氦质谱检漏常见问题
氦质谱仪背压检漏方法_概述及解释说明
氦质谱仪背压检漏方法概述及解释说明1. 引言1.1 概述氦质谱仪背压检漏方法是一种常用的无损检测方法，用于检测工业设备及管道系统中可能存在的泄露点。
该方法通过利用氦气的特殊物理性质和气体流动原理，实现对泄漏点进行准确、快速的定位和评估。
背压检漏方法具有非侵入性、高灵敏度和自动化程度高等优势，在工业领域得到了广泛应用。
1.2 文章结构本文将围绕氦质谱仪背压检漏方法展开详细论述，文章结构包括引言、背压检漏方法的原理、背压检漏方法的步骤与实施、背压检漏结果分析与评估以及结论与展望等部分。
首先介绍了本文的概述和目的，然后详细解释了背压检漏方法相关的原理，并探讨其在不同领域中的应用优势。
接下来，阐述了使用该方法进行检测时所需进行的准备工作和步骤，并提供了数据分析与处理方法。
最后，对测试结果进行评估和解读，并分析存在的误差，并提出改进措施。
文章最后总结了本次研究的主要成果，并提出了未来进一步研究的方向。
1.3 目的本文旨在全面概述氦质谱仪背压检漏方法，介绍其原理、优势和应用领域，详细阐述该方法的步骤与实施过程，并提供相关数据分析与处理方法。
同时，通过对实验结果的评估与解读，发现存在的误差并提出改进措施。
通过对氦质谱仪背压检漏方法进行深入研究和分析，期望为工程技术领域中泄漏点检测及预防提供参考和指导，并为后续研究提供基础依据。
2. 背压检漏方法的原理:2.1 氦质谱仪背压检漏原理:氦质谱仪背压检漏是一种常用的方法，该方法基于气体分子的运动特性和质谱检测技术，通过检测目标物体表面的潜在泄漏点来实现泄漏检测。
其原理可以简要概括为以下几个步骤。
首先，将高纯度的氦气作为探测介质注入已密封的被测试系统或设备内部。
由于氦气分子具有很小的尺寸和较高的扩散性能，在目标物体出现泄露时，氦气会从泄漏点逸出到周围环境中。
接下来，使用一个质谱仪进行监测和分析。
质谱仪内部设置了一个称为“零背景样品”的容器，其中充满了监测过程中未受外部干扰影响而得到平衡状态的环境空气样品。
氦质谱检漏仪使用说明
氦质谱检漏仪使用说明(总9页)--本页仅作为文档封面，使用时请直接删除即可----内页可以根据需求调整合适字体及大小--氦质谱检漏仪使用说明书资产编号：型号：ZQJ-542一、设备组成及工作原理1、设备组成框图2、设备工作原理检漏仪内部组成：氦质谱检漏仪主要由分子泵、质谱室、组合阀体，机械泵以及控制电路板等组成。
检漏仪的工作原理：氦质谱检漏仪是根据质谱仪学原理，用氦气作为搜索气体制成的气密性检测仪器。
ZQJ-542检漏仪采用180度磁偏转质谱室，钨制灯丝发射出来的电子经过加速进入离化室，在离化室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入离化室的氦气互相碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，由于不同质量数（m/e）的离子其偏转半径不同，这样就将不同的离子分离开了。
由于磁场参数是固定的，只有调节加速压力就可以改变氦离子的偏转半径，使氦离子正好通过隔离板上的窄缝打到放大器入口，这样就使氦离子（m/e=4）与其他离子分开了。
氦离子流正比于容器中氦分压。
因此，对氦离子的测量可以用来确定被检件的漏率。
二、设备工作外部条件氦质谱检漏仪电源电压220V 频率50HZ 额定功率2000W。
仪器应安装在符合仪器使用的环境要求的场所，特别是仪器的电源插座，应符合要求，要有良好的地线，左右要留有30CM的通风间距。
放置好检漏仪，以避免仪器有倾斜或倾倒的危险。
检漏仪的底部有安装孔，可以将其固定在桌子或支架上。
在仪器运行前要确保真空泵中的机械泵油是否足够，机械泵油必须用专用的针对机械泵型号的油。
三、设备工作外部条件接通操作氦质谱检漏仪图1检漏仪的机械泵有足够的机械泵油；保证机体内分子泵、机械泵、真高空组件各连接顺畅；电源线线路没有破损，有良好的接地。
检漏仪要放平稳，不能倾斜，检漏仪底面要有一层防静电布。
加压罐压氦装置图2加压罐压氦装置的外部接通顺序：写出设备外部条件的接通先后顺序，操作方法，具体的参数等。
氦检设备合理化建议
氦检设备合理化建议
1、正确使用氦气检漏设备，在充入检漏气体前有必要对抽空样品进行预抽空。
如果在填充前没有排空，试件中的空气将被挤压到几何空间的末端，氦气检漏设备中的气体不能进入该部分，因此潜在的检漏孔将仅释放空气，检漏设备不能检测到这些检漏孔。
