异质结制备方法
合集下载
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。
异质结制备方法
1.分子束外延法:利用高能分子束在晶体表面上沉积材料,形成异质结。
2. 金属有机气相沉积法:利用金属有机化合物在高温下分解,产生金属原子和有机分子,形成异质结。
3. 溅射法:利用离子束轰击靶材,使其表面材料剥离,沉积在另一材料表面上,形成异质结。
4. 分离子束外延法:利用分离子束在晶体表面上沉积材料,形成异质结。
5. 气相淀积法:利用化学反应在气相中生成材料,然后将其沉积在另一材料表面上,形成异质结。
以上方法各有优劣,可以根据实际需要选择最适合的方法进行制备。
异质结在光电子学、半导体器件等领域有着重要应用。
- 1 -。