JJF(有色金属)0003-2020 直流辉光放电质谱仪校准规范-报批稿

JJF(有色金属) 0003─2020

直流辉光放电质谱仪校准规范Calibration Specification for DC Glow Discharge Mass Spectrometers

（报批稿）

2020-××-××发布 2020-××-××实施

中华人民共和国工业和信息化部

发布

本规范委托有色金属行业计量技术委员会进行解释

归 口 单 位：中国有色金属工业协会

主要起草单位：国标（北京）检验认证有限公司、国合通用测试评价认证股份公司、包头稀土研究院、西安汉唐分析检测有限公司、甘肃精普检测科技有限公司、贵研铂业股份有限公司、峨嵋山半导体研究所。

JJF （有色金属）0003—2020

本规范主要起草人：

胡芳菲（国标（北京）检验认证有限公司）陈雄飞（国标（北京）检验认证有限公司）刘英（国标（北京）检验认证有限公司）李建亭（包头稀土研究院）

房永强（西安汉唐分析检测有限公司）

邱平（甘肃精普检测科技有限公司）

马媛（贵研铂业股份有限公司）

孙平（峨嵋山半导体研究所）

骆楚欣（西安汉唐分析检测有限公司）

目录

1范围 (1)

2引用文件 (1)

3术语和计量单位 (1)

4概述 (1)

5计量特性 (2)

6校准条件 (3)

7校准项目和校准方法 (4)

8校准结果表达 (5)

9复校时间间隔 (6)

附录A（校准原始记录参考格式） (7)

附录B（校准证书内页参考格式） (10)

附录 C（直流辉光放电质谱仪校准结果不确定度评定） (11)

引言

本规范依据国家计量技术规范JJF 1071—2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF 1001-2011《通用计量术语及定义》和JJF 1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》编制。

本规范为首次发布。

直流辉光放电质谱仪校准规范

1 范围

本规范适用于直流辉光放电质谱仪的校准。

2 引用文件

本规范引用了下列文件：

JJF 1001-2011 通用计量术语及定义

GB/T 6041-2002 质谱分析方法通则

JJF 1059.1-2012 测量不确定度评定与表示

凡注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范。

3 术语和计量单位

依据JJF 1001-2011通用计量术语及定义，本规范涉及的术语和计量单位有：

3.1 质量轴

仪器检出的某元素同位素质谱峰的对称轴，单位为原子质量单位u。

3.2 分辨率

分辨率表征质谱仪鉴别两个相邻质量离子束的能力，定义为在质谱仪的质量范围内某一特定质量M位置与M+△M位置的两个离子束分开的程度，并以M/△M表达质谱仪的分辨率。

3.3 灵敏度

单位浓度的元素在质谱仪上检测器得到的信号响应（计数），单位cps。

3.4 法拉第因子

反映仪器检测器系统模式准确度的因子。

3.5 仪器稳定性

仪器连续测量同一样品，检测结果的稳定程度。一般以所测结果的相对标准偏差表示。

4 概述

直流辉光放电质谱仪（GD-MS）是利用辉光放电源作为离子源与质谱仪器联接进行质谱测定的一种分析方法。辉光放电离子源利用惰性气体（一般是氩气，压力10 Pa~1000 Pa）

在上千伏特电压下电离产生的离子撞击样品表面使之发生溅射，溅射产生的样品原子扩散至等离子体中进一步离子化，进而被质谱分析器收集，依据GB/T 6041-2002进行质谱分析检测。GD-MS主要由辉光放电离子源、质量分析器、离子检测器、真空系统、供电系统、信号控制系统和数据处理系统等组成。

5 计量特性

表1规定了直流辉光放电质谱仪的各项主要技术指标，供校准时参考。

表1 直流辉光放电质谱仪的各项主要技术指标

6 校准条件

6.1 实验室环境条件

温度：20~25℃。

湿度：30%~70%RH。

6.2 校准用样块

黄铜合金块（含Al、Fe、As、Sn、Pb等轻、中、重质量数的元素）。

钽块（纯度4N及以上）。

纯铜标样（BAM-M383a）。

7 校准项目和校准方法

7.1 校准项目

直流辉光放电质谱仪校准项目见表2所示。

表2 直流辉光放电质谱仪的校准项目

7.2 校准方法

7.2.1 外观检查

a）仪器应具有下列标识：仪器名称、型号、出厂编号、制造厂名、制造日期、额定工作电压及频率等。

b）被较仪器外形结构完好，所有紧固件均应安装牢固，无松动现象；各调节旋钮转动灵活，按键和开关均能正常工作，不应有影响仪器正常工作的机械损伤和缺陷。

c）被校仪器通电后各系统功能应正常，状态指示灯应指示正常。

7.2.2 灵敏度校准

在适当的放电条件下，考察钽块中Ta181的信号强度，强度不低于109cps或10-9amp。

7.2.3 分辨率校准

调谐仪器参数，在优化的放电条件下，中分辨率下钽块中Ta181主体峰的分辨率3000~4000，高分辨下Ta181分辨率9000~10000；对于没有中、高分辨率之分的辉光放电质谱仪，Ta181主体峰的分辨率大于3000。

7.2.4 质量轴校准

对于高分辨的直流辉光放电质谱仪，以黄铜块作样品，运行仪器质量校正程序，分别对低、中、高分辨率下的质量轴进行校正；对于没有中、高分辨率之分的仪器，用钽作样品，进行质量轴校正。

7.2.5 法拉第因子/离子效率校准

以钽块作样品，运行法拉第校正程序。对于没有中、高分辨率之分的仪器，校正仪器的离子效率，离子效率不小于0.70。

7.2.6 仪器稳定性校准

在优化的放电条件下，在合适的预溅射后，测试纯铜标样（BAM-M383a）中元素含量。

短时稳定性：连续测定6次，统计测定结果的相对标准偏差（RSD），含量范围0.1~10 mg/kg的元素RSD＜50%；含量范围10~50 mg/kg的元素RSD＜7%。

长时稳定性：每间隔10 min采集一次数据，统计6次测量结果的RSD，含量范围0.1~10 mg/kg的元素RSD＜60%；含量范围10~50 mg/kg的元素RSD＜10%。

8 校准结果表达

经校准的辉光放电质谱仪出具校准证书，校准结果应在校准证书上反应。校准证书应至少包括以下信息：

a.标题：“校准证书”；

b.实验室名称和地址；

c.进行校准的地点（如与实验室的地址不同）；

d.证书的唯一性标识，每页及总页数的标识；

e.客户的名称和地址；

f.被校对象的描述和明确标识；

g.进行校准的日期，如果与校准结果的有效性和应用有关时，应说明被校对象的接收日期；

h.校准所依据的技术规范的标识，包括名称及代号；

i.本次校准所用测量标准的溯源性及有效性说明；

j.校准环境的描述；

k.校准结果及测量不确定度的说明；

l.对校准规范的偏离的说明；

m.校准证书签发人的签名或等效标识；