2、氦气检漏设备的泄漏孔通常很小或很窄。
如果泄漏孔在检漏气体试验前放在水箱中，这些泄漏孔或毛细管会被水堵塞或充满，从而大大影响检漏结果。
3、在填充检漏气体之前，有必要快速测试是否有大的泄漏。
对大泄漏孔的一个简单测试方法是在短时间内抽空样品并观察抽空压力。
如果样品能够保持抽空压力，则表明没有大的泄漏孔，可以填充泄漏检测气体。
4、如果气密检漏仪在运行过程中没有在高压下进行泄漏测试，那么氦气检漏设备就不能检测到一些泄漏孔。
因此，在检漏过程中使用较高的测试压力可以有效地检测实际操作中没有出现的泄漏孔。
5、检漏试验中的可检测泄漏率与检漏气体的背景浓度有很大关系，背景浓度越高，波动越大。
如果泄漏测试后泄漏检测气体排放到泄漏检测区域，背景浓度将在整个工作日持续增加。
此外，在加注或排放过程中，确保没有气体溢出，并定期检查连接件是否有泄漏。
6、如果检漏气体泄漏氦和氢，它将像气球一样飞到检漏区的室
顶，并逐渐漂浮在整个检漏区。
因此，应该为泄漏测试区域提供足够的通风。
由于两种泄漏检测气体都倾向于向上移动，因此建议从底部输入新鲜空气，从顶部向外排放气体。
密封法兰氦质谱检漏技术(1)
书山有路勤为径，学海无涯苦作舟密封法兰氦质谱检漏技术(1)密封法兰是在特殊加工的一对法兰之间安放密封垫圈,通过压紧法兰将密封圈挤压变形,实现密封。
假如法兰密封面或密封圈存在缺陷,或是压紧时未均匀加力,就会造成法兰密封性达不到要求,必须通过检漏控制其密封质量。
1、真空检漏常用方法与存在问题法兰检漏是检测法兰密封面与密封圈的配合是否存在通道型的漏孔或渗漏。
氦质谱检漏是常用的高灵敏度检漏手段,可查找漏孔位置及判断单个漏孔的漏率,其常规方法有吸氦法和喷氦法。
吸氦法是向法兰联结所形成的密闭空间内充氦,用与检漏仪连接的吸枪在法兰外抽吸;喷氦法是用检漏仪对法兰联结而成的密闭空间抽真空,用喷枪在法兰外侧向密封结构喷氦。
若法兰密封结构有漏,氦气将通过与检漏仪相连的吸枪或法兰密封的空间进入检漏系统,进而被检测到。
将泄漏信号与标准漏孔的校准信号进行比对就可求出被检部位的漏率。
对于吸氦法和喷氦法,普通的吸枪或喷枪只能沿法兰边沿移动(假如密封圈上有漏孔,根据气体扩散规律,距漏孔越远氦气浓度越低,因此吸枪离漏孔越远,检漏灵敏度越低(见法兰整体检漏时,通常是在法兰外焊接金属密封罩作为集气罩(也可作氦气罩) ,利用检漏仪对集气罩抽真空,形成检漏真空室,再在法兰内侧充氦,实施检漏。
当法兰较大时,集气罩的焊接质量极难保证、且焊接耗时较长。
为了进一步提高法兰检漏的灵敏度与可靠性,笔者改进设计了法兰检漏专用吸枪和喷枪,并研究了采用充压真空法和氦罩法进行的法兰整体检漏技术。
2、专用吸枪和喷枪的设计2.1、专用吸枪的结构设计与实验专用吸枪包括毛细金属管、接口和保护筒三部分,见专用吸枪的管端为内径小于0. 15 mm , 长150～200 mm 的不锈钢端管,可伸入法兰间隙内,以尽可能地接近密封结构。
航天氦质谱检漏方法
航天氦质谱检漏方法一、啥是航天氦质谱检漏呀。
你知道不？在航天领域啊，有个特别重要的事儿，就是得保证各种航天设备一点儿泄漏都不能有，这时候就用到了氦质谱检漏方法啦。
简单来说呢，它就是利用氦气这种特别的气体，通过一些神奇的仪器和技术，找出那些藏得很深的泄漏点，就像给航天设备来一场超级精密的“体检”一样。
二、氦质谱检漏的基本原理。
这个原理啊，还挺有意思的。
氦气这玩意儿啊，它的分子特别小，就像个超级灵活的小精灵，能钻进那些特别微小的缝隙和孔洞里。
当我们把氦气喷到可能有泄漏的地方时，如果真有漏点，氦气就会顺着漏点跑进去。
然后呢，有个专门的质谱仪，它就像个超级敏感的“鼻子”，能精准地嗅出氦气的存在。
一旦检测到氦气，就说明这儿可能有泄漏啦。
三、具体的操作步骤。
1. 准备工作。
在开始检漏之前啊，得先把要检测的航天设备清理干净，不能有啥灰尘啊、杂质啊这些捣乱的家伙。
然后呢，把设备连接到氦质谱检漏仪上，这就相当于给设备和仪器之间搭了一座“桥梁”，让它们能好好“沟通”。
2. 抽真空。
接下来啊，要对设备进行抽真空处理。
为啥要抽真空呢？这是为了把设备里面原来的空气啊、水汽啊这些都给赶跑，这样等会儿氦气进去了，就更容易被检测到啦。
就好像把房间打扫干净了，新东西放进去就一目了然啦。
3. 喷氦气。
现在就轮到氦气登场啦。
拿着专门的喷氦枪，对着设备可能有泄漏的地方，像喷漆一样均匀地喷上氦气。
这时候啊，眼睛得紧紧盯着检漏仪的显示屏，看看有没有啥动静。
