无尘室基本结构与管理

最大之发尘源-----工作人员
操作者身上发生尘埃的因素
1.发尘的三大因素: A.泄漏发尘:从衣服的开口部泄漏出来的空气中存有
的尘埃 B.渗透发尘:从穿过衣服布料的空气中含有的尘埃 C.材料发尘:衣服中各种材料本身产生的尘埃 T.总发尘量:A+B+C
从操作者身上产生的尘埃分为以上三个因素。 防尘服的最终机能是，综合平衡各因素将起源于操 作者的微粒子污染(总发尘量)减少到最小限度。 内衣为全棉衣裤的场合，总发尘量中的发尘量比例 顺序是泄漏发尘、渗透发尘、材料发尘。也就是说 要抑制总发尘量，必须从抑制泄漏发尘着手、必须 从衣服的结构相关的素材和降低内衣裤的尘埃量着 手是非常重要的。
3.正确地穿着防尘服
(1)穿着清洁的防尘服，不穿有破损或脏的防尘服。 (2)防尘服必须合体，头和帽子间不能有间隙，且脖子上的扣子必须扣紧。 (3)穿衣、脱衣时，在可能的情况下，尽量不接触地板、墙壁、他人。 (4)袖口、袜子的松紧带若松弛了，需更新。(松繄带为防尘服专用) (5)袜子底部很容易破损，不能等到破损时才换，而是在它变薄时就要更新。 (6)有关防尘服的穿著顺序依各制造厂的需要而定。
注意事项
(1)抹布不能使用在各工场所规定的范围外的场所及东西。 (2)无尘抹布购入时有一定数量包装在一起，开封时一定要在无尘室内进行
。 (3)无尘抹布有一定的寿命，所以要规定使用期限，定期交换。 (4)无尘抹布每次清洗后，不可以过度拧干，以免产生尘屑造成二次污染。 (5)无尘抹布清洗后在干燥时会产生灰尘，要注意晾干场所。 (6)无尘抹布依各项清扫目的及用途，需要确实的分类存放且不可混用。
纸类的使用
防尘室内所使用的纸张、文具用品，因考虑其发尘性，所以必须作一定的规定管制
(最佳的方法是用无尘纸，但是无尘纸并非绝对无尘)
注意事项
(1)普通用纸须经复褙后方可带入防尘室。 (2)铅笔类文具严禁带入。 (3)无尘纸并非绝对无尘，使用方法及量要作适度规范。 (4)防尘室内所有纸张类(流程卡、工程标示、记录窗体)一定要使用无尘纸。 (5)包括无尘纸以外物品，如非经常性使用，不要放置在防尘室。 (6)无尘室内严禁撕纸、揉纸的动作。
无尘室日常 管理
(圖五)
防尘服
1.
为了无尘作业，而使用不产生灰尘的材料作防尘服，并且这种防尘服可以阻止里面灰尘外泄。 通常由帽子、工作服、袜套组成。穿上鞋子、带上口罩、手套在防尘室内工作。
2.穿着干净的防尘服
(1)防尘服要定期洗涤。(1回/周) (2)一般制服不能与防尘服挂在同一衣架上，以免污染防尘服。 (3)因为工作中而弄脏了的防尘服，须立即更换。 (4)看见他人穿着脏或破损防尘服，须提醒他换掉
注意事项
(1)防尘室内严禁换穿手套，必须于进入防尘室前完成。 (2)防尘手套配戴时，指尖不能有间隙，且与手脕粗细稳合并将防尘手套覆盖在袖口上。 (3)作业中防尘手套有下列情况时须立即更新。 a.作业中破损时 b.进行清扫作业后 c.进行药液及各项材料调配后 d.进行处理破裂玻璃
后 e.铺设地板之黏着脚踏垫后 f.使用胶带后 g.有接触到油污时 h.有接触到较未经常清扫的处所
辦 公 室 (工作中)
2.000.000 ~ 4.000.000
工
業
區
4.000.000 ~10.000.000
正 吸 煙 的 會 議 室 6.000.000 ~10.000.000
净化房内的污染
1.净化房内的尘埃发生源 净化房内的尘埃主要来源于，(1)主、副原料、(2)机械装置、(3)环境、（4)操作者
胶带
一般胶带的内筒由普通纸制成，因而是发尘源，有必要加以注意。另外胶带的黏着剂也
是一个问题，它会透过作业人员的手套污染其它东西且扩散，所以必须加以管制。
注意事项
(1)尽量不使用胶带，不必要的地方不贴。 (2)新品种类胶带使用前，需要进行评价后，决定是否使用。 (3)使用胶带后，手套必须进行清洗或交换。 (4)胶带剥落后，要对残胶进行清除。 (5)将防尘室内各处所贴的无用胶带清除干净。 (6)防尘室内之胶带存量管制于最低量。 (7)通常不使用的胶带保管于防尘室外。 (8)受热的地方尽量不使用胶带。 (9)有可能接触产品及手套常接触的地方不使用胶带。 (10)装置、架具、工具之驱动部分不使用胶带。
