西门子推出用于S7-1200系统的通用称重扩展模块

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３结论
１）由ＥＤＳ、ＸＲＤ和ＳＥＭ的测试结果得出，ＴｉＡ１Ｎ薄膜成分是由钛、铝和氮组成，相结构中含有ＴｉＡ１Ｎ和Ｔｉ，Ａ１Ｎ相，膜层致密。２）硬、软基体上ＴｉＡ１Ｎ薄膜的显微硬度最高可达
切关系的。
［３］ＧＲＥＤＩＣＴ，ＺＬＡＴＡＮＯＶＩＣＭ．Ｐｌａｓｍａｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎｏｆ（Ｔｉ，ＡＩ）Ｎｃｏａｔｉｎｇａｔｖａｒｉｏｕｓｍａｇｎｅｔｒｏｎｄｉｓｃｈａｒｇｅｐｏｗｅｒｌｅｖｅｌｓ［Ｊ］．Ｓｕｆｒａｃｅａｎｄ
ｃｏａｔｉｎｇｓｓｙｎｔｈｅｓｉｚｅｄｂｙｃｌｏｓｅｄ－ｆｉｅｌｄｕｎｂａｌａｎｃｅｄｍａｇｎｅｔｒｏｎｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ
３）薄膜的摩擦因数小于基体，硬基体表面薄膜的摩擦因数略小于软基体，分别在０．４５和０．５左右。硬基体薄膜比软基体的磨损程度小。
Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，２００１，１４６／１４７：２７４—２７９．
［６］ＫＮＯＴＥＫＯ，ＢＯＨＭＥＲＭ．ＯｎｓｔｒｕｃｔｕｒｅａｎｄｐｒｏｐｅｔｒｉｅｓｏｆｓｐｕｔｔｅｒｅｄＴｉａｎｄＡ１ｂａｓｅｄｈａｒｄｃｏｍｐｏｕｎｄｆｉｌｍｓ［Ｊ］．ＪｏｕｎａｒｌｏｆＶａｃｕｏｍＳｃｉｅｎｃｅ
ＴｉＮｃｏａｔｉｎｇｓ［Ｊ］．ＪｏｕｒｎａｌｏｆＶａｅｕｏｍＳｃｉｅｎｃｅ＆ＴｅｃｈｎｏｌｏｙｇＡ：
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ｔｅｃｈｎｏｌｏｙｇｓｔｒｕｃｔｕｒａｌｔｒａｎｓｉｔｉｏｎｓｉｎｈａｒｄＳｉ —ｂａｓｅｄＴｉＮｃｏａｔｉｎｇｓ：ｔｈｅ
到２５７５ＨＶ【）ｌ（１２５和２２９５ＨＶ００２５。
ｅｆｆｅｃｔｏｆｂｉａｓｖｏｌｔａｇｅａｎｄｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ［Ｊ］．ＳｕｆｒａｃｅＣｏａｔｉｎｇｓ
・
６６・
轻工机械ＬｉｇｈｔＩｎｄｕｓｔｒｙＭａｃｈｉｎｅｒｙ
２０１３年第１期
平均摩擦因数分别在０．６５～０．７０和０．６５～０．７５之间；１｝｝样品薄膜和１１＃样品薄膜的平均摩擦因数分别在０．４５和０．５０左右。由此可知，薄膜的摩擦性能明显优于基体；同时，１＃样品薄膜的平均摩擦因数小于１１＃样品薄膜，摩擦性能较好，这与膜／基结合力的分析结果是一致的，因为膜／基结合力与薄膜的耐磨性有密
参考文献：
［１］ＮＩＹＯＭＳＯＡＮＳ，ＧＲＡＮＴｗ，ＯＬＳＯＮＤＬ，ｅｔａ１．Ｖａｉｒａｔｉｏｎｏｆｃｏｌｏｒｉｎｔｉｔａｎｉｕｍａｎｄｚｉｒｃｏｎｉｕｍｎｉｔｒｉｄｅｄｅｃｏｒａｔｉｖｅｔｈｉｎｆｉｌｍｓ［Ｊ］．ＴｈｉｎＳｏｌｉｄ
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２６９９．
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ＣｏａｔｉｎｇＴｅｃｈｎｏｌｏｙ，ｇ１９９１，４８：２５ —３０．
『４］ＭＵＮＺＷＤ．ＴｉｔａｎｉｕｍＡｌｕｍｉｎｕｍＮｉｔｒｉｄｅｆｉｌｍｓ：ａｎｅｗａｔｔｅｒｎａｔｉｖｅｔｏ