4. 检测和判断。
如果检漏仪检测到了氦气，显示屏上就会有相应的信号显示。
根据信号的强弱啊，就能大概判断出泄漏点的大小和位置啦。
要是信号很强，那说明泄漏点可能比较大，得赶紧找找原因，把这个“漏洞”补上；要是信号比较弱，那可能就是个小小的缝隙，也不能掉以轻心哦。
5. 修复和复查。
四、氦质谱检漏的优点。
这个方法可真是有不少优点呢。
首先啊，它的检测灵敏度超高，哪怕是特别特别小的泄漏点，它都能发现，就像有一双超级厉害的“眼睛”。
氦质谱检漏仪原理及使用方法及相关介绍
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质谱管
质谱管是检漏仪的核心部分，包括离子源、磁铁、 接收极与前置放大器、全离子检测极及管壳 等 部 分。
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粒子受力分析
带电粒子的速度方向若与磁场方向平行，带电 粒子不受洛伦兹力作用，将以入射速度做匀速 直线运动。
带电粒子若垂直进入匀强磁场且只受洛伦兹力 的作用，带电粒子一定做匀速圆周运动，其轨 道平面一定与磁场垂直。由洛伦兹力提供向心 力，即：
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1.喷吹法
该方法是将被检件接在检漏仪的检漏口， 用检漏仪的真空系统对其抽真空并达到真 空衔接与质谱管沟通，然后用喷枪向可疑 的部位喷吹氦气。当有漏孔存在时，氦气 就通过漏孔进入质谱管被检测。
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如图所示：
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2.吸入法
具体操作方法为用专用的吸枪连接在仪器 的检漏口上，要被检测的器件则充入一定 量的氦气（纯氦气或按一定比例混合的 氦—氮混合气体）。在检漏时，让气枪沿 着可疑漏孔处慢慢移动，若被检测器件有 漏孔，氦气自漏孔漏出，被吸枪吸入送至 仪器的质谱管而被检测。
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4.背压法
这种方法在检漏前用专用加压容器向被检 件压入氦气，然后取出被检件，吹去表面 吸附的氦气后放入专用的检漏罐中，再将 检漏罐连接到检漏仪的检漏口上，对检漏 罐抽真空，实施检漏，则通过该漏孔压入 的氦气又释放出来进入检漏罐，最终达到 质谱管。用这种方法测到的漏率也是总漏 率。
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如图所示：
在真空系统容器器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性探查漏孔的位置以便采取措施将漏孔封闭从而使系统容器器件中的真空状态得以维持什么是漏及检漏的标准真空系统容器或器件的器壁因材料本身缺陷或焊缝连接处存在孔洞裂纹或间隙等缺陷外部大气通过这些缺陷进入系统內部致使系统容器或器件达不到预期的真空度
ASM181T氦质谱检漏仪常见故障处理
书山有路勤为径，学海无涯苦作舟
ASM181T 氦质谱检漏仪常见故障处理
1、机械泵故障及处理（1）机械泵不动作。
检查项目有：电源电压是否正常，开关是否打开，绕组是否断路或接地，电机是否过热（泵冷却后是否能启动）。
（2）机械泵声音异常。
检查油位是否合适，油质是否变坏，油温是否＜10 ℃，油雾过滤器的出口有无气体排出（假如无气体排出，更换油雾过滤器）。
2、分子泵故障及处理（1）开机2min 后压力指示灯不亮。
此时分子泵未转动，即分子泵入口压力未到设定值或未检测到压力（通常压力应＜10-3MPa，压力过高分子泵将无法启动）。
因此，主要检查导致压力过高的因素。
检查的项目有：P
（2）分子泵加速指示灯不亮。
CD2 电路板上的保险丝烧断，更换保险丝或检查是否有短路现象。
（3）分子泵故障灯亮。
检查CD2 电路板设置开关是否处于R 位置，此时应该在N 位置。
检查风扇是否停止，假如风扇正常，请和厂家联系。
3、质谱室故障（1）灯丝指示灯不亮。
检查灯丝开关键是否处于关闭位置（再按一下），检查
（2）灯丝指示灯闪烁。
用万用表检查质谱室航空插座1 和5 接线柱是否开路，若开路，更换灯丝；若不开路，检查接线柱6 是否和其他接头导通，消除短路现象.