注意事项 (1)进入吹气室前需再次检查一下防尘服是否正确地穿好。 (2)在更衣室内设置能照出全身的镜子。 (3)吹气室定期进行清扫(1回/日)。 (4)吹气室内的吹气口位置不能随便移动。 (5)吹气室内的吹气时间最少15秒以上。 (6)吹气室内的吹气不能超出指定人数。 (7)吹气室内之黏着脚垫每日定期更换1~3次。
(4) 一般室内之尘埃
10μm以上之粒子约占15%，10μm以下之微粒子约占85%。
炭尘约占50%?，砂尘约占40%，纤维与其它约占10%。
(5wk.baidu.com 浓度单位:个/立方英呎 或 个/立方公尺。
1立方英呎约等于28公升。
1立方公尺约等于1000公升。
地點 表 1-1 大气尘埃之浓度
表1-2 自然界之尘埃浓度
清扫
在防尘化的过程中，清扫是维持清净度的一个重要手段。防尘室内纵向的清净度分布，
越靠近地板清净度越差，亦即室内灰尘是下沉的，很容易因此付在设备表面或地板上。
地面的清扫
(1)地面的清扫须严格规定于所有地面以上的清扫完成后，方可实施。 (2)休息日后，空气中之悬浮灰尘都落在地板上，所以要在它被掀起前清除。 (3)使用吸尘器先将大灰尘吸除。 (4)清扫时使用专用手套、抹布(不能用擦拭地面的抹布擦拭设备)。 (5)用浸过纯水的湿抹布进行擦拭。 (6)一般打扫不到的设备下方、背面等，会存留灰尘，要经常清扫不可疏忽。 (7)所有清扫重点依据各场之清扫基准实施，不可偷懒推诿。 (8)离清洗水槽较远之场所，清扫时须以水桶装水并经常换新纯水。 (9)清扫完成后需以手电筒辅助检查清扫后之状况。
(1)黏着脚垫的设置位置须要考虑人、物的动向。 (2)黏着脚垫要使用黏着剂不脱落且能黏掉灰尘的。 (3)黏着脚垫要使用容易看出附着灰尘的。 (4)黏着脚垫要使用可进行污物分析的。 (5)黏着脚垫要每日定期更换1~3次。
擦拭用材料
无尘抹布是防尘室内用来清扫的环境、设备、装置等的清扫用品，因此它的 使用有必要作一定规范的管制。
地
點 ≧0.5μ m 粒子數(個/ft³)
成屑圈
海
洋
大
陸
非污染城市
污 染城 市
≦100 70.000 900.000 5.000.000 10.000.000
量 測 地 點 微塵粒子數(個/ft³)≧0.5μ m
大氣層圈
≦100
田園地區(微風狀況)
100.000 ~300.000
住 宅地 區
1.000.000 ~ 2.000.000
3.室内尘埃不积蓄（不堆积）
墙壁体力求光滑无死角以便于检视 及清洁
制程设备四周应留有空间 防尘室要定期清洁与保养
2.室内发尘源抑止（不产生）
穿防尘衣 生产线自动化人员不聚集 设备发尘位置管理 不使用易发尘材料
4.产出的异物被排出（排除）
足够的换气次数 污染源直接排出室外 空调的气流速度要适当
防尘室的日常管理
防尘室的目的是提高产品质量，为了达到这些目的，所以必须 对防尘室进行正确的日常管理。随着作业而产生的污物在作 业台、设备、治具、地板等所有表面附着、堆积；另外因作 业人员离产品最近，如果从业人员产生大量灰尘则会影响产 品质量。所以必须经常进行清扫，及对作业人员进行充分的 管理来发挥防尘室的功能。
人 30 ~ 40 %
附著物的種類
個 數 比 例 (%)
人體分泌物(皮膚、體液等)
23
46
纖維物(防塵衣、內衣、褲等)
4
8
器具物(工作臺、清掃物、工具等)
2
4
金屬微小物(機械等)
6
12
破碎片、石英粉末
11
22
其它(膜的異常成長物等)
4
8
以上的数据说明，净化房内的操作者，对净化房内的污染有着极大的影响。
黏着脚垫
防尘室的构造里必须设有出入口，如果仅依靠空调的循环系统，是无法将灰尘完全去除。
防尘室真正意义上的维护管理是有必要将带入室内灰尘量限制在一定范围内。所以要铺设黏着脚 垫，来减少地板上的大粒子，也同时达到去除小粒子的效果。(例如：在脚垫上走六米，轮子在 脚垫上转四米，则可以100%除尘)
注意事项
4.
