B1500A 半导体器件分析仪主机
使用是德科技 B1500A 半导体器件分析仪 MFCMU 和 SCUU 进行 IV 和 CV 测量
图 1. 机械手连接的基本电缆配置
延长 电缆
剩余电感是一个 固定值
延长 电缆
3T 配置
不同的电缆布设 会产生不同的剩余 电感。
即使您把电 缆移到被 测器件处，剩余电感
也 不会改 变，仍能 提 供 稳定和 精确的测量
ir
结果。
面积
屏蔽 2T 配置的剩余电感是固定的，因为保 护屏蔽中流过的感应电流与中心导体中流过 的电流大小相同而方向相反。这一感应电流 有助于屏蔽测量电流产生的磁通量，使剩余 电 缆电 感 保 持 一 个 较小的固定值。反 之，3 T 配置中没有形成返回电流路径。这种配置中 的剩余电感取决于电缆的随机布设状态。由 于电缆的布设不受控制，因此难以保持剩余 电感为稳定的固定量值。测试环境的振动也 会改变测量电缆的剩余电感，造成其不稳定 的量值。人们很难补偿 3T 配置中测量电缆 的剩余电感。这有时也被称作“返回路径问 题”，如果 3T 配置中电缆末端的保护屏蔽 不能 短 路 在一起，就 会产 生 这一问题。您可 按照图 2 所示的方法连接保护屏蔽来解决 这一问题。
SMU 1 SMU 2 电路公共端
三轴电缆
机械手 施压 保护端
三轴 连接器
机械手 施压
保护端
三轴 外部屏蔽
图 5 是一个与精确 CV 测量略有不同的测量 装置。使用 4TP-屏蔽 2T 转换之后的电缆路 径看起来类似于 IV 测量装置，但有两个重要 区别。第一，IV 测量装置中使用的是三轴电 缆，而 CV 测量装置中则使用同轴电缆。第 二，测量电缆与 CV 测量装置中的机械手探 针之间有一条保护连接线，而在 IV 测量装置 中没有这条保护连接线。
使用 Keysight B1500A MFCMU
和 SCUU 进行 IV 和 CV 测量
半导体参数分析仪技术参数
半导体参数分析仪技术参数
一、设备名称：半导体参数分析仪
二、采购数量：1台
三、技术参数及配置要求：
1. 半导体参数分析仪主机具有可扩展能力，可用插槽数目：不小于8个；
2. 具有4路SMU模块，可测量IV特性；其中2路中功率SMU模块输出能力：10mA@100V, 10mA@50V, 10mA@30V, 100mA@10V，其中2路高功率SMU模块输出能力：50mA@200V, 100mA@100V, 100mA@40V, 1A@20V, 1A@2V，SMU模块最小测量分辨率为：电流 50fA，电压 0.5uV；
3. 具有1路电容测量模块，电容测试模块测试频率范围：1kHz至5MHz，电容测试精度（1pF,1MHz）±1.2%；电容测量扫描方式：C-V（直流偏置），C-f(测试频率)；
4. 提供用于TO，DIP封装器件的测试夹具；
5. 仪表内置Window7操作系统，带触摸式显示屏
6. 提供专用的测试软件对仪表进行控制和提取测试数据，具有曲线追踪功能，便于观察器件击穿和饱和情况；
四、安装、售后及培训：
1、交货期：合同正式生效后45天内到货。
2、质保期：自验收之日起，仪器设备至少免费保修三年。
保修期内维修上门取货送货；
3、包含该设备运输，上楼搬运。
仪器安装、验收：专业工程师提供免费的安装调试，并按照出厂指标验收。
4、培训：免费提供该仪器设备培训；提供本设备全套操作教学视频。
五、注意事项：
招标现场提供相关证据，证明能达到的功能和参数。
1。
半导体器件分析仪 (B1500A)
技术概述B1500A 半导体器件分析仪加快基本的电流-电压（IV ）和电容-电压（CV ）测量 以及业界领先的超快速 IV 器件表征脉冲 IV 测量（IV ）和电容-电压（CV ）表征到快速、精准的脉冲 IV 测试的全方位测量。
此外，B1500A 的 10 槽模块化体系结构使您可以添加或升级测量模块，适应不断变化的测量需求。
综合解决方案满足您的 所有器件表征需求B1500A 半导体器件分析仪将多种测量和分析功能整合到一台仪器中，可精确快速地进行器件表征。
它是目前唯一能够提供广泛的器件表征功能以及出色测量可靠性和可重复性的多功能参数分析仪。
它能够执行从基本的电流 - 电压Keysight EasyEXPERT group+ 软件是 B1500A 自带的 GUI 界面软件，可在 B1500A 的嵌入式 Windows 10 平台上运行，支持高效和可重复的器件表征。
B1500A 拥有几百种即时可用的测量（应用测试），为测试执行和分析提供了直观和功能强大的操作环境。
它可以帮助工程师对器件、材料、半导体、有源/无源元器件或几乎任何其他类型的电子器件进行精确和快速的电子表征和 测试。
关键特性优势精密电压和电流测量（0.5 µV 和 0.1 fA 分辨率）–低电压和小电流的精确表征。
用于多频率（1 kHz 至 5 MHz ）电容测量（CV 、C-f 和 C-t ）与电流/电压（IV ）测量 切换的高精度和低成本解决方案。
–无需重新连接电缆即可在 CV 和 IV 测量之间进行切换– 保持出色的小电流测量分辨率（使用 SCUU 时最小为 1 fA ，使用 ASU 时最小为 0.1 fA ）– 为被测器件提供完整的 CV 补偿输出超快速 IV 测量，100 ns 脉冲和 5 ns 采样率–捕获传统测试仪器无法精确测量的超快速瞬态现象超过 300 种应用测试即时可用–缩短从学习仪器使用、进行测量到熟练操作仪器所需的时间包含示波器视图的曲线追踪仪模式–交互式地开发测试，并即时查看器件特征–无需使用任何其他设备便可对电流和电压脉冲进行验证（MCSMU 提供示波器视图）功能强大的数据分析和稳定可靠的数据管理–自动分析测量数据，无需使用外部 PC– 自动存储测量数据和测试条件，日后快速调用此信息让所有人都变成器件表征专家EasyEXPERT group+ 使器件 表征变得像 1、2、3 计算一样简单B1500A 的 EasyEXPERT group+ 软件包括 300 多种可以即时使用的应用测试，您只需简单的 3 步便可进行测量。
安捷伦仪器使用说明书中文
Alpha安捷伦B1500A半导体器件分析仪用户！ˉ的GUID安捷伦科技公司声明？安捷伦科技公司2005年，2006年，2007年，2008本手册的任何部分不得转载任何形式或通过任何手段（包括电子电子存储和检索或翻译成外国语言）事先同意MENT和安捷伦的书面同意作为由美国科技公司在美国和国际版权法。
