真空压力开关
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电子式压力开关＆ 电子式压力开关＆机械式压力开关
机械式（有触点开关） 根据机械接触和非接触进行开或者关，如继电器、微动开关等。 电子式（无触点开关） 根据晶体管的开路或断路进行开或者关。 当负载短路时，过电流会瞬时破坏开关； 开关对误配线没有考虑保护措施，特别要注意电源线和输出线 不能接错，否则会破坏开关； 过电压（Surge)发生装置如电磁式升降机 高频感应炉、电机 电磁式升降机、高频感应炉 电机 等在开关周围，则会使开关内部元件劣化、寿命降低，应该采 取过电压抑制措施，并避免导线混合排布。
输入输出模式： 1) NPN 集电极开路输出 2 channels + 模拟量输出 2) NPN 集电极开路输出 2 channels + 自动移位输入 3) PNP 集电极开路输出 2 channels + 模拟量输出 4) PNP 集电极开路输出 2 channels + 自动移位输入
4. Enclosure IP65
自动预调机能
通过数次吸着和未吸着，能自动选出最合适的设定值。
自诊断机能
当开关工作在额定电压和额定电流以上的场合，或有其他错误 信息，均可以显示出来。 过电流检知机能、过电压检知机能、数据错误
故障预知机能
真空发生器系统的消音器孔眼堵塞、吸盘龟裂、配管泄漏等原 因，致使真空度下降的场合，能快速检测出异常并输出信号， 使系统停止工作。 系统系统的设定压力值P1和P2，再设定压力值P3（真空度较高） 和故障预知次数，当产生真空时，真空值仍低于P3，计数器便 计录，达到故障预知次数时发出信号；当产生的真空值达到或 高于P3，计数器便清零。
通道选择机能
通道选择机能适用于更换吸管或更换吸着工件的场合。两个输 出通道的压力开关相当于有4个输出点。
模拟量输出
电压信号在远距离传送时，由于导线的电阻，电压会下降，信 号减弱。若为此减小电流，则会受到外部设备的电气噪声的影 响。SMC的模拟量输出，大都为电压输出，在10M以内使用。 电流输出与传送距离无关，但因为在前端要把电压信号转换成 电流信号，在末端要把电流信号转换成电压信号，成本较高、 尺寸较大。
version Range : - 100 ～ + 10 + 100 kPa kPa 5 ± 1 Existing vision 1 10 kPa kPa － msec %F.S. IP40 New version ZSE/ISE40 series 0.1 1 0.1 2.5 ± 0.2 kPa kPa kPa msec %F.S. IP65 Range : - 0.1 ～ Range : - 100 ～ + 1.0 MPa
New version
ZS（IS）40 ZS（IS）
Characteristics: 1. High precision and high resolution 2. Compound pressure (-100.0+100.0kPa) is added. 3. Auto shift function is added. (Either 2 outputs + auto shift function or 2 outputs + analog output.)
