扫描电镜表面形貌观察

实验：扫描电镜表面形貌观察
一、实验目的：
1．了解扫描电子显微镜的基本工作原理，学习扫描电子显微镜的参数设置和操作方法；
2．能够对断口表面形貌的电镜照片进行分析，研究断裂类型。

二、实验设备及仪器：
FEI Inspect S50型扫描电子显微镜。

三、实验材料：
实验所用为5CrNiMo钢冲击断口试样。

四、实验步骤及注意事项：
扫描电子显微镜（SEM）是目前常见的用于表面形貌的分析技术。

具有高的分辨率，现代先进的扫描电镜的分辨率已经达到1纳米左右；有较高的放大倍数，20-20万倍之间连续可调；有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；试样制备简单；配有X射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织性貌的观察和微区成分分析。

将试样粘贴到双面导电胶带上，放入样品仓，抽真空，加高压，电镜进入工作状态。

通过计算机进行样品台的移动，改变放大倍数、聚焦、象散的调整，直到获得满意的图像，进行拍照。

将所有样品的磨痕形貌都拍好电镜照片后，关高压，放气，从样品仓中取出样品。

五、实验结果
5CrNiMo钢冲击断口形貌扫描电镜照片
从图中可以明显看出断口存在许多韧窝，此冲击断口为韧性断裂。