手册部件号B1500-90000版2005年7月第1版，第2版，2005年12月2006年4月第3版第4版，2007年1月2007年6月5日，版第6版，2007年11月2008年10月7日，版安捷伦科技公司5301史蒂文斯溪大道95051美国加利福尼亚州圣克拉拉保证本文档中所含的物质是提供MENT！°为是，±，是苏如有更改，恕不另行通知，在以后的版本。
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Amprobe AM-500-EUR 数字多功能电测仪系列说明书
Announcing the Amprobe AM-500-EUR Digital Multimeter Series, a full line of digital multimeters that offer functions for every application. These tough meters are designed to be a reliable, feature-rich, and rugged solution for taking critical measurements in residential, HVAC, electrical and industrial www.Amprobe.euAM-510-EUR, AM-520-EUR, AM-530-EUR, AM-540-EURAM-510-EURAM-530-EUR AM-520-EUR AM-540-EURAM-550-EURAM-510-EUR AM-520-EUR AM-530-EUR AM-540-EUR AM-550-EURCAT III 600V CAT III 600VCAT II 1000V CAT III 600VCAT II 1000VCAT IV 600VCAT III 1000V ■7507501000 100010001000 101010 101010 404060■■■■■■■■■Amprobe ®info@ Everett, WA 98203Tel: 877-AMPROBE (267-7623)Amprobe ® Europe In den Engematten 14, 79286 Glottertal, Germany Tel.: +49 (0) 7684 8009 - 0For detailed specifications and ordering info go to www.amprobe.eu4148103 A©2012 Amprobe Test Tools. All rights reserved.www.Amprobe.euModelAM-510-EUR AM-520-EUR AM-530-EUR AM-540-EUR AM-550-EURGeneral Specifications Display3999 Digits3999 Digits3999 Digits5999 Digits5999 DigitsMeasurement ranges AC voltage 1 mV...600V 1 mV...750V 1 mV...750V 1 mV...1000 V 1 mV...1000 V Basic accuracy *± (1.0 % rgd. + 3 digits)± (1.0 % rgd. + 3 digits)± (1.0 % rgd. + 3 digits)± (1.0 % rgd. + 3 digits)± (1.0 % rgd. + 3 digits)Frequency range 45 Hz...400 Hz 45 Hz...400 Hz 45 Hz...400 Hz 45 Hz...1 kHz 45 Hz...1 kHz DC voltage 1 mV...600V 0.1 mV...1000 V 0.1 mV...1000 V 0.1 mV...1000 V 0.1 mV...1000 V Basic accuracy *± (0.8 % rgd. + 1 digits)± (0.8 % rgd. + 1 digits)± (0.8 % rgd. + 1 digits)± (0.5 % rgd. + 2 digits)± (0.5 % rgd. + 2 digits)Input resistance 10 M Ω10 M Ω10 M Ω10 M Ω10 M ΩCurrent AC 0.1 μA...10A 0.1 μA...10A 0.1 μA...10A 0.1 μA...10A 0.1 μA...10A Basic accuracy *± (1.2 % rgd. + 2 digits)± (1.2 % rgd. + 2 digits)± (1.2 % rgd. + 2 digits)± (1.2 % rgd. + 2 digits)± (1.2 % rgd. + 2 digits)Frequency range 45 Hz...400 Hz 45 Hz...400 Hz 45 Hz...400 Hz 45 Hz...1 kHz 45 Hz...1 kHz Current DC 0.1 μA...10A 0.1 μA...10A 0.1 μA...10A 0.1 μA...10A 0.1 μA...10A Basic accuracy *± (1.0 % rgd + 2 digits)± (1.0 % rgd + 2 digits)± (1.0 % rgd + 2 digits)± (1.0 % rgd + 2 digits)± (1.0 % rgd + 2 digits)Resistance 0.1 Ω...40 M Ω0.1 Ω...40 M Ω0.1 Ω...40 M Ω0.1 Ω…60 M Ω0.1 Ω…60 M ΩBasic accuracy *± (1.2 % rgd. + 2 digits)± (1.2 % rgd. + 2 digits)± (1.2 % rgd. + 2 digits)± (1.2 % rgd. + 2 digits)± (1.2 % rgd. + 2 digits)Continuity R < 10 ΩR < 10 ΩR < 10 ΩR < 10 ΩR < 10 ΩCapacitance 10 pF ...100.0 μF 10 pF ...4000 μF 10 pF ...4000 μF 60.00 nF ...60 mF 60.00 nF ...60 mF Basic accuracy *± (3 % rgd. + 5 digits)± (3 % rgd. + 5 digits)± (3 % rgd. + 5 digits)± (3 % rgd. + 5 digits)± (3 % rgd. + 5 digits)Frequenz 1,00 Hz...10 MHz 1,00 Hz...10 MHz 1,00 Hz...10 MHz 1,00 Hz...60 MHz 1,00 Hz...60 MHz Basic accuracy *± (0.1 % rgd. + 4 digits)± (0.1 % rgd. + 4 digits)± (0.1 % rgd. + 4 digits)± (0.1 % rgd. + 3 digits)± (0.1 % rgd. + 3 digits)Temperature --40...1000 °C -40...1000 °C -40...1000 °C -40...1000 °C Basic accuracy *-± (1.0 % rgd. + 8 digits)± (1.0 % rgd. + 8 digits)± (1.0 % rgd. + 8 digits)± (1.0 % rgd. + 8 digits)Measurement category CAT III / 600VCAT III / 600V,CAT II / 1000VCAT III / 600V,CAT II / 1000VCAT III / 600V,CAT II / 1000VCAT III / 600V,CAT II / 1000VPollution degree 2Safety EN 61010, IEC 61010Power supply 9 V (6F22)Dimensions 182 x 90 x 45 mm Weightapprox. 354 g (incl. battery)Scope of supply2 x test leads, 1 x 9 V battery, 1 x user manual 2 x test leads, 1 x temperature probe, 1 x strap, 1 x 9 V battery, 1 x user manual 2 x test leads,1 x temperature probe,1 x strap, 1 x 9 V battery,1 x user manual2 x test leads, 2 x temperature probe, 1 x temperature adaptor 1 x strap, 1 x 9 V battery, 1 x user manual 2 x test leads,2 x temperature probe,1 x temperature adaptor1 x strap, 1 x 9 V battery,1 x user manual* Basic accuracy refers to the best accuracy in the respective functionOrder numberDescriptionAM-510-EUR Digital Multimeter AM-520-EUR Digital Multimeter AM-530-EUR Digital Multimeter TRMS AM-540-EUR Digital Multimeter AM-550-EURDigital Multimeter TRMStEchnicAl dAtA AM-500-EUR sERiEsoRdER infoRMAtion。
IGZO薄膜晶体管的制备及其光电特性的研究
科学技术创新2021.10编号 短路电流(A)开路电压(V)效率(%) 填充因子(%)Ａ 0.272 2.712 28.45 84.39 Ｂ0.2732.72129.1885.70表2样品电性能参数3结论采用了两种国产光刻胶进行了工艺优化实验，观测分析了两种光刻胶的表面、截面特性，证明两种光刻胶均可以优化到较好的显影图形。
光刻图形进一步制备了金属栅线，并进行了牢固度实验，发现A 光刻胶制备的电池栅线发生了脱落现象，而B 光刻胶制备的电池栅线未发生脱落。
证明B 光刻胶的可靠性比A 光刻胶要好。
通过电致发光实验，我们发现A 电池表面存在阴影，而B 电池表面不存在阴影。
这说明A 电池发生电极脱落现象的原因是栅线与太阳电池基体未形成良好的接触。
进一步的电性能测试发现，A 电池的串联电阻比B 电池更大，验证了我们的分析。
综合分析得知，B 光刻胶工艺优于A 光刻胶工艺，更适合用于空间用太阳电池的栅线制备。
参考文献[1]铁剑锐,李晓东,孙希鹏.高效超薄空间用三结砷化镓太阳电池研制[J].电源技术,2018,42(08):86-88.[2]陈光红,于映,罗仲梓等.AZ5214E 反转光刻胶的性能研究及其在剥离工艺中的应用[J].功能材料,2005(03):113-115+122.[3]李雯,谭智敏,薛昕,等.紫外线厚胶光刻技术研究及应用[J].微纳电子技术,2003(08):151-153.IGZO 薄膜晶体管的制备及其光电特性的研究刘璐高晓红孟冰付钰孙玉轩王森刘羽飞胡顶旺(吉林建筑大学电气与计算机学院,吉林长春130000)众所周知，薄膜晶体管（TFT ）在平板显示（FPDs ）领域充当着重要的角色，尤其是有源矩阵液晶显示器件（AMLCD ）和有源矩阵有机发光二极管显示器件（AMOLED ）中[1]。
TFT 作为一种重要的开关器件，其性能的高低在很大程度上受到其半导体沟道层的影响。
与其它沟道层材料相比，氧化物沟道层可以在较低的工艺温度实现更均匀更平整的薄膜、更高的迁移率和更低的开启电压。
B1505A 功率器件分析仪 - 精确和高效地表征 (是德科技))
应用指南精确和高效地表征3000 V/20 A 功率器件B1505A 功率器件分析仪/曲线追踪仪引言提高能效和降低碳排放量是半导体行业目前面临的两大要求，因此对功率器件进行精确表征变得越来越重要。
工程师们在不断改进半导体器件结构和制造工艺的同时，为了支持更高的电压并实现更低的导通电阻，还围绕碳化硅（SiC）、氮化镓（GaN）和氧化镓（Ga2O3）等新型宽带隙（WBG）半导体材料展开了大量研究。
为此，他们需要一种能够同时处理高电压和大电流的测量仪器。
过去，工程师们通常使用曲线追踪仪来表征功率器件，但是这种仪器的电压和电流测量精度比较低，在进行小电流测量时分辨率也无法令人满意。
像 Keysight B1500A 这样的参数分析仪虽然具有非常好的电压和电流测量精度，但其电压和电流量程却不适合用于评测功率器件。
