特气(化学气体)介绍及危害讲义

NF3
纯净的三氟化氮在常温 下是一种无色，无臭，性 质稳定的气体，当混入一 定量的杂志气体后颜色发 黄，同时会有发霉或刺激 性气味。NF3气体不可燃， 但能助燃，在高温下具有 强氧化性。和H2O, NH3， CO,H2S等的混合气体及 苯，糖，纤维物等易燃物 遇火花即发生猛烈爆炸。
高纯三氟化氮具有 优异的刻蚀速率和选 择性（对氧化硅和 硅），蚀刻时不产生 残留物，是非常良好 的清洁剂，主要用于 PECVD腔室的清洗。
化学气体安全说明书
气体种类 理化特性 用途 毒性危害 急救措施 储存方法 灭火方法 泄漏处置方法
SiH4
无色无味，有毒，室温 PECVD系统中沉积 下易燃，在空气中发生自 P/I/N层非晶硅薄膜 燃。在420℃以上，硅烷会 。 分解成硅和氢。
热灼伤：寻求医疗处 理； 毒性，燃烧，爆炸；刺激眼 眼睛、皮肤接触：立即 睛，刺激皮肤，吸入高浓度的 用水冲洗至少15分钟，伤 硅烷会引发头痛、恶心、头晕 势严重的立即就医； 并刺激上呼吸道； 吸入：将伤者尽快转移 到空气清新处，输氧或者 人工呼吸救助；
切断气源。若不 能立即切断气源， 则不允许熄灭正在 燃烧的气体。喷水 冷却容器，可能的 话将容器从火场移 至空旷处。灭火 剂：雾状水、泡沫 、二氧化碳、干粉
迅速撤离泄漏污染区人员 至上风处，并进行隔离。切 断火源。建议应急处理人员 戴自给正压式呼吸器，穿消 防防护服。尽可能切断泄漏 源。合理通风，加速扩散。 喷雾状水稀释、溶解。构筑 围堤或挖坑收容产生的大量 废水。如有可能，将漏出气 用排风机送至空旷地方或装 设适当喷头烧掉。也可以将 漏气的容器移至空旷处，注 意通风。漏气容器要妥善处 理，修复、检验后再用。
皮肤接触：接触液氢， 用温水浸泡患处，就医。 吸入：将患者移至空气 新鲜处；如呼吸停止，施 行人工呼吸，呼吸困难给 输氧，使患者保暖，休 息；心跳停止，施行心肺 复苏术，就医；
储存于阴凉、通风的仓 间内。仓内温度不宜超过 30℃。远离火种、热源。 防止阳光直射。应与氧气 、压缩空气、卤素（氟、 氯、溴）、氧化剂等分开 存放。切忌混储混运。储 存间内的照明、通风等设 施应采用防爆型，开关设 在仓外，配备相应品种和 数量的消防器材。禁止使 用易产生火花的机械设备 工具。验收时要注意品 名，注意验瓶日期，先进 仓的先发用。搬运时轻装 轻卸，防止钢瓶及附件破 损。
切断气源。若不 能立即切断气源， 则不允许熄灭正在 燃烧的气体。喷水 冷却容器，可能的 话将容器从火场移 至空旷处。灭火 剂：雾状水、泡沫 、二氧化碳、干粉 。
迅速撤离泄漏污染区人员 至上风处，并进行隔离，严 格限制出入。切断火源。建 议应急处理人员戴自给正压 式呼吸器，穿消防防护服。 尽可能切断泄漏源。合理通 风，加速扩散。如有可能， 将漏出气用排风机送至空旷 地方或装设适当喷头烧掉。 漏气容器要妥善处理，修复 、检验后再用。
CH4
无色无味，可燃气体， 微毒。熔点：-182.5℃， 沸点：-161.5℃；难溶于 水；甲烷燃烧产生明亮的 蓝色火焰。