性能 显示精度 响应时间 重复精度 防护等级
ZS（IS）40 ZS（IS）
压力设定范围 接管口径 I/O规格
Z / ISE40 cable length -
日本/海外规格 option
机械式压力传感器
触点：磁性舌簧开关、微动开关 压力传感器：膜片式（低压）、波纹管式和活塞式（高压） ZSM1-121 磁性舌簧开关、膜片式负压传感器、可用于ZM IS1000 磁性舌簧开关、活塞式正压开关 IS3000 微动开关、活塞式正压开关 ISG 微动开关、波纹管正压（负压）开关、多种流体适用 ZSM1-21 (Reed switch) Although the catalog indicates only 100VAC for supply voltage, both 100VAC and 100VDC or less are applicable to the reed switch
温度范围
o
温度特性
C
analog output : 1 to 5V (load impedance : min 10k） -10 to 70oC(point dew) within ±1% F.S. within ±5.5% F.S. within ±0.3% F.S IP65
(standard 25o C) -10 to 70 oC 重复精度 防护等级
自动移位机能
自动移位机能表示，输入此信号时刻的压力值为基准，进行开 关动作。 1）吸着确认的场合，当供应压力变化 供应压力变化，在非吸着时输入自动移 位信号，就可以对确认吸着的设定值进行换算，从而可靠地进 行开关。 2）气罐泄漏试验时，不管充入压力的高低 充入压力的高低，都能确认气罐的泄 漏是否合适。
应用
ZSE（ISE） ZSE（ISE）电子式压力开关
一般空气用（旋钮调节）： ZSE（ISE）1 用于ZM真空发生器 ZSM1-115 用于ZM真空发生器 ZSE（ISE）2 用于ZX、ZR真空发生器 一般空气用（按钮调节）： ZSE（ISE）3 用于ZX真空发生器，自诊断机能，故障预知机能，LCD ZSE（ISE）4 用于ZL真空发生器，自诊断机能，LCD ZSE（ISE）4B 用于ZL真空发生器，自诊断机能，LCD，背景灯 ZSE（ISE）4E 用于ZL真空发生器，自诊断机能，自动预设机能，LED ZSE（ISE）4□D 防尘、防滴型（IP66） 多种流体适用： ZSE（ISE）5B PT ZSE（ISE）6B URJ、TSJ URJ、TSJ（半导体装置使用的接头，泄漏极低）
1 Vacuum (0 to -101KPa)
T01 NPTF1/8,M5×0.8 T02 NPTF1/4,M5×0.8
压力Fra Baidu bibliotek关 PSE521
型号 适用压力范围
最大压力
PSE5210 to -0.1MPa 0.5M Pa
not corrosive to SUS304, SUS630
介质 输出信号
ZS（IS）40 ZS（IS）
Auto-shift, chattering-groof functions (response time variable) are newly added. ZSE4E / ISE4E series digital pressure switches are scheduled to be switched over to ZSE40 / ISE40 series High Precision Digital Pressure Switch. When the definitive schedule is available, we will announce it to you again
输出模式
迟滞型 为了消除压力脉动的影响，防止开振荡，设定两个压力值，其 差值即为迟滞。 上下限比较型 用于一定范围 一定范围内供应压力的管理；迟滞为固定值
PS1000/1100
小型，轻量的电子式压力开关 两线制，接线方便 PS1000 正压用，现在压力≥设定压力时 ON PS1100 负压及残压用，现在压力≤设定压力时 ON
ZSE（ISE） ZSE（ISE）电子式压力开关
ZSE1
ZSE2
ZSE（ISE） ZSE（ISE）电子式压力开关
<ZSE1, New version>
SET HYS
<ZSE1, Existing version>
15
15
L
H L
H
H
H SET L
23
<ZSE2, New version>
SET
<ZSE2, Existing version>
15
15
L
H
H
20