为了解决这些问题，是德科技推出了 B1505A 功率器件分析仪/曲线追踪仪。
它具有出色的电压和电流测量精度以及小电流测量分辨率，支持高电压和大电流测量，是一款简单易用的综合解决方案。
B1505A 配有新型 HVSMU（高电压源表模块）和 HCSMU（大电流源表模块），两者可分别输出最高 3000 V 电压和最高 20 A 电流。
B1505A 还支持 MFCMU（多频率电容测量单元），可以在 1 kHz 至 5 MHz 频率范围内进行电容测量。
此外，B1505A 还支持偏置 T 型接头，该接头与 HVSMU 配合使用，可以在最高 3000 V 的直流偏置下进行电容测量。
B1500A 和 B1505A 均自带 Keysight EasyEXPERT 软件，使您能够通过图形用户界面（GUI）便捷地控制所有这些测量资源。
EasyEXPERT 具有十分出色的自动分析、图形显示和数据处理能力，是这个功率器件表征和分析综合解决方案的重要组成部分。
使用 EasyEXPERT，您再也无需自行开发控制软件，也无需在定制的机架和堆叠系统中配备多台仪器。
半导体测试设备简介介绍
产业链协同发展
半导体测试设备与半导体产业链密切相关 ，随着整个产业链的协同发展，半导体测
试设备也将迎来更大的发展空间。
市场需求驱动发展
随着半导体市场的不断扩大，半导体测试 设备的需求也将不断增加，进一步推动其 发展。
国际化趋势
随着全球化的加速发展，半导体测试设备 也将逐渐走向国际化，与全球市场接轨， 为全球半导体产业提供更优质的服务。
测试流程
操作人员将待测芯片放置在探针台上，通过探针卡与测试主 机连接，然后运行测试程序，对芯片进行性能和功能测试。 测试完成后，测试结果会显示在显示模块上，操作人员可以 根据结果判断芯片是否合格。
04
半导体测试设备的选型与使用 注意事项
选型原则与依据
测试需求
根据产品特性、生产流程和测试要求，选择 适合的测试设备。
作用
通过对半导体器件进行测试，可 以确保其性能和质量符合设计要 求，为半导体产业的发展提供有 力支持。
半导体测试设备的重要性
确保产品质量
半导体测试设备能够准确检测半 导体器件的性能参数，及时发现 并处理潜在的问题，确保产品的
质量和可靠性。
提高生产效率
通过自动化测试和数据分析，半导 体测试设备可以大幅提高生产效率 ，降低生产成本。
推动产业发展
半导体测试设备在半导体产业的发 展中具有重要地位，为新产品的研 发、生产和应用提供了有力支持。
半导体测试设备的发展趋势
智能化
随着人工智能、机器学习等技术的发 展，半导体测试设备将越来越智能化 ，实现更高效、更精准的测试和分析 。
模块化与集成化
为了满足不同应用场景的需求，半导 体测试设备将更加模块化和集成化， 便于用户根据实际需求进行定制和扩 展。
B1500A 半导体器件分析仪主机
B1500A 半导体器件分析仪主机/EasyEXPERT 软件主要特性与技术指标测量功能•在fA - 1 A / µV - 200 V 范围内执行精确的电流-电压（IV）测量，支持点测量、扫描测量、采样和脉冲测量•在1 kHz 至5 MHz 频率范围内执行交流电容测量，支持准静态电容-电压（QS-CV）测量•先进的脉冲IV 测量和超快IV 测量，最低采样间隔为5 ns（200 MSa/s）•高达40 V 的高压脉势，适用于非易失存储器测试•测量模块可升级至10 插槽配置工作环境（包含EasyEXPERT）•EasyEXPERT 软件（链接至EasyEXPERT）在嵌入式Windows 7 中运行•数百种测量程序库在需要时即可使用（应用测试）•15 英寸触摸屏支持您在器件表征时采取直观的操作、分析与探测•自动数据记录功能支持测试数据和测试条件的恢复，可使您轻松地进行探测•利用曲线追踪（旋钮操作）和自动记录特性来实现实时交互表征•利用便捷的在线/离线测试环境完成测试开发与分析（台式EasyEXPERT），从而最大限度地发挥仪器效用•描述Agilent B1500A 半导体器件分析仪是一款用于器件表征的综合解决方案。
它支持IV、CV、脉冲IV 及快速IV 测量，可对器件、材料、半导体、有源/无源元件以及任意电气器件进行各种电气表征和评测。
模块化结构可使您根据测试需求随时把仪器升级到10 插槽配置。
嵌入式Windows 7 和功能强大的EasyEXPERT 软件借助先进的图形用户界面（GUI），可让您执行高效、数据可恢复的器件表征。
Agilent B1500A 是唯一一款能够适应多种测量需要的参数分析仪，具备极高的测量可靠性和易于使用的测试环境，可实现高效、数据可恢复的器件表征。
Agilent EasyEXPERT 是一款基于图形用户界面的必备软件，在B1500A 嵌入式Windows®7 中运行。
用带纳米探针的 B1500A 半导体器进行失效分析
是德科技用带纳米探针的 Keysight B1500A 进行失效分析应用指南引言目前，能探测极窄线宽的纳米探针技术取得了许多进展，从而能表征集成电路内单个器件的电气特性。
这篇应用指南介绍如何用 B1500A 半导体器件分析仪进行这类测量，我们通过 SRAM 失效分析说明这项技术。
常规存储器失效分析是用逻辑测试仪探测有失效的比特位，然后用扫描电子显微镜 (SEM) 和透射电子显微镜 (TEM) 进行实际观察和判断造成失效的成因。
但 SEM 和 TEM 都属破坏性的测试，您只能在若干可能失效位置中观看其中一个点。
这就大大限制了用户定位失效具体成因的能力。
此外，对于非常小的残留物或异常掺杂密度造成的电性失效，也难以采用传统的物理观察技术来发现，因此需要增加一些其它类型的电气测试。
常规器件电气测试方案需要把器件放在带探针测试点的 TEG (测试元件组) 中，而这一 TEG 则通常放在晶圆片上芯片间的切割道中。
显然，这种方法不能在实际芯片内的失效位置上进行电气表征。
图 1. 是德科技 B1500A 半导体器件分析仪目前，利用扫描探针显微镜(SPM) 技术的纳米探测已能使用压电致动器达到纳米级 (9-10 nm) 的探测水平。
这篇应用指南将为您介绍一种新的失效分析技术，这项技术使用一种流行纳米探针，来自日立高科技公司制作的 N-6000 精细结构器件表征系统，以及 B1500A 半导体器件分析仪。
N-6000 可以直接接触集成电路内的器件，从而有助于弥补物理和电气失效分析技术之间的差异。
纳米探针解决了许多问题，但也带来一些新的挑战通过选择适当的预处理技术，就可以用纳米探针测量失效器件中的单个晶体管和连线，它们就如同是标准 TEG 中的被测器件(见图 2)。
