电阻真空计企业标准

Q/HRG0001S-2014
Q/HRG
合肥华瑞真空科技有限公司企业标准
Q/HRG 0001S-2014
电阻真空计技术条件Specifications of resistance vacuum gauge
2014-05-10发布 2014-09-01实施合肥华瑞真空科技有限公司发布
Q/HRG0001S-2014
前言
根据JB/T 10074—2004《中华人民共和国机械行业标准》制定本标准，以及国内主要电阻真空计生产厂家提出的技术要求而制定。

本标准严格按照GB/T1.1《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写规则》的要求进行编写。

本标准由合肥华瑞真空科技有限公司提出并起草。

本标准主要起草人：郭毓、黄友领、李苹平。

本标准自发布之日起有效期限3年，到期复审。

生产单位：名称：合肥华瑞真空科技有限公司。

地址：安徽省合肥市蜀山区黄山路602号。

电阻真空计技术条件
1 范围
本标准规定了电阻真空计（以下简称真空计）的技术要求、试验方法、检验规则等内容。

该真空计由电阻真空计规管和电阻真空计电路组成。

本标准适用于压强测量范围：105~10-2的真空计。

2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。

凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。

凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T 191 包装储运图示标志（GB/T 191—2000，eqv ISO 780:1997）
GB/T 4982 夹紧型真空快卸法兰（GB/T 4982—1985，idt ISO 2861-1: 1974）
GB/T 6587.2 电子测量仪器温度试验
GB/T 6587.2 电子测量仪器湿度试验
GB/T 13306 标牌
JB/T 9329 仪器仪表运输，运输贮存基本环境条件及试验方法
JB/T 10074 中华人民共和国机械行业标准
JJF 1050 工作用热传导真空计校准规范
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。

3.1 电阻真空计resistance vacuum gauge
利用加热中的热丝电阻随压强而变化的一种热导真空计。

3.2 真空计规管vacuum gauge tube
为电阻真空计的一部分，含有热丝电阻随温度变化的敏感元件并直接与真空系统连接。

3.3 真空计电路vacuum gauge circuit
为真空计的一部分，它由真空计控制单元和真空计指示单元组成。

4 技术要求
4.1 规管的技术要求
4.1.1规管在下述环境条件下应能正常工作：
a）环境温度：-5℃~40℃；
b）相对湿度：不大于80％（23℃~25℃时）。

4.1.2外观：规管外壳应无裂纹、锈斑或明显的气线、气泡等缺陷。

4.1.3电阻值：规管热丝电阻冷态电阻值的零散不应超过±1.5％。

4.1.4规管与真空系统连接部分应满足下列要求：
4.1.4.1规管连接部分为圆型轨道时，管道的外径应为15mm±0.5mm；
4.1.4.2规管连接部分为夹紧型真空快卸法兰时，其技术要求应符合GB/T 4982的规定。

4.1.5密封性：规管对氦气的漏率应不大于10-9 Pa.m³/s。

M。

4.1.6规管引出线与金属外壳之间的绝缘电阻不得小于12
4.1.7在环境温度为23℃±3℃下，规管校准曲线在测量范围0.5Pa～2500Pa时，与标准曲线的偏差平均值不得超过±20％。

4.2 真空计电路的技术要求
1
4.2.1真空计在下述环境条件和供电电源下应能正常工作：
a）环境温度：-5℃～40℃；
b）相对湿度：不大于80%（23℃~25℃时）；
c）电源电压：220V±22V，频率50Hz±0.5Hz。

4.2.2真空计外观：
a）真空计机箱外壳及表面处理良好，标志的文字符号均应清晰；
b）真空计的显示器应无引起测量误差的外观缺陷。

如模拟式电表不应有机械零件失调、指针弯曲和卡针等现象；数字式显示器应无缺段、缺字等现象；
c）真空计的开关、按钮、指示灯等均应齐全、完好，所有紧固件不得松动脱落。

4.3 真空计整机技术要求
4.3.1规管和电路匹配使用时，仪器预热半小时经调整后，1h内，在电源电压为220V±22V时，真空计在压强测量范围0.5Pa～2500Pa内，示值相对误差不应超过±5%。

5 试验方法
5.1 规管的试验方法
5.1.1规管是否符合4.1.1的要求，参照GB/T 6587.2和GB/T 6587.3的有关规定进行。

5.1.2规管是否符合4.1.2的要求，用目测或相应的测量工具来进行检查。

5.1.3用电桥方法测量冷阻及其零散，测量时取加热电流为工作最小电流的1％。

测试电路见图1。

图 1
图中：
R1、R2-----标准精密电阻，其精确度不超过±0.5%，R1和R2取近似于R0的2倍；
R0-----电阻真空计规管；
R3-----标准电阻箱，能分辨的电阻变化不超过0.2%R0，能检测的最大电阻为R0的2倍；
Rs-----0kΩ～20kΩ；
G------光点检流计；
E------稳定度优于0.2％的直流稳压电源，其值为2V；
2
3
mA------精确度为1级的直流毫安表。