（3）遥控面板无压力指示。
检查P
（4）当检漏开始时压力不下降。
检查电路板PO318 保险丝是否有问题. （5）检漏口压力＞0.01MPa。
机械泵油失效或P。
氦质谱检漏技术
真空检漏
概述
2
漏的危害性 1破坏真空设备或真空器件的工作真空度 2破坏仪器设备内部的工作压力 3使储存的高压气体或燃料损失 4对器件内部造成污染。 5污染大气环境
3
检漏的根底知识 漏孔大小的最直观的表示方法是： 〔1〕漏孔的几何尺寸 〔2〕单位时间内流过漏孔气体的质量或分子数。 尺寸是难以测量的 气体质量与分子个数也难以直接测量，那么用什么方法来表示漏孔的大小呢？
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抽速S无关，仅仅取决于管道的流导。这时如采用大抽速的泵，实际上是不必要的，只会带来 浪费。
由以上讨论可知，管道的流导C在气体流动现象中有重要作用。
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甲：真空机组中泵抽速的选择配合 在串联使用的各泵之间，不但极限真空要有一定的要求，抽速之间也应有合理的配合，以发挥
每个泵的应有效能。各泵抽速之间的关系，可根据流量恒定关系予以确定。 设S1为主泵的抽速，S2为前置泵的抽速；P1为工作时主泵的进口压强，P2为前置泵的进口压
例如：某只电子管，其内腔容积为0.1L，封离时的压力P0为1*10-7帕，电子管正常工作的
最高压力P1为1*10-3帕，要求器件保存和工作的时间T为50000H。那么，该电子管允许漏
率应为
[Ql]=(1/10)V〔P1-P0〕/T=3.6*10-14帕升/秒
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真空检漏法 真空计检漏法〔目前还有些用户在使用〕 工作原理 它们的读数与气体种类有关，选用适当的气体作为示漏气体，这些真空计就是很好的探测器。
强。那么主泵的抽除量为P1S1。前
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级泵的抽除量为P2S2。在稳定流动时，两者应相等，故有
P1S1=P2S2
S2=P1S1/P2
即前级泵的抽速应等于主泵抽速乘以两泵的工作压强比值P1/P2。因常有P2〉P1，故S2<S1, 即前级泵抽速比主泵抽速为小。例如,设机组工作时扩散泵的压强为10-5托，机械泵为10-2托， 那么
阀门氦质谱检漏
阀门氦质谱检漏阀门氦质谱检漏是一种常见的检漏方式，它利用氦气的低渗透率以及质谱仪的高精度检测能力，可以有效地检测出设备、管道、阀门等的泄漏点。
下面将详细介绍阀门氦质谱检漏的原理、操作步骤及注意事项。
一、原理阀门氦质谱检漏的基本原理是：将氦气注入待检测的设备或管道中，利用阀门控制氦气的进出，通过质谱仪检测氦气的浓度变化，找出泄漏点。
该方法具有以下几个特点：1.高精度：质谱仪可以对氦气的浓度进行精确测量，可以检测出非常微小的泄漏点。
2.快速：使用阀门可以方便地控制氦气的进出，整个检测过程快速而简单。
3.可靠：由于氦气具有低渗透率，可以有效地避免假警报的情况。
二、操作步骤阀门氦质谱检漏的操作步骤如下：1.准备：将质谱仪和氦气瓶连接起来，将质谱仪调节到合适的工作状态。
2.清洁：清洁要检测的设备或管道，确保表面干净无尘。
3.施加氦气：在检测点处用灵活的氦气泵施加氦气。
4.检查：用质谱仪检查氦气的浓度变化，找出泄漏点。
5.标记：标记泄漏点，以便后续维修。
6.修复：对泄漏点进行修复。
7.再次检测：在修复后，再次进行氦质谱检漏，确保设备完全没有泄漏。
三、注意事项在进行阀门氦质谱检漏时应注意以下几个方面：1.注意安全：氦气是一种有毒无色气体，应注意防护措施。
2.正确定位：要在待测试的设备或管道上恰当位置注入氦气。
3.清洁设备：检查前应将设备或管道清洁，以避免误测。
4.确保气密性：在测试前应检查所有管路阀门并确保气密性。
5.注意精度：质谱仪对氦气浓度的测量精度很高，需要对仪器进行定期校准。
6.按要求进行修复：对发现的泄漏点应及时予以修复，并再次进行检查。
四、总结阀门氦质谱检漏是一种常见的检漏方式，具有高精度、快速、可靠等特点。
在操作时应注意安全，确保操作流程的正确性，遵循注意事项，并对设备进行定期维护和校准，以保障检测的准确性和有效性。
凝汽器氦质谱仪检漏
凝汽器氦质谱仪检漏
首先，凝汽器氦质谱仪检漏的原理是基于氦气的低分子量和高
扩散性质。
当氦气被注入真空系统后，即使是微小的泄漏也会导致
氦气从系统中逸出。
然后，使用质谱仪来检测系统外的氦气浓度，
通过分析质谱仪的数据可以确定系统是否存在泄漏以及泄漏的位置
和程度。
其次，凝汽器氦质谱仪检漏方法的步骤包括准备氦气源、连接
氦气源到待检测的真空系统、注入一定量的氦气到系统中、启动质
谱仪进行氦气检测并记录数据、分析数据以确定泄漏情况。