这是一个革命性的飞跃；但纳米探针也带来与其自身相关的挑战，由于存在热膨胀和压电致动器的“滑动”，因此难以在长时间内保持良好的电气接触。
B1500A 半导体器件分析仪有能力应对这些挑战，在建立了良好的电气接触后，B1500A 的 EasyEXPERT 软件能在短时间内快速运行一项或多项应用测试。
全面的 CMOS 可靠性测试解决方案-是德科技 B1500A
应用指南CMOS可靠性测试全面解决方案Keysight B1500A 半导体器件分析仪引言随着CMOS 器件的尺寸不断缩小，电场强度和电流密度也相应增加，导致器件的使用寿命受到很大影响。
因此，为了保证集成电路(IC)的使用寿命，测试CMOS 器件的可靠性问题变得至关重要，这些问题包括栅极和层间电介质性能的下降、热载流子效应、偏压温度不稳定以及互连开路和短路等。
Keysight B1500A 半导体器件分析仪是新一代半导体参数分析仪，具有评测先进CMOS LSI （大规模集成）电路可靠性所需要的测量能力。
此外，B1500A 中的EasyEXPERT 控制软件标配了即用型测量程序库，涵盖了所有常见的CMOS 可靠性测试。
本应用指南概括介绍了B1500A 的关键测量功能，并解释了B1500A 何以成为验证CMOS工艺可靠性的全面解决方案。
全面的先进测量功能B1500A 配备10个模块插槽，可选用多种源表模块(SMU)以及其他先进的模块，因此能够满足CMOS 工艺可靠性测试的绝大多数测量要求。
下图汇总了可用的B1500A 模块。
图 1.测量模块的灵活配置10 插槽主机多频电容测量单元(MFCMU)中等功率SMU (MPSMU)高分辨率 SMU (HRSMU)大功率SMU (HPSMU)波形发生器 快速测量单元 (WGFMU)高电压半导体脉冲发生器单元(HV-SPGU)接地单元(GNDU)中等功率 SMU (MPSMU)MPSMU是一款通用型SMU，拥有中等的电压和电流输出能力以及适中的测量分辨率。
MPSMU的最大输出电压为±100 V，最大输出电流为±100 mA。
MPSMU的最小电流测量分辨率为10 fA，最小电压测量分辨率为0.5 μV。
高分辨率 SMU (HRSMU)HRSMU是为需要极其精密的测量而设计的，例如栅极泄漏、断态泄漏和亚阈值电流测量。
HRSMU的最小电流测量分辨率为1 fA（MPSMU 为 10 fA）。
Aglient 1500
3
在支持多用户的环境中快速启用
EasyEXPERT 使参数测试就 像数 1-2-3 那样容易。
选择一个或 多个测量类型
从数据库中 选择所需的
应用测试
点击或按下 Measure 按钮
自动生成实时的图表和数据列表
创新的面向任务的参数测试 方法
EasyEXPERT 实现从原有和同 类参数测试仪的转型。使您能把精力 集中于进行高效率的参数测量，而不 必成为一名仪器硬件专家。
4
省力的测试序列化和自动测试
快速测试使您无需编程就可实现测试序列化。快速测试还能联合内 置的半自动晶圆探针台驱动程序，实现整片晶圆的自动测试，以及 通过数据输出特性自动将测试数据保存到任何可用的存储装置中。
快速测试实现简便快捷的 测试序列化
EasyEXPERT 有基于 GUI 的快 速测试模式，无需编程就可实现测试 的序列化。您要做的仅只是选择现有 的“My Favorite Setup”。然后只需 单击几下鼠标，即可选择、复制、重 新排列、剪切和粘贴任何应用测试或 经典模式测试。在选择和排序测试 后，只要点击测量按钮，即可开始运 行自动测试序列。
(WGFMU) 单元双通道模块把 ALWG 电压脉冲能力与超快速 IV 测量集于 一体。该模块覆盖的应用包括脉冲 IV 测量，先进 NBTI/PBTI 测量，RTS 噪 声测量，MEMS 电容器特性表征，新 型非易失性存储器特性表征，以及其 它各种类型的瞬态或时域测量。为满 足 SOI 和高 k 栅极介电体晶体管表征 的更快脉冲要求，B1542A 脉冲 IV 选 件提供 10 ns 的脉冲 IV 能力。
测量, 添加和 重复功能
内置半自动晶圆探针台 驱动程序
对 B2200A, B2201A 和 E5250A 的集成开关 矩阵控制
集成电路综合自动测试系统硬件平台设计
分系统$测试头 内 所 有 的 硬 件 资 源 汇 集 到 -/A 接 口 板& 通 过接口板完成与被测芯片的测试接入适配功能% ?AC! 配 电 监 控 分 系 统
配电单元)外部供电分成两路&一路用于液冷单元供 电&另一路接入 稳 压 配 电 单 元& 进 行 稳 压 和 9W+-W 转 换& 分别用于显控分系统*测试头等供电$
测试与故障诊断
计 算 机 测 量 与 控 制 !"#"$!$%!&"! !"#$%&'( )'*+%('#',& - !",&(".!
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集成电路综合自动测试系统硬件平台设计
杭州通兴电子1500NM外调制光发射机 说明书
1550nm外调制光发射机产品概述：1.细分化的规格，能满足不同网络的要求，有单路输出和双路输出，输出光功率范围为3dBm~10dBm，给用户提供了很大的选择性。
2.采用低噪声原装进口DFB激光器作为光源，采用高线性LiNbO3外调制器作信号调制。
3.优越的预失真电路设计，在达到高标准的CNR值时，仍有完美的CTB和CSO 表现值。
4.优越的SBS抑制电路，13、16、18可调的SBS阈值，能满足不同的网络需求。
5.自动增益AGC控制，使不同的RF输入电平仍能保持稳定的信号输出。
6.内置双电源，自动切换。
7.全自动机箱温度控制。
8.VFD显示，具有激光器监控、数字显示、故障告警、网络管理等多种功能；一旦激光器的工作参数偏离软件设定的允许范围，将提示告警。
9.配备RS-232标准接口，用户可以任意更改面板显示的型号及规格、也可进行计算机的本地网络管理及监控。
10.配备RJ45标准接口，支持SNMP、用于计算机的远程网络管理及AGC、SBS、OMI等参数的调整。