甲烷对人基本无毒，但浓度 过高时，使空气中氧含量明显 降低，使人窒息。当空气中甲 PECVD沉积P层时做 烷达25%-30%时，可引起头痛 窗口层，提高能带 、头晕、乏力、注意力不集中 隙，减少P层对入射 、呼吸和心跳加速、共济失调 光的吸收 。若不及时远离，可致窒息死 亡。皮肤接触液化的甲烷，可 致冻伤。
所有已知的灭火 器均可使用。从距 离火源最远的距离 向钢瓶喷水，冷却 钢瓶，而不要直接 去灭火。如有可 能，最好先切断气 源，让火焰自然熄 灭。
1.让所有人员撤离立即受影 响区域。 2.移走所有可能燃烧的物品 并进行最大限度的防爆通风 。监测磷化氢的浓度。使用 适当的设备。 3.如有可能切断气源，隔离 泄漏的钢瓶。若从容器内及 泄压阀或其他阀门泄漏，则 需与供货商联系。 4.若泄漏来自用户系统，关 掉钢瓶阀门，在修复前一定 要泄压并用惰性气体吹扫。
眼睛、皮肤接触：用水 冲洗患处，就医。 吸入：将患者移至空气 新鲜处。呼吸停止，施行 人工呼吸；心跳停止，施 行心肺复苏术并就医。
储存于通风库房，远离 火种、热源、气瓶应有防 倒措施。大于10立方米低 温液体储槽不能放在室内 。
氩本身不燃烧， 但盛装氩气容器与 设备遇明火高温可 使器内压力急剧升 高至爆炸，应用水 冷却火中容器。
储存于阴凉、通风的库 房。远离火种、热源。库 温不宜超过30℃。应与易 （可）燃物、还原剂、食 用化学品分开存放，切忌 混储。储区应备有泄漏应 急处理设备。
消防员必须穿全 身防火防毒服，在 上风向灭火。灭火 剂:雾状水、泡沫 。
迅速撤离泄漏污染区人员 至上风处，并进行隔离，严 格限制出入。切断火源。建 议应急处理人员戴自给正压 式呼吸器，穿防毒服。尽可 能切断泄漏源。合理通风， 加速扩散。漏气容器要妥善 处理，修复、检验后再用。
TMB
无色气体，有毒，易燃 易爆，遇明火、氧化剂或 者暴露在空气中会引起燃 烧；不溶于水，易溶于乙 醇，乙醚。
PECVD非晶硅薄膜 沉积系统中用来对P 层进行掺杂。
皮肤接触：去除被污染 的衣着，流动清水冲洗。 若有灼伤，立即就医。 眼睛接触：提起眼睑， 毒性，自燃，爆炸；刺激眼 用流动清水冲洗15分钟， 睛，刺激皮肤， 就医。 吸入：脱离现场至空气 新鲜处。如呼吸困难，输 氧就医。
1.在通风良好且不受天 气影响的地方直立摆放存 储。 2.对于还未使用的钢瓶 应保持保护用阀盖和输出 阀的密封完好。储存区域 内不应有火源，所有电器 必须有防爆设施。储存区 域应符合国家电器法规一 类危险区域的规定。 3.易燃物存放区应与氧 及氧化物存放区最少相距 20ft。或者在中间放置至 少5英尺高的不可燃材料 作为屏障，且保证能防火 半小时。存储温度不可高 于52℃。 4.储存区内不应有盐或 其它腐蚀性物质。将空瓶 与满瓶分开存放。避免过 量存储和存储时间过长。
正常情况下，氧气对人体益 大于弊，但是当氧浓度太大或 者过度吸氧，就会发生“氧中 无 毒”，破坏身体机能，导致肺 水肿，肺淤血和出血，严重影 响呼吸功能。