此外，凝汽器氦质谱仪检漏方法的优点包括对微小泄漏的高灵
敏度和准确性、对不同类型的材料和结构的适用性较强、操作相对
简便快捷。
然而，也需要注意到该方法可能受到环境氦气的干扰，
需要在实验条件下进行准确的数据分析和判断。
总的来说，凝汽器氦质谱仪检漏是一种常用的真空系统泄漏检
测方法，通过利用氦气的特性来进行检测，具有高灵敏度和准确性，但在实际操作中需要注意环境因素对实验结果的影响。
希望这些信
息能够帮助到你对凝汽器氦质谱仪检漏的理解。
氦质谱检漏仪操作规程
氦质谱检漏仪操作规程氦质谱检漏仪操作规程一、检漏仪的常见故障及解决方法1. 漏气检测灵敏度低：检查氦气输送管道是否有泄漏，检查检漏仪保护罩是否安装正确，调整检漏仪探头的距离和角度。
2. 漏气检测结果不准确：检查检漏仪背景读数，并进行零点校准，检查漏气点的位置和状态，并使用带有氦气充装的喷嘴重新检测。
3. 检漏仪电源不工作：检查电源插头是否正确插入，检查电池是否安装正确并充电。
二、检漏仪的基本操作步骤1. 准备工作：将漏气检测仪连接到氦气供应系统，并将氦气气瓶连接到检漏仪上。
确保电源正常工作并充电。
2. 打开电源：按下电源按钮，检漏仪将开始初始化并显示相关信息。
3. 调节检测灵敏度：根据需要，通过调节检漏仪的灵敏度按钮来调整检测灵敏度。
通常，灵敏度越高，检测结果越准确，但也容易产生误报。
4. 零点校准：在开始检测之前，需要进行零点校准。
将检漏仪放在一个无气体泄漏的环境中，按下零点校准按钮进行校准。
5. 检测漏气点：将检漏仪探头靠近怀疑泄漏的部位，检测仪将开始收集氦气并进行分析。
过程中需要保持探头和被检测区域的距离适当，通常为5-10厘米。
6. 分析检测结果：检漏仪将显示漏气点的读数，并根据设定的报警值发出警报。
如果不确定结果，可以反复检测或调整探头位置。
7. 关闭电源：检测结束后，按下电源按钮关闭检漏仪，并将氦气源关闭。
三、检漏仪的安全使用注意事项1. 禁止将氦气直接吸入：氦气是惰性气体，但高浓度的氦气对人体有害。
在操作时应注意不要将氦气直接吸入，尽量避免长时间暴露在氦气环境中。
2. 避免氦气泄漏：在连接氦气供应系统时，要确保连接处紧固，避免氦气泄漏。
在检测过程中，检漏仪背景读数应为零，否则可能存在氦气泄漏，需要重新检查连接处。
3. 防止电源故障：在使用检漏仪时，应定期检查电源插头和电池的状态，确保电源正常工作。
在使用过程中，尽量避免电源过载或短路等故障。
4. 妥善保管和维护：使用完毕后，应将检漏仪存放在干燥、通风的地方，避免受潮或暴露在高温环境中。
最新整理氦检漏卤素检漏知识讲解
一、氦检漏TSG R0004-2009 《固定式压力容器安全技术监察规程》规定，对于介质毒性程度为极度、高度危害或者设计上不允许有微量泄漏的压力容器，应当进行泄漏试验。
因此，泄漏检测已经成为该类压力容器普遍使用的无损检测方法之一。
氦质谱泄漏检测技术具有检漏灵敏度高、可靠性好、对漏孔既能定位又能定量等优点，从而在压力容器泄漏检测中得到了广泛的应用。
氦质谱检漏按照检测过程中氦气的流向，可分为正压检漏（氦气流出被检容器）和真空检漏（氦气流进被检容器）两种情况。
１.正压检漏氦质谱正压检漏通过在被检容器中充入一定压力的空气和氦气的混合气体，然后在容器压力较低的外侧采用一定的方式检测泄漏的氦气，从而达到对容器局部或整体、定位或定量的检漏目的。
常见的氦质谱正压检漏方法主要有吸枪直测法和氦罩积累法。
（1）吸枪直测法吸枪直测法是指用吸枪在大气中从压力容器被检部位直接获得示漏氦气，从而对压力容器进行检漏的一种氦泄漏检测方法。
吸枪直测法检漏示意图见下图。
１．氦质谱检漏仪２．吸枪３．被检容器４．氦气瓶该法为一种定性、定位检测技术，用以探测泄漏并确定其位置，检测灵敏度可达10－7Pa·m３/s。
扫查距离、速度以及不同操作人员对吸枪直测法的检测灵敏度均有一定程度的影响。
吸枪直测法一般用于容器焊缝、密封面等部位的泄漏检测，也可用于整体检漏后漏孔的定位。
（2）氦罩积累法如果被检容器的泄漏率很小，用吸枪直测法难以检测到泄漏时，则需采用氦罩积累法进行检漏。
相对于吸枪直测法的定性检测而言，氦罩积累法通过一定的积累时间，可以实现被检容器的定量微漏检测。
氦罩积累法可以对被检容器的局部或整体进行泄漏检测。
如果容器较小，用氦罩将其整个罩住，就可以对容器整体泄漏情况进行检测。
但对于焊缝、密封面较多的容器，则无法同时实现漏孔的定位。
若容器较大而且结构复杂，则需用多个小氦罩将被检部位罩住，这样既可以实现容器整体泄漏情况的检测，还可以对具体的泄漏位置以及泄漏率进行判定。
氦质谱检漏仪的检漏方法
氦质谱检漏仪的检漏方法氦质谱检漏仪的检漏方法氦质谱检漏仪是一种高精度的检漏设备，可以检测出微小的漏孔和缺陷。
下面是氦质谱检漏仪的几种常见检漏方法：1.吸枪法吸枪法是一种常用的检漏方法，它通过将吸枪放置在待检测部位，利用氦气在漏孔处产生的气流吸引，将漏气吸入质谱室进行分析。
吸枪法的优点是操作简单、灵敏度高，适用于检测表面上的小漏孔。