产品系列：OLT1550-1×5 （一路输出≥5dBm） OLT1550-2×6（二路输出≥6dBm）OLT1550-1×6 （一路输出≥6dBm） OLT1550-2×7（二路输出≥7dBm）OLT1550-1×7 （一路输出≥7dBm） OLT1550-2×8（二路输出≥8dBm）OLT1550-1×9 （一路输出≥9dBm） OLT1550-2×9（二路输出≥9dBm）OLT1550-2×5 （二路输出≥5dBm） OLT1550-2×10 （二路输出≥10dBm）订货指南：OL T 1550 - □ × □□┯ ┯ ┯ ┯ ┯│ │ │ │ ││ │ │ │ ┕┄┄┄表示输出光功率(3～10dBm) │ │ │ ││ │ │ ││ │ │ ┕┄┄┄表示输出路数： 1表示一路输出 │ │ │ 2表示二路输出 │ │ ┕┄┄┄┄┄┄┄┄表示波长:1550nm│ ┕┄┄┄┄┄┄┄┄┄┄┄┄┄产品代号：T表示光发射机 ┕┄┄┄┄┄┄┄┄┄┄┄┄┄┄本公司光设备代号原理图：主要技术指标：项目参数 备 注激光波长 （nm） 1550±10 激光器类型 DFB 光调制方式 外调制输出功率 （dBm） 2×7可选1×5、1×6、1×7、1×9、 1×9、2×5、2×6、2×7、2×8、2×9、2×10 光调制深度3%±0.25光反射损耗 （dB） ≥60光 学 参 数光纤连接器FC／APC 可选SC／APC工作带宽 （MHz） 45-862 输入电平（dB µV） 80±5 AGC 平坦度 （dB） ≤±0.75 45~862MHz 反射损耗 （dB） ＞16 45~862MHz射 频 参 数 输入阻抗 （Ω） 75 传输频道PAL-D/98chCNR （dB） ≥52 CTB （dB） ≥65 CSO （dB） ≥65链 路 性 能 SBS 抑制 （dBm） ≥16.0 13、16、18可选网管接口RJ45，RS232供电方式 （V） 90～265VAC 可选-48VDC功耗 （W） ≤50一 般 性 能工作温度 （℃） -20～85 全自动机箱温度控制工作相对温度20%～85%尺 寸 （″） 19″×11″×1.75″483（W）x381（L）x44（H）重量（Kg）5.0操作指南：一、前面板操作 前面板指示说明1.激光器钥匙开关 OFF 表示关，ON 表示开2.LED 状态指示⑴ Laser 表示激光器工作状态 ⑵ RF 表示射频输入状态⑶ Temp 表示工作温度 ⑷ Power 表示电源状态3.VFD 显示各种参数、提示告警4.SELECT 设定工作状态及参数5. 按钮 上、下选择按钮6. AGC 此灯亮表示当前处于AGC控制状态7.MGC 此灯亮表示当前处于MGC控制状态8.OMI 当设备处于MGC时，可调整OMI值，当设备处于AGC状态时，OMI值只能微调。
Keysight B1500A半导体器件简化配置流程说明书
¨ B1500A-015 for 1.5m ¨ B1500A-030 for 3.0m
¨ B1500A-A01 Standard
package (4 MPSMUs + cables)
¨ B1500A-A02 High
resolution package (4 HRSMUs + cables)
¨ B1500A-A03 High power
– B1500A, B1500A-015 – B1500A-A00 – B1500A-A17 2ea. – B1500A-A5F
This information is subject to change without notice. © Keysight Technologies, 2010 – 2014, 2016 Published in USA, February 25, 2016 5990-5837EN
Table 2. Other accessories
Resource B1542A N1301A N1301A-100 N1301A-102 N1301A-110 B1542A
Description Ultra short pulsed IV package CMU accessories for B1500A SCUU (SMU CMU Unify Unit) SCUU cable (3m) SCUU magnetic stand Ultra short pulsed IV package
3 Please contact your local Keysight office to find out which WGFMU add-on package fits to your requirements. The complete contact list is available at /find/contactus
Athlete FA Corporation 半导体装配设备和装置设计文档说明书
BGA-CSP Systems are cutting-edge surface mount equip-SolidWorks EuropePhone: +33-(0)4-42-15-03-85Email:*************************Corporate HeadquartersDassault Systèmes SolidWorks Corporation 300 Baker AvenueConcord, MA 01742 USA Phone: +1-978-371-5011Email:*******************Japan Headquarters SolidWorks JapanTekko Building No. 1, 3F1-8-2 Marunouchi Chiyoda-Ku,Tokyo 100-0005 Japan Phone : +81-3-6270-8700Email:******************.jphttp://www.athlete-fa.co.jp/Gaining a competitive edge through tolerance optimization and verification using TolAnalyst The managing director of Planer Ltd., Mr. Hiroshi Kuriyama, worked for 25 years in design and development at Seiko Epson Inc. before establishing Planer in 2001. Mr . Kuriyama is currently a visiting professor at Nagano Technical College and a part-time lecturer in engineering at Shin-shu University. A keen supporter of Athlete FA’s enterprises, Mr . Kuriyama explains