测量方法：在标准状态（温度23℃±3℃、湿度不大于80%）下，并在无热源、无空气对流及无振动的条件下，按照规管正常使用时的安装位置放置规管。

调节外电路串联电阻Rs 及桥臂电阻R 1或R 2达到以下状态，即I 3=0；这时R 0=R 3，其R 0值由电阻箱读出，冷阻的零散应符合本标准4.1.3的要求。

参照JJF1050的有关规定进行。

5.1.4 规管连接部分用观察或GB/T 4982来进行检查。

5.1.4.1 规管连接管道的外径检测，系指离出口不小于30mm 部分。

用游标卡尺检测应符合4.1.4.1的要求。

5.1.4.2 用相应的检测工具来进行检查，应符合GB/T 4982中有关连接盘部分的技术要求。

5.1.5 规管是否符合4.1.5的要求，应在灵敏度不低于5×10-10Pa.m³/s 的氦质谱仪上进行检查。

5.1.6 规管引出线与金属外壳之间的绝缘电阻，
用500V 绝缘电阻表检查应符合本标准4.1.6要求。

5.1.7 采用定压式电路配合待测规管校准，其校准系统的不确定度不超过5%。

试校气体为氮气。

计算单个硅管校准曲线的误差取其相对值，即按式(1)、式(2)计算：
式中：
Pi -------压强示值； s P -------压强标准值；
i ∆-------单个校准曲线选点对标准曲线的偏差值； ∆--------按压强计算的偏差平均值； n ---------选定点测量次数。

零散性测试选点，在测量范围内应不少于10点。

其中两头各取1点，中间取8点。

经上述测试和计算，每个点的偏差平均值应符合本标准4.1.7的要求。

5.2 真空计电路的试验方法
5.2.1 真空计电路是否符合4.2.1的要求，参照GB/T 6587.2和GB/T 6587.3的有关规定进行。

5.2.2 真空计外观是否符合4.2.2的要求，用目测或相应的方法来进行检查。

5.3 整机试验
5.3.1 在真空校准系统上检查电阻真空计显示的压强测量范围。

5.3.2 真空计电路和规管配套，参照测规管特性曲线的方法进行整机测试，在压强测量范围的上下限之间选点，每个数量级不得少于3点，每点重复测量不得少于3次，取平均值计算示值相对误差。

其示值相对误差值应符合本标准4.3.1的要求；在测试点中任选取1到2点进行1.5h 时漂移和电源电压变化的测试，其结果应符合本标准4.3.1的要求。

6 检验规则
真空计的出厂检验、型式试验项目，按表1的规定。

()1 s
s
i p p p i -=
∆()
21
n
i
n
i ∑=∆=
∆
6.1 出厂检验
产品经检验全部检验项目合格，并附有产品合格证，方可出厂。

6.2 型式试验
在下列情况下，真空计应进行型式试验：
a）新产品或老产品转厂生产的试制定型鉴定；
b）产品在设计、工艺或材料上有较大改变可能影响产品性能时；
c）停产一年以上恢复生产时；
d) 国家质量检验机构提出进行型式试验的要求时。

7 标志、包装、运输和贮存
7.1 标志
每台真空计应有固定标牌，其尺寸应符合GB/T 13306的规定，并应标示下列内容：
a）制造厂名称；
b）产品的型号和名称；
c）额定电压；
d）制造年月和出厂编号。

7.2 包装
7.2.1真空计的包装方法应保证产品在正常运输中不致损坏。

产品出厂时。

应有防尘保护，并做到：清洁、防潮、防霉和抗压。

7.2.2包装箱外应注明：产品型号、名称、数量、小心轻放、防潮、向上和收货单位和地址、发货单位和地址。

并按GB/T 191正确选用包装箱储运图示和标志。

7.3产品出厂应随带的技术文件
7.3.1产品合格证的内容为：
a）产品型号和名称；
b）检验结论；
c）检验日期；
d）检验专用章。

7.3.2产品说明书的内容为：
a）主要技术参数、工作原理、性能特点、使用方法；
b）连接尺寸；
c）安装说明。

7.3.3 装箱单
7.4 运输
4
真空计在运输包装条件下，应符合JB/T 9329的要求。

运输过程中应防止剧烈震动、挤压及雨淋。

7.5 贮存
应按JB/T 9329所规定的要求贮存真空计。

5。