单独的氧气不会 加压储存,避免阳光直 燃烧，所以遇到发 射、高温和火种,严禁和 生火灾的情况，应 撤离泄漏源至空旷地方， 易燃品混放,存放的地方 根据燃烧物来确定 让其自然消散。 或厂房不允许有电火花。 灭火方式。一般采 用窒息法灭火。
任何过分暴露在磷化氢 和其副产物中的情况都必 须立即进行医疗处理。救 护人员应配戴适当的防护 设备(SCBA)以避免不必要 的接触。同时，应意识到 磷化氢引起火灾及爆炸的 危险。 眼睛接触：翻开眼睑， 确保用大量的水全面冲洗 15分钟，立即进行药物处 理。 皮肤接触：如果接触液 体，脱掉被污染的衣服， 用大量的温水冲洗几分 钟，并立即进行药物处理 。 吸入：将人员移到空气 清新处，若已停止呼吸， 采用人工呼吸，若呼吸困 难，则吸氧，并迅速进行 医务处理，在等待期间继 续吸氧。
Ar
氩气是一种无色、无味 的惰性气体。化学性质不 活泼。氩气不能燃烧，也 不能助燃。
Ar在PECVD系统 中，用作清洗气体； 在磁控溅射系统中， 电离，正的Ar离子轰 击靶材，产生溅射。
来自百度文库
氩气为惰性气体对人体无直 接危害，但高浓度时有窒息作 用。如果工业使用后，产生的 废气则对人体危害很大，会造 成矽肺、眼部损坏等情况。液 氩会伤害皮肤、眼睛。
切断气源，迅速撤离泄漏 污染区，处理泄漏事故人员 戴自给正压式呼吸器，处理 液氩应配带防冻护具。若气 瓶泄漏而无法堵漏时，将气 瓶移至空旷安全处放空。
O2
氧被大量用熔炼、 精炼、焊接、切割和 氧气无色、无臭、无味 表面处理等冶金过 。氧气比空气重，能溶于 程；液氧是一种制冷 水，但溶解度很小。在压 剂，也是高能燃料氧 强101kPa时，氧气在约化剂。在非晶硅薄膜 180℃时变为淡蓝色液体， 太阳能电池系统中， 在约-218℃时变成雪花状 氧气主要用在磁控溅 的淡蓝色固体。 射系统中作为反应气 体。
PH3
磷化氢是一种无色、高 毒、带有令人生厌的大蒜 味，接触空气可能会自 燃，储存于钢瓶内的液化 压缩气体。该气体比空气 重并有类似臭鱼的味道。 静电会引起磷化氢气体燃 烧，燃烧火焰不可见。
PECVD非晶硅薄膜 沉积系统中作为N层 掺杂。
眼睛、皮肤接触：暴露在低 浓度的磷化氢中会造成刺激， 接触液体会造成冻伤； 吸入：磷化氢会对心脏、呼 吸系统、肾、肠胃、神经系统 和肝脏造成影响；症状包括流 泪、气短、咳嗽、头晕头痛、 恶心呕吐，严重的上腹疼痛、 麻木、颤抖、痉挛、黄疸、肝 脏及心脏功能紊乱、肾炎及死 亡。。
N2
空气中氮气含量过高，使吸 入气氧分压下降，引起缺氧窒 氮气是一种无色无味无 息。吸入氮气浓度不太高时， 嗅的气体，通常无毒。在 在PECVD和Sputter 患者最初感胸闷、气短、疲软 标准大气压下，冷却至系统中，用作破真空 无力；继而有烦躁不安、极度 195.8℃时，变成无色液 用气体，也可用压缩 兴奋、乱跑、叫喊、神情恍惚 体，冷却至-209.86℃时， 气体代替。 、步态不稳，称之为“氮酩酊 变成雪状固体。氮气化学 ”，可进入昏睡或昏迷状态。 性质稳定。 吸入高浓度，患者可迅速昏迷 、因呼吸和心跳停止而死亡。
H2