the relevance of tolerance analysis in the design process:“For the majority of manufactured goods, it is only after the design specifications and costing of the finished article have been decided - that is, only after the end goal is determined - that the creation of detailed designs begins. As products become increasingly miniaturised and multi-functional, so the demands placed on each of their individual components continually increase. If tolerance settings are tight, there is a corresponding jump in costs and it becomes difficult to meet delivery deadlines. So, in order to reach the end goal, that is the finished product, it is essential to achieve a balance through optimal tolerance design. Of course, without tolerance design it is impossible to maintain the quality of the end product.”In the past, tolerance design was considered to be tacit knowledge in the manufacturing indus-try, and as such was communicated from designer to designer on the job. However, due to a generational change in engineers and developments in the design environment, recently this method of knowledge transfer has become increasingly difficult. There are now overwhelming numbers of young designers across all sectors of the industry who do not know tolerance design theory. So, in collaboration with Planer, Athlete FA provided not only introductory and intermedi-ate SolidWorks seminars for their design engineers but also training for all employees in the basic principles of tolerance design.Having implemented the SolidWorks tolerance analysis tool, TolAnalyst, innovative activities such as comparing and verifying the results of manually calculated analysis are being tested. Through such activities the company aims to utilize the SolidWorks design tools to maximum effect.The Challenge: Athlete FA provided a 2-day lecture course in the fundamentals of tolerance design to all employees, including design engineers. Successful tolerance design has significant impact on cost, quality and time to market. Therefore, in addition to becoming profi-cient in using SolidWorks, design engi-neers need to be able to design product functionality itself that incorporates assembly and tolerance. A pioneering example in the equipment manufacturing industry, Athlete FA is proactively verify-ing the analytical results of tolerance optimization obtained by manual calcula-tion and those obtained using the Solid-Works TolAnalyst.The Solution: In the design section at Athlete FA there is one SolidWorks seat per engineer. Thanks to a comprehensive training program for all employees and the creation of a standard operation manual covering features, modelling and assembly, the skill level of all engineers is consistent. To make full use of the benefits of a transition to 3D, a set of