但是，对于一些深孔或内部缺陷，吸枪法可能无法检测到。
2.喷吹法喷吹法是通过将氦气或氮气等气体以一定的压力和流量喷向待检测部位，从而发现漏孔的方法。
喷吹法的优点是可以检测到深孔或内部缺陷，并且对于一些小漏孔也有较好的检测效果。
但是，喷吹法的灵敏度相对较低，需要较高的气体压力和流量，可能会对被检测部件造成一定损伤。
3.真空法真空法是通过将被检测部件放置在真空环境中，然后向其内部充入一定量的氦气或氮气等气体，再通过检测部件内部气体压力的变化来判断是否存在漏孔的方法。
真空法的优点是可以检测到微小的漏孔，并且不会对被检测部件造成损伤。
但是，真空法的操作比较复杂，需要较高的技术水平和设备投入。
4.压力法压力法是通过将被检测部件放置在一定压力的氦气或氮气等气体环境中，然后通过观察部件表面是否有气体泄漏来判断是否存在漏孔的方法。
压力法的优点是可以检测到较大的漏孔，并且操作简单、灵敏度高。
但是，压力法可能会对被检测部件造成一定损伤，需要小心操作。
5.粘滞液体法粘滞液体法是通过将粘滞液体（如硅油）涂抹在被检测部件表面，然后在一定压力的氦气或氮气等气体环境中观察是否有气泡产生来判断是否存在漏孔的方法。
粘滞液体法的优点是可以检测到微小的漏孔，并且不会对被检测部件造成损伤。
但是，粘滞液体法的操作比较复杂，需要小心操作避免产生假阳性结果。
干法腐蚀氦漏和温度常见问题分析
工作小结设备在运行时会有一些故障发生，对于故障的原因分析和处理方法是值得想的问题。
一、氦漏氦漏是常见的问题，氦气在工艺中的作用是使产品的温度保持与ESC一致，若发生氦漏，则产品的温度将不受控制，泄露的氦气还改变反应腔体的环境，造成压力和气体离子的浓度变化，影响速率和均匀性。
现在对氦漏发生的原因总结和分析。
1.ESC表面沾污2.片子背面沾污m4520 压痕偏移4.TCP9600 ESC电压故障5.ESC本身的问题6.传送偏移7.Chamber Lifter UP/Down 太快验证过程和分析1）氦漏看一下当前氦漏值，若略大于设定值则结束菜单，传出当前片，观察是否背面沾污，看下一片是否氦漏，若不氦漏可以继续工艺。
2）若氦漏，停止工艺，传出所有片子，用胶片反沾ESC，看一下胶片上是否有生成物。
再跑一片Season观察，所season片正常，可继续工艺3）对于Lam4520不是靠ESC静电吸附片子，而是靠clamp压在下电极上，跑一片SiO2片子看一下压痕是否偏移，若压痕偏移则导致片子没有被完全压在ESC上，调节ELL ARM Rotion&Extion chamber参数使压痕正常，再跑season看氦漏是否正常，若正常可继续工艺。
4）若不正常，可观察chamber Lifter UP/Down 速度，速度太快会导致在传送过程中片子位置偏移。
5）对于Tcp9600 若ESC表面的膜和ESC边缘被刻蚀掉会导致氦漏，开腔观察ESC表面是否有白点和边缘是否异常。
若有异常则更换ESC。
6）TCP9600 ESC电源要打到OFFset 档，在加背氦是测量ESC电压是否异常，若异常，观察ESC电源线是否松脱。
可拆下ESC电源检查几个端口电阻是否正常。
7）开腔校准传输。
检查ELL ARM螺丝是否松动。
二、二、CHILLER 异常Chiller是控制上电极和下电极温度的装置，在工艺菜单中设定的值对速率的影响至关重要。
压力容器氦质谱检漏法介绍
被检件漏孔检漏方法介绍压力容器氦质谱检漏法介绍一、概述检漏的目的是确定被检件漏孔的位置和漏率，这些目的是通过采用一些标准的检漏方法实现的。
采用什么方法要视被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。
根据不同的检漏目的，基本上有吸入法、喷吹法、背压法、真空箱法等几种常用检漏方法：1、吸入法——确定漏孔位置又称吸枪检漏，如图1-5，将专用吸枪联接在仪器检漏口上，被检件则充入规定压力的氦气（纯氦气或一定比例含氦的混合气）。
检漏时，让吸枪沿可疑漏孔处慢慢移动，若被检件有漏孔，氦气自漏孔漏出，被吸枪吸入送至仪器的质谱管而被检测。
吸入法检漏灵敏度相对喷吹法要低，但是其检漏口真空主要是由吸枪流量决定的，所以不受被检件容积的限制，适合检测大的容器。
2、喷吹法——确定漏孔位置该方法是将被检件接在检漏仪的检漏口，用仪器的真空系统对其抽真空并达到真空衔接与质谱管沟通，然后用喷枪向可疑漏孔喷吹氦气。
当有漏孔存在时，氦气就通过漏孔进入质谱管被检测。
下图是喷吹法原理示意图。
喷吹法检漏的灵敏度高，质谱管不吸枪检漏仪装有氦气的压力容器装有氦气的压力容器喷枪被检件漏孔检漏仪易受污染，但是检大容器时可能有真空抽不下来的情况，可能要加辅助真空设备。
3、 背压法——测总漏率电子元器件进行气密性检测时常用背压法。
检漏前用专用加压容器向被检件压入氦气（由压力和时间控制压入的量），然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入专用检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。