The new model can be judged from indication (red dot) marked on label of the packing box.
L
20
L
23
'HYS
ZSE（ISE）4B
副标题
ZSE（ISE）5B
ZS（IS）40 ZS（IS）
Existing version
电子式压力传感器 电子式压力传感器
硅扩散型半导体压力传感器（干燥空气和惰性气体用） 压力传感器硅膜片上的四个扩散电阻组成一个桥电路，当压力 使硅膜片变形，由于压电效应引起桥电路的不平衡，产生的电 流与被测压力成正比。 由于无可动部件，压力传感器为半永久寿命，正常使用的前提 下，发生故障的可能性极小。 不锈钢膜片式压力传感器（湿空气、水或油用） 不锈钢膜片上的四个扩散电阻组成一个桥电路，其他同上。 与流体接触的管接头部位使用SUS304，传感器的膜片使用了 SUS630，这两种不锈钢的抗腐蚀性能几乎一样。
GS40
具有压力开关功能的数字式压力表（0～10bar）
ZSP1
用于ZX真空发生器 适用于小口径吸管（Φ0.3～Φ1.2），吸取数mm厚的芯片部品
压力开关 PSE
采用密闭腔使压力传感器与介质完全隔离
压力开关 PSE
PSE5 2 1 - 01
Pressure range 0 High pressure (0 to 1MPa) Piping specification 01 02 R(PT)1/8,M5×0.8 R(PT)1/4,M5×0.8
机械式（有触点开关） 根据机械接触和非接触进行开或者关，如继电器、微动开关等。 电子式（无触点开关） 根据晶体管的开路或断路进行开或者关。 当负载短路时，过电流会瞬时破坏开关； 开关对误配线没有考虑保护措施，特别要注意电源线和输出线 不能接错，否则会破坏开关； 过电压（Surge)发生装置如电磁式升降机 高频感应炉、电机 电磁式升降机、高频感应炉 电机 等在开关周围，则会使开关内部元件劣化、寿命降低，应该采 取过电压抑制措施，并避免导线混合排布。
输入输出模式： 1) NPN 集电极开路输出 2 channels + 模拟量输出 2) NPN 集电极开路输出 2 channels + 自动移位输入 3) PNP 集电极开路输出 2 channels + 模拟量输出 4) PNP 集电极开路输出 2 channels + 自动移位输入
4. Enclosure IP65
自动预调机能
通过数次吸着和未吸着，能自动选出最合适的设定值。
自诊断机能
当开关工作在额定电压和额定电流以上的场合，或有其他错误 信息，均可以显示出来。 过电流检知机能、过电压检知机能、数据错误
故障预知机能
真空发生器系统的消音器孔眼堵塞、吸盘龟裂、配管泄漏等原 因，致使真空度下降的场合，能快速检测出异常并输出信号， 使系统停止工作。 系统系统的设定压力值P1和P2，再设定压力值P3（真空度较高） 和故障预知次数，当产生真空时，真空值仍低于P3，计数器便 计录，达到故障预知次数时发出信号；当产生的真空值达到或 高于P3，计数器便清零。
通道选择机能
通道选择机能适用于更换吸管或更换吸着工件的场合。两个输 出通道的压力开关相当于有4个输出点。
模拟量输出
电压信号在远距离传送时，由于导线的电阻，电压会下降，信 号减弱。若为此减小电流，则会受到外部设备的电气噪声的影 响。SMC的模拟量输出，大都为电压输出，在10M以内使用。 电流输出与传送距离无关，但因为在前端要把电压信号转换成 电流信号，在末端要把电流信号转换成电压信号，成本较高、 尺寸较大。
version Range : - 100 ～ + 10 + 100 kPa kPa 5 ± 1 Existing vision 1 10 kPa kPa － msec %F.S. IP40 New version ZSE/ISE40 series 0.1 1 0.1 2.5 ± 0.2 kPa kPa kPa msec %F.S. IP65 Range : - 0.1 ～ Range : - 100 ～ + 1.0 MPa
New version
ZS（IS）40 ZS（IS）
Characteristics: 1. High precision and high resolution 2. Compound pressure (-100.0+100.0kPa) is added. 3. Auto shift function is added. (Either 2 outputs + auto shift function or 2 outputs + analog output.)
