有一层防静电布。
加压罐压氦装置
图2 加压罐压氦装置的外部接通顺序：写出设备外部条件的接通先后顺序，操作方法，具体的参数等。
1、把加压罐、电阻真空计、真空泵、氦气瓶按要求连接。
2、检查加压罐的密封圈是否有损害，加压罐进出阀门是否关闭不了；真空泵是否有足够的泵油，气镇阀旋钮是否处在关闭的位置；氦气瓶减压阀是否漏气现象。
3、确认所有应该注意的事项没有问题之后可以接电源通电。
重氟油粗检
图3
1、查看温度检测线路和加热板线路没有破损。
2、 在油箱中加入适量的重氟油
3、 插上电源线，设定重氟油的温度进行加热处理，打开照明灯。
当温度达到要求即可用来粗检产品。
四、详细操作 启动检漏仪
1、 连接电源插头，打开检漏仪开关。
2、 机械泵开始启动。
3、 面板上的指示灯亮。
4、 液晶屏（LCD ）显示如下信息：
当分子泵达到正常转速（100%）后，LCD 显示：
当灯丝检测、加电完毕后，系统进入待机状态：
如果检漏仪存放一段时间后的启动
如果检漏仪长时间不用后，再次开机会增加一额外的启动时间用来排出系统内的气体。
此时屏幕显示如下图所示：
检漏方法概述
根据被检件和测量精度要求，选择合适的测量方法，如下图4所示
是
是
是
（一）半检漏（喷氦法）的详细步骤：
1、插上电源，打开检漏仪总开关。
等待2到3分钟，当听到一阵风鸣声之后说明检漏仪已完全启动。
2、查看检漏仪装置确保检漏参数未被更改，检漏仪运行正常。
打开检漏仪盲孔，选择合适大小的检漏托盘和密封橡胶板。
用无尘布沾上酒精擦拭下密封孔处，把检漏托盘装在检漏口上，在放密封橡胶板时也要用沾上酒精的无尘布擦拭一遍；然后涂上一层高真空硅脂；最后密封橡胶板对准检漏托盘中间的小孔紧密贴合放在检漏托盘上。
3、如图把组件未封盖面放在检漏孔的正上方处，手指轻轻的按压组件背面。
在组件的四周面用沾有酒精的棉签涂上一层，然后点击检漏按钮进行漏率检测。
等漏率值稳定之后，拿装好氮气的喷枪尽可能的靠近组建前后端子处一个个的进行喷气，这是漏率值都会有相应的变
化。
如果在报废点之内则说明密封性合格，如若有报警声响则说明该点密封性不合格需要返修。
4、组件检完之后再按下检漏按钮当待机按钮灯亮之后即可取下组件。
(二)全检（背压法）
1、由于组件在加压罐和检漏盒中会受到一定的压力冲击，因此要用一张无尘纸包裹住组件以免碰伤和组件内部元件受到冲击。
2、全检是要把产品先放在充满氦气的加压罐中施加绝对压力0.2Mpa 的压力加压4h。
加压罐装置如下图所示：
3、在检漏仪的检漏孔处把检漏盒装好，把组件放入检漏盒中盖好盖板。
进行检漏。
检漏过程中不能揭开盖板。
4、将在检漏仪上检漏合格的组件，还需要经过氟油检漏装置进行进一步的检漏。
主要原因是担心有些组件的漏率合格在检漏仪抽真空时，如果产品有很大的漏孔，会把产品中泄露的氦气也抽走，从而影响检测的结果因此才进行氟油粗检。
氟油粗检的时候通过肉眼观察气泡的泄露情况即可最终判断该组件的漏率是否合格。
5、氟油检漏之后，带上高温手套把组件从氟油中拿出来，冷却。
写出设备的详细操作步骤，列出典型的工艺参数设置；如果需要编制程序，写出简要的编程过程和要领。
1、
2、
…
五、设备工作外部条件关断操作
（一）关闭检漏仪
仪器可以在任何情况关闭，但是建议如果检漏仪长时间不用，需要遵循下面的步骤进行关闭！
1、在检漏口上堵上盲板。
2、按下检漏按钮，使检漏仪处于检漏状态。
3、等到漏率达到最小可检漏率状态。
4、确认放气阀处于手动关闭。
5、按下检漏键停止检漏。
6、关闭检漏开关。
（二）重氟油检漏
关闭照明，加热拔下插头切断电源；当重氟油检漏长期不用时可等油冷却之后重新装入油桶里储存。
（三）加压罐
工作完成后关闭氦气减压阀，并把减压阀两个表中的气体排尽。
六、外部工作条件异常处理
1、气源供应不足时检查气瓶是否用完，还是有泄露情况，及时解决。
2、真空泵不能正常运行，检查泵油其否足够，不足时及时添加。
七、操作安全注意事项
1、产品放入加压罐中加压时，不能直接拆除加压罐。
必须先把加压罐里面的气体排出才能打开。
由于加压罐中压力比空气中的压力大以防造成一定的伤害因此在加压过程中不能让不相干的人员靠近并在加压罐上方贴一个警告标识。
2、氦气减压阀连接气瓶接口处要锁紧不能有松动情况。
以防气体冲击带来伤害。
3、产品半检漏时，按压住的组件不能挪动或者强行扳开。
以防气体冲击带来伤害。
4、在进行重氟油检漏时，产品不能直接放进油箱中，而应把油箱中的托盘拿出，把产品放在其上在慢慢放入油中。
以防止油飞溅烫伤。
八、日常保养及故障处理
设备日常保养：
1、定期检查机械泵的油位，如果不足要及时添加；如果机械泵油
呈棕色、褐色或闻起来有糊味，说明油已经变质。
此时，应放
出泵中油，必要时，先用新油冲洗后，再注入新油。
2、定期清洗或更换机械泵的排气管。
如果发现排气管内积存了很
多油滴，可以将其从仪器内部取下来，然后清洗它，再用热风
吹干或是自然晾干。
（二）常见故障处理。