若器件有漏，则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐，最终到达质谱管。
用这种方法测得的漏率也是总漏率。
图1－7为背压法检漏示意图。
4、 真空箱法真空箱法是一种比较复杂的方法。
检漏时先将工件如上图放入真空箱中，关闭V1、V2，打开V3使用真空箱预抽系统对真空箱抽真空，如果可以在规定时间内抽到规定的真空度，说明被检工件没有大漏，反之有大漏则需要将工件拿下来检大漏。
常见的四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测标准
常见的四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测标准氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。
当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。
在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对氦泄漏量。
根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同，可以将氦质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法，下面分别总结了这四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。
真空法氦质谱检漏采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。
按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。
其中真空喷吹法采用喷枪的方式向被检产品外表面喷吹氦气，可以实现漏孔的精确定位; 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的氦气，可以实现被检产品总漏率的测量。
真空法的优点是检测灵敏度高，可以精确定位，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。
真空法的缺点是只能实现一个大气压差的漏率检测，不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态。
真空法的检测标准主要有QJ3123-2000《氦质谱真空检漏方法》、GB /T15823-2009《氦泄漏检验》，主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。
正压法氦质谱检漏采用正压法检漏时，需对被检产品内部密封室充入高于一个大气压力的氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通孔漏孔进入被检外表面的周围大气环境中，再采用吸枪的方式检测被检产品周围大气环境中的氦气浓度增量，从而实现被检产品泄漏测量。
氦质谱检漏仪的检漏方法
主要的优点 总漏率检测，可靠 相对而言成本较低
He
被测 件
He
ASM 142
总漏率检测：背压式检漏
第一步 : 将被测件放置于一个充氦
的腔内
第二步 : 将被测件放于通风处（去 1
除表面累积的氦，以防影响之后的检
He
测精度
第三步 : 将被测件放置于一个与吸
枪探头相连的腔内
主要的优点
2
总漏率检测
(2)以1atm的纯氦作为示漏气体
(3)动态检漏时所能检出的最小漏孔的漏率 (指:检漏时不用累积法;仪器本身的真空系统仍在抽气;仪 器反应时间小于1秒).
*
低灵敏度
氦检漏仪的灵敏度
一个容积为 1 升的自行车轮胎如果在24小时内气就漏光的话 漏率为 3,5.10-2 mbar.l/s = 每秒有3 个 半径 2 mm 的气泡
ks 10-7
aks
10-3
« big » leaks
气泡法检漏
压降法检漏
氦质谱检漏仪检漏
将被测件抽真空 用喷枪对被测件表面喷氦 检测进入被测件的氦流量
主要的优点 非常高的灵敏度 比较便宜
逐步区域检漏：喷氦式检漏
He
He
被测 件
ASM 142
逐步区域检漏：吸枪式检漏
对被测件内部进行充氦 用吸枪在被测件表面缓慢移动，采样逃逸的氦气
优点 :
• 到达可以检漏的压力所需时间 (+ +) • 灵敏度 (+) • 响应时间 (+ +) • 恢复时间 (++)
优点 :
• 到达可以检漏的压力所需时间 (+ +) • 灵敏度 (+) • 响应时间 (+ +) • 恢复时间 (++)
金属波纹管氦质谱检漏方法探究
金属波纹管氦质谱检漏方法探究一、金属波纹管氦质谱检漏方法探究的背景咱都知道啊，在很多工业领域，金属波纹管那可是相当重要的部件呢。