氢气是无色无嗅无毒、 易燃易爆气体，和氟、氯 、氧、一氧化碳以及空气 混合均有爆炸的危险；密 度比空气小，难溶于水； 在101千帕，-252.87℃ 时，氢气可转变成无色液 体，液态氢的温度比液氮 低； -259.1℃时，变 成雪状固体。常温下，氢 气性质稳定。在点燃、加 热、使用催化剂等条件 下，化学性质活跃。氢气 在空气中燃烧，产生淡蓝 色的火焰。
储存于阴凉、干燥、通 风良好的库房。远离火种 、热源。库温不超过25 ℃，相对湿度不超过75％ 。保持容器密封。应与氧 化剂、卤素、食用化学品 分开存放，切忌混储。采 用防爆型照明、通风设施 。禁止使用易产生火花的 机械设备和工具。储区应 备有泄漏应急处理设备。
迅速撤离泄漏污染区人员 至上风处。切断火源。建议 应急处理人员戴自给正压式 呼吸器，穿防毒服，从上风 处进入现场，尽可能切断泄 漏源。用工业覆盖层或吸附/ 砂土、干粉、二 吸收剂盖住泄漏点附近的下 氧化碳灭火器。 水道等地方，防止气体进入 。如无危险，就地燃烧，同 时喷雾状水使周围冷却，以 防其它可燃物着火。或用管 路导至炉中、凹地焚之。漏 气容器要妥善处理，修复、 检验后再用。
皮肤、眼睛接触：若有 冻伤，就医治疗。 吸入：迅速脱离现场至 空气新鲜处。保持呼吸道 通畅。如呼吸困难，给输 氧。如呼吸停止，立即进 行人工呼吸并就医。
储存于阴凉、通风的库 房。远离火种、热源。库 温不宜超过30℃。应与氧 化剂等分开存放，切忌混 储。采用防爆型照明、通 风设施。禁止使用易产生 火花的机械设备和工具。 储区应备有泄漏应急处理 设备。
在通风良好、安全且不 受天气影响的地方存储。 钢瓶直立摆放，且保持保 护性阀盖和输出阀的密封 性完好。存储区域内不应 有火源，存储区所有电器 必须有防爆设施。存储温 度不可高于52℃，空瓶与 满瓶分开存放。存储区内 最好安装测漏器和报警系 统。
不受控制的泄漏需要由专 业人员按照事先拟好的计划 用水雾减少空气 进行处理。如果不能阻止泄 中形成的燃烧产 漏（或不能接近阀门），让 物，从最远的距离 钢瓶在原地泄放或将钢瓶移 用水冷却暴露在火 到安全的地方泄放。若泄漏 焰中的钢瓶。 来自用户系统，关掉钢瓶阀 门，在修复前一定要泄压并 用惰性气体吹扫。
三氟化氮是低毒性物质，但 是它能强烈刺激眼睛、皮肤和 呼吸道粘膜，腐蚀组织，NF3 易和血红蛋白反应，吸入高浓 度NF3会引起头痛、呕吐和腹 泻。长期吸入低浓度NF3能损 伤牙齿和骨骼。
眼睛接触：立即翻开上 下眼睑，用流动清水冲洗 15分钟，就医。 皮肤接触：脱去污染的 衣着，用流动清水冲洗。 若有灼伤，就医治疗。 吸入：迅速脱离现场至 空气新鲜处。保持呼吸道 畅通，呼吸困难时给输氧 。呼吸停止时，立即进行 人工呼吸并就医。
与空气混合形成爆炸性混合 物，遇热或明火即爆炸；在室 内使用和存储时，漏气上升滞 留屋顶不易排出，遇火星会引 起爆炸。氢虽无毒,在生理上 稀释反应气体，载 对人体是惰性的.但若空气中 气，填补悬键、减少 的含氢量增高,将引起缺氧性 缺陷 窒息。直接接触液氢将引起冻 伤。吸入高浓度的氢气，可发 生窒息，主要症状是头晕头痛 、疲劳、气急、肌肉运动失调 、恶心、呕吐、丧失意识，导 致死亡。