性能 显示精度 响应时间 重复精度 防护等级
ZS（IS）40 ZS（IS）
压力设定范围 接管口径 I/O规格
Z / ISE40 cable length -
日本/海外规格 option
机械式压力传感器
触点：磁性舌簧开关、微动开关 压力传感器：膜片式（低压）、波纹管式和活塞式（高压） ZSM1-121 磁性舌簧开关、膜片式负压传感器、可用于ZM IS1000 磁性舌簧开关、活塞式正压开关 IS3000 微动开关、活塞式正压开关 ISG 微动开关、波纹管正压（负压）开关、多种流体适用 ZSM1-21 (Reed switch) Although the catalog indicates only 100VAC for supply voltage, both 100VAC and 100VDC or less are applicable to the reed switch
温度范围
o
温度特性
C
analog output : 1 to 5V (load impedance : min 10k） -10 to 70oC(point dew) within ±1% F.S. within ±5.5% F.S. within ±0.3% F.S IP65
(standard 25o C) -10 to 70 oC 重复精度 防护等级
自动移位机能
自动移位机能表示，输入此信号时刻的压力值为基准，进行开 关动作。 1）吸着确认的场合，当供应压力变化 供应压力变化，在非吸着时输入自动移 位信号，就可以对确认吸着的设定值进行换算，从而可靠地进 行开关。 2）气罐泄漏试验时，不管充入压力的高低 充入压力的高低，都能确认气罐的泄 漏是否合适。
应用
ZSE（ISE） ZSE（ISE）电子式压力开关
一般空气用（旋钮调节）： ZSE（ISE）1 用于ZM真空发生器 ZSM1-115 用于ZM真空发生器 ZSE（ISE）2 用于ZX、ZR真空发生器 一般空气用（按钮调节）： ZSE（ISE）3 用于ZX真空发生器，自诊断机能，故障预知机能，LCD ZSE（ISE）4 用于ZL真空发生器，自诊断机能，LCD ZSE（ISE）4B 用于ZL真空发生器，自诊断机能，LCD，背景灯 ZSE（ISE）4E 用于ZL真空发生器，自诊断机能，自动预设机能，LED ZSE（ISE）4□D 防尘、防滴型（IP66） 多种流体适用： ZSE（ISE）5B PT ZSE（ISE）6B URJ、TSJ URJ、TSJ（半导体装置使用的接头，泄漏极低）
1 Vacuum (0 to -101KPa)
T01 NPTF1/8,M5×0.8 T02 NPTF1/4,M5×0.8
压力Fra Baidu bibliotek关 PSE521
型号 适用压力范围
最大压力
PSE5210 to -0.1MPa 0.5M Pa
not corrosive to SUS304, SUS630
介质 输出信号
ZS（IS）40 ZS（IS）
Auto-shift, chattering-groof functions (response time variable) are newly added. ZSE4E / ISE4E series digital pressure switches are scheduled to be switched over to ZSE40 / ISE40 series High Precision Digital Pressure Switch. When the definitive schedule is available, we will announce it to you again
输出模式
迟滞型 为了消除压力脉动的影响，防止开振荡，设定两个压力值，其 差值即为迟滞。 上下限比较型 用于一定范围 一定范围内供应压力的管理；迟滞为固定值
PS1000/1100
小型，轻量的电子式压力开关 两线制，接线方便 PS1000 正压用，现在压力≥设定压力时 ON PS1100 负压及残压用，现在压力≤设定压力时 ON
ZSE（ISE） ZSE（ISE）电子式压力开关
ZSE1
ZSE2
ZSE（ISE） ZSE（ISE）电子式压力开关
<ZSE1, New version>
SET HYS
<ZSE1, Existing version>
15
15
L
H L
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H SET L
23
<ZSE2, New version>
SET
<ZSE2, Existing version>
15
15
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H
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The new model can be judged from indication (red dot) marked on label of the packing box.
L
20
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'HYS
ZSE（ISE）4B
副标题
ZSE（ISE）5B
ZS（IS）40 ZS（IS）
Existing version
电子式压力传感器 电子式压力传感器
硅扩散型半导体压力传感器（干燥空气和惰性气体用） 压力传感器硅膜片上的四个扩散电阻组成一个桥电路，当压力 使硅膜片变形，由于压电效应引起桥电路的不平衡，产生的电 流与被测压力成正比。 由于无可动部件，压力传感器为半永久寿命，正常使用的前提 下，发生故障的可能性极小。 不锈钢膜片式压力传感器（湿空气、水或油用） 不锈钢膜片上的四个扩散电阻组成一个桥电路，其他同上。 与流体接触的管接头部位使用SUS304，传感器的膜片使用了 SUS630，这两种不锈钢的抗腐蚀性能几乎一样。
GS40
具有压力开关功能的数字式压力表（0～10bar）
ZSP1
用于ZX真空发生器 适用于小口径吸管（Φ0.3～Φ1.2），吸取数mm厚的芯片部品
压力开关 PSE
采用密闭腔使压力传感器与介质完全隔离
压力开关 PSE
PSE5 2 1 - 01
Pressure range 0 High pressure (0 to 1MPa) Piping specification 01 02 R(PT)1/8,M5×0.8 R(PT)1/4,M5×0.8