standard design guidelines was estab-lished on the basis of detailed consulta-tions at the time of introducing Solid-Works. All Athlete FA products are now designed using SolidWorks.A 3D model of the Micro Ball Mounter BM-1100W created in SolidWorksA drawing of th e main unit of th e CSP-capable BGA Ball Mounting System BA-1500PP sketched by Athlete FA design engineers (to give a simple example). There are 39 tolerance factors in total, 19 dimensional and 20 geometrical tolerance factors. Using tolerance design th e possibilities for optimizing tolerance distribution (cost reduction) and eliminating th e need to readjust tolerance have widened.Analytical results produced by TolAnalyst (first section only shown here). Calculating tolerance in mainly height directions would take approximately half a day to calculate manually but is completed in around 20-30 minutes with TolAnalyst.Athlete FA CorporationHeadquarters: 2970-1 Shiga, Suwa City, Nagano, JapanEstablished: March 1, 1988Business outline: Factory Automation Engineering- Development, design and marketing of a range of high-precision mount-ing and assembly systems for vari-ous industrial applications including office automation equipment, semi-conductors, electronic components, automobiles, and communications devices.- Design, manufacture and marketing of automation equipment.。
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B1500A 半导体器件分析仪主机/EasyEXPERT 软件
主要特性与技术指标
测量功能
∙在0.1 fA - 1 A / 0.5 µV - 200 V 范围内执行精确的电流-电压（IV）测量，支持点测量、扫描测量、采样和脉冲测量
∙在1 kHz 至5 MHz 频率范围内执行交流电容测量，支持准静态电容-电压（QS-CV）测量
∙先进的脉冲IV 测量和超快IV 测量，最低采样间隔为5 ns（200 MSa/s）
∙高达40 V 的高压脉势，适用于非易失存储器测试
∙测量模块可升级至10 插槽配置
工作环境（包含EasyEXPERT）
∙EasyEXPERT 软件（链接至EasyEXPERT）在嵌入式Windows 7 中运行
∙数百种测量程序库在需要时即可使用（应用测试）
∙15 英寸触摸屏支持您在器件表征时采取直观的操作、分析与探测
∙自动数据记录功能支持测试数据和测试条件的恢复，可使您轻松地进行探测
∙利用曲线追踪（旋钮操作）和自动记录特性来实现实时交互表征
∙利用便捷的在线/离线测试环境完成测试开发与分析（台式EasyEXPERT），从而最大限度地发挥仪器效用
描述
Agilent B1500A 半导体器件分析仪是一款用于器件表征的综合解决方案。
它支持IV、CV、脉冲IV 及快速IV 测量，可对器件、材料、半导体、有源/无源元件以及任意电气器件进行各种电气表征和评测。
模块化结构可使您根据测试需求随时把仪器升级到10 插槽配置。
嵌入式Windows 7 和功能强大的EasyEXPERT 软件借助先进的图形用户界面（GUI），可让您执行高效、数据可恢复的器件表征。
Agilent B1500A 是唯一一款能够适应多种测量需要的参数分析仪，具备极高的测量可靠性和易于使用的测试环境，可实现高效、数据可恢复的器件表征。
Agilent EasyEXPERT 是一款基于图形用户界面的必备软件，在B1500A 嵌入式Windows®7 中运行。
它支持所有类型的参数测试，从基本的IV 和CV 扫描到超快速IV 和脉冲IV 测量等等。
数百种即用型程序库（应用测试）可使您非常轻松地立即开始进行复杂测量。
仪器的全部操作通过15 英寸触摸屏、简单的键盘和鼠标操作来实现。
EasyEXPERT 软件还提供高效测试环境，支持您在器件表征时采取直观的操作、分析与探测。
测试条件和测量数据可以自动保存到工作区内，使您毫不费力地完成器件表征。
EasyEXPERT 主要特性：
∙支持所有类型的参数测试，从基本的IV 和CV 扫描到超快速IV 和脉冲IV 测量等等
∙数百种测量程序库在需要时即可使用（应用测试）
∙个性化工作区和测试数据自动记录特性便于您进行器件探测，无需考虑数据文件管理∙适用于数据分析和记录的图形显示/分析/打印功能
∙利用曲线追踪（旋钮操作）和自动记录特性来实现实时交互表征
∙借助Quick Test 工具，无需编程即可排列测试顺序
∙EasyEXPERT 典型测试模式提供Agilent 4155/4156 参数分析仪的外面、风格和术语∙导入/导出器件定义、测量设置、常用设置、测量数据和应用程序库
∙基于GUI 的开关矩阵控制面板
∙自测、自校准、故障诊断
即用型应用程序库
EasyEXPERT 的出众功能。