比如说在一些管道系统里，它得保证密封性良好，要是密封不好，那可就会出大问题啦。
像在一些有特殊气体或者液体传输的地方，一旦泄漏，不仅会造成资源浪费，还可能引发安全事故呢。
而氦质谱检漏方法，就是检测这种泄漏的一种很厉害的手段。
不过呢，金属波纹管有它自己的特点，和其他的一些检测对象不太一样，所以探究专门针对金属波纹管的氦质谱检漏方法就很有必要啦。
二、氦质谱检漏方法的基本原理氦质谱检漏仪啊，它主要是利用氦气的一些特性来工作的。
氦气特别轻，而且在空气中的含量非常低。
当我们把含有氦气的混合气体或者纯氦气喷到可能泄漏的地方时，如果有泄漏，氦气就会进入到检测系统里面。
氦质谱检漏仪能够非常灵敏地检测到氦气的存在。
它里面有个质谱分析器，这个东西可神奇了，它能把不同质量的气体分开，然后专门找到氦气的信号，这样就能知道有没有泄漏啦。
三、金属波纹管的特点对检漏的影响金属波纹管是那种有褶皱的形状，这就使得它的表面不像普通的直管那么平整。
在检漏的时候呢，氦气可能会在褶皱里有一些特殊的流动情况。
比如说，可能会有一些小的漩涡或者滞留的情况。
而且金属波纹管的材料也有很多种，不同的材料可能对氦气的吸附或者渗透情况也不一样。
这些都会影响到检漏的准确性呢。
四、具体的金属波纹管氦质谱检漏方法1. 准备工作要先把金属波纹管清理干净，不能有灰尘或者油污啥的，因为这些东西可能会干扰氦气的检测。
就像我们要在一张干净的纸上画画一样，得把表面弄干净才能进行下一步。
然后要连接好氦质谱检漏仪，确保仪器的各个接口都是密封良好的，不然氦气从仪器接口漏了，那就测不准了。
2. 检测过程可以采用喷氦法，就是拿着装有氦气的喷枪，从金属波纹管的一端开始，慢慢沿着波纹管移动，均匀地喷洒氦气。
同时呢，看着氦质谱检漏仪的显示屏，看看有没有氦气信号的突然增加。
针对质谱仪检漏产品漏气现象描述
针对质谱仪检漏产品漏气现象描述各位小伙伴们！今天咱来唠唠质谱仪检漏时碰到的那些让人头疼又有点哭笑不得的产品漏气现象。
这事儿啊，就像家里的水龙头时不时漏点水一样，让人挺闹心的，但又得想法子解决。
有些漏气现象呢，是因为密封垫的问题。
这密封垫啊，就像是守护气体的小卫士。
可要是这小卫士状态不好，比如老化了、磨损了，那它就没办法好好站岗了。
气体就会瞅准这个机会，大摇大摆地跑出来。
这就好比一个站岗的士兵睡着了，敌人当然就能轻易地突破防线啦。
而且啊，这密封垫的问题有时候还不太容易发现，得仔细检查，就像找藏在草丛里的小虫子一样，得瞪大了眼睛看。
还有一种情况也挺有意思的。
就是那些连接的部位，有时候因为安装的时候没那么完美，就会留下一些小小的缝隙。
这些缝隙啊，就像一些隐秘的小道，气体就顺着这些小道偷偷溜走了。
想象一下，这气体就像一群调皮的孩子，发现了一条没人注意的小路，就欢欢喜喜地跑出去玩耍啦。
而且这种漏气可能一开始不太明显，就像水龙头刚开始只是一滴一滴地漏水，不注意还真发现不了。
但时间长了，积累起来那可就影响大了。
另外，产品本身要是有一些小瑕疵，比如有一些微小的孔洞，那也会漏气。
这就好比一个有漏洞的水桶，不管你怎么装水，它总会漏出来一些。
这些小瑕疵有时候很难察觉，得用一些特殊的方法才能找到它们。
就像找宝藏一样，需要一些特别的工具和技巧。
当发现产品漏气的时候啊，那感觉就像家里进了小偷，得赶紧找出问题所在，把这个“小偷”抓住。
我们得像侦探一样，仔细地排查每一个可能的地方，不能放过任何一个线索。
有时候可能要反复检查好几遍，就像给房子做全面体检一样，确保没有任何遗漏。
只有把漏气的问题解决了，质谱仪才能正常工作，给我们提供准确的数据，就像一个健康的小卫士，好好地为我们服务啦。
这质谱仪检漏时产品漏气的现象啊，虽然有点麻烦，但只要我们细心一点，像对待调皮的孩子一样有耐心，总能找到解决的办法，让我们的实验或者工作顺利进行下去。
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一、为什么用氦气作为示踪气体？其他气体可以吗？
答：（1）在空气中含量低(只有5 ppm)，环境本底低
（2）惰性气体不易燃，不易爆对环境没有污染，不与其他物质反应，可以混合到任意浓度
（3）无毒，可以用在食品工业
（4）在质谱仪谱图中易于与其他物质区分
（5）比空气轻，运动速度快
（6）气体分子很小，可以穿过微小的泄漏孔
（7）其它气体也可以
二、喷氦检漏的注意事项。
答：
（1）被测系统应尽量清洁，干燥，无油
（2）如果测量条件发生变化（温度），需要重新对检漏仪做内部较准（3）氦气比空气轻，喷氦法检漏应注意方向
（4）尽量不要使用密封脂（油脂会大量吸附氦气）
（5）不要向环境释放大量氦气
（6）真实的漏率信号应当是快速上升的信号，相对缓慢下降的信号三、漏率（leak rate）
在已知漏泄处两侧压差的情况下，单位时间内流过漏泄处的给定温度的干燥气体量。
注：采用国际单位制时，漏率单位为：Pa•m3/s。