防尘口罩是为了防止在防尘室内活动的人员脸部产生的灰尘及口水，所进行的防止作用。 (1)在防尘室内不能将口罩摘下来。 (2)戴上口罩后不要用戴手套的手乱模。 (3)经常配戴清洁的口罩。 (4)作业终了后口罩须分类弃置，避免与其它物品混合丢弃。
5.手套的配戴
在防尘室内用手直接接触产品的话，则手上的汗、脂肪、污垢、皮肤屑会污染制品，而造成致命 的缺点。 为了防止此类情事发生，所以必须配戴防尘手套。 所谓的防尘手套是指先戴上白色手套后再戴上橡胶手套。虽然有戴上防尘手套但在作业的许可下 亦要尽量避免接触产品。
COG BONDING 時因異物造成 BONDING 不良
異物造成 PAD 短路
防尘室之适用范围
工业用防尘室I.C.R(Industrial Clean Room) 半导体、电子工业厂、光学机械、精密机械、航天…
生化及医药用防尘室B.C.R(Biological Clean Room) 制药、医疗设施、生物实验室
微尘粒子的影响
(1)微尘造成LCD蚀刻不良
(2)微尘造成LCD CELL异物短路 (3)微尘造成IC短路 (4)微尘造成IC Bonding后变形短路 (5)微尘脏污造成ITO蚀刻
LCD/LCM 因 PARTICLE 造成失敗例
LCD CELL 內因 PARTICLE 造成十字短路
異物造成 CELL 短路
防尘室的构造
防尘室的主要结构是通过空调机吸引外界的空气。空调机内部设置
一般过滤器、中效能过滤器、高效能过滤器，用这种方式将灰尘及微粒子 去除。 经过过滤的清净空气经过天花板上的出风口向室内吹入，型成气流 使气流成为正压是很种要的。气流经过回风口(地板)、回风通道返回空 调机内。室内的压力通过右上部的气压闸来控制调整。
等多种方面，根据有关专门调查机关的调查结果，其中从操作者手中身上发生的 尘埃的比例非常之高，是我们必须注意的现象。
2.净化房内的尘埃发生源的发尘比例(据有关专门调查机关的调查结果)
大氣
工程
氣體 、 液體
裝置
1 ~ 10 %
20 ~ 30 %
5 ~ 10 %
20 ~ 30 %
3.IC基板表面上的附着物(荧光显微镜法分析结果)
(圖二) 单元
亂流式 Turb过u滤le器ntHEFPlAow
HEPA Filter
吸入口 Return Air
送風機 Fan
(圖四)
壁 間
水平層流式 Horzontal Laminar Flow
送風機 Fan
頂間 Ceiling 初級過濾器
天井吸入口
屏障
過濾器 HEPA HEPA Filter
(圖三)
椅子的防尘措施
目前所使用的椅子其座垫、椅背，一般使用海棉的较多，且其支架有回转部，容易产生
灰尘、铁屑，应该不适合于防尘室内使用，最佳的管制方式是须使用防尘室内使用的 专用椅或完全不用椅子。
注意事项
(1)防尘室内尽量不使用易发尘的椅子。 (2)如果使用会局部发尘的椅子，须将会发尘的部位作妥善包里。 (3)椅子之设置位置，尽量远离主作业区及WIP区。 (4)尽量不要使用有轮子的椅子。
垂直層流式
Vertical Laminar Flow
HEPA Filter
頂間
過濾器 HEPA
Ceiling
送風機
Fan
Raised Floor
地間
防尘室的污染源防止四原则
1.外部异物侵入防止（不带入）
防尘室保持正压(＞0.5mm Aq 以上) 工程管路不漏气、漏水 原物料搬入前要清洁擦拭 空气滤网适当设置与管理
时 (4)橡胶手套上严禁写上任何字迹。
空 气 浴 (AIR SHOWER)
空气浴是身体在空气中转动(如图7)，吹出的空气通过全身，使附着在防尘服上的灰尘脱落。
在吹气室内如果静静站着不动的话，效果甚微。 依目前的吹气室设计，空气流的上限约150cm~160cm，所以身高比此高的人稍为弯腰 ，使气流能通过头顶。
微尘粒子与防尘室
一、空气中的微尘粒子
(1) 粒径:以微米(μm)为单位。
μm=10^(-6)m=0.001mm。注:^代表次方。
(2) 概念
铅笔心直径:0.5mm=500μm。
头发直径:100μm。
肉眼可见10μm以上之粒子，10μm以下者看不见，故称为微粒子。
(3) 分类:极微粒子1μm以下，微粒子1μm ~ 10μm，粒子10μm以上。