谈GaN基材料半导体激光器的发展动态
半导体激光器的研究进展
半导体激光器的研究进展摘要:本文主要述写了半导体激光器的发展历史和发展现状。
以及对单晶光纤激光器进行了重点描述,因其在激光医疗、激光成像、光电对抗以及人眼安全测照等领域具有重大的应用价值,近年来成为新型固体激光源研究的热点。
一、引言。
激光是20 世纪以来继原子能、电子计算机、半导体之后人类的又一重大发明。
半导体激光科学与技术以半导体激光器件为核心,涵盖研究光的受激辐射放大的规律、产生方法、器件技术、调控手段和应用技术,所需知识综合了几何光学、物理光学、半导体电子学、热力学等学科。
半导体激光历经五十余年发展,作为一个世界前沿的研究方向,伴随着国际科技进步突飞猛进的发展,也受益于各类关联技术、材料与工艺等的突破性进步。
半导体激光的进步在国际范围内受到了高度的关注和重视,不仅在基础科学领域不断研究深化,科学技术水平不断提升,而且在应用领域上不断拓展和创新,应用技术和装备层出不穷,应用水平同样取得较大幅度的提升,在世界各国的国民经济发展中,特别是信息、工业、医疗和国防等领域得到了重要应用。
本文对半导体激光器的发展历史和现状进行了综述,同时因单晶光纤激光器在激光医疗、激光成像、光电对抗以及人眼安全测照等领域具有重大的应用价值,本文也将对其做重点描述。
二、大功率半导体激光器的发展历程。
1962 年,美国科学家宣布成功研制出了第一代半导体激光器———GaAs同质结构注入型半导体激光器。
由于该结构的激光器受激发射的阈值电流密度非常高,需要5 × 104~1 ×105 A /cm2,因此它只能在液氮制冷下才能以低频脉冲状态工作。
从此开始,半导体激光器的研制与开发利用成为人们关注的焦点。
1963 年,美国的Kroemer和前苏联科学院的Alferov 提出把一个窄带隙的半导体材料夹在两个宽带隙半导体之间,构成异质结构,以期在窄带隙半导体中产生高效率的辐射复合。
随着异质结材料的生长工艺,如气相外延( VPE) 、液相外延( LPE) 等的发展,1967年,IMB 公司的Woodall 成功地利用LPE 在GaAs上生长了AlGaAs。
半导体材料的发展现状及趋势
半导体材料的发展现状及趋势一、发展现状随着信息技术的飞速发展,对半导体材料的需求不断增加,并且对其性能也提出了更高的要求。
目前半导体材料的主要应用领域是集成电路和光电器件。
在集成电路方面,硅材料是目前主要的基础材料,其优点是成本低廉、生产工艺成熟。
但是随着集成度的提高,硅材料的性能已经无法满足需求,因此研究人员开始寻找更好的材料替代硅。
例如,砷化镓(GaAs)材料具有较高的电子迁移率,可以用于制造高速电子器件;碳化硅(SiC)材料则具有较高的耐高温和耐辐照性能,适用于高功率器件。
此外,研究人员还在探索新型半导体材料,如石墨烯、量子点等,以进一步拓展半导体材料的应用领域。
在光电器件方面,半导体材料在激光器、LED等领域有着广泛应用。
例如,氮化镓(GaN)材料可以制造高亮度、高效率的LED,被广泛应用于照明和显示领域;砷化镓(GaAs)材料则可制造高效率的激光器,广泛应用于通信和雷达领域。
此外,随着可再生能源的发展,太阳能电池也成为半导体材料的重要应用领域之一、砷化镓太阳能电池具有高效率、较低的制造成本等优点,被认为是未来太阳能电池的发展方向。
二、发展趋势1.多功能材料:随着电子器件的不断发展,对材料的要求越来越多样化。
未来的半导体材料将发展为多功能材料,既能满足传统的电子器件需求,又能应用于新兴领域如能源存储、量子计算等。
2.新型材料的探索:目前已经发现的半导体材料种类有限,而且大部分材料的性能有限。
因此,未来的研究重点将放在新型材料的探索上,例如石墨烯、钙钛矿等。
这些新型材料具有独特的结构和性能,可以应用于更多领域。
3.制备工艺的改进:半导体材料的制备工艺对于材料性能的影响至关重要。
未来的发展将着重改进和发展现有的制备工艺,以提高材料的质量和性能。
4.芯片尺寸的进一步缩小:随着电子器件的不断进化,芯片的尺寸也在不断缩小。
未来的趋势是进一步缩小芯片尺寸,提高器件性能和集成度。
5.环保可持续发展:随着人们对环保意识的提高,对于材料的环境友好性和可持续性也提出了更高的要求。
gan基发光二极管研究
gan基发光二极管研究gan基发光二极管(Gallium-Insulated-gate BipolarTransistor,Galinel-Insulated-gate Bipolar Transistor,简称GIBJT)是一种新型的半导体器件,具有高亮度、高颜色饱和度、低功耗等优点,因此在显示技术、半导体传感器、LED照明等领域得到了广泛的应用。
本文将介绍GAN基发光二极管的原理、结构、性能及应用,并对GAN基发光二极管的研究现状、未来发展方向进行探讨。
一、GAN基发光二极管的原理GAN基发光二极管是一种基于GIBJT的改进型器件,它通过将GIBJT的基极和发射极分开,并在基极上添加一个正反馈回路,使得GIBJT的发射极能够更加积极地发射光线。
与传统的GIBJT相比,GAN基发光二极管具有更高的发射效率和更好的发光稳定性。
具体来说,GAN基发光二极管的工作原理如下:1. 将GIBJT的基极和发射极分别连接到两个电源电压上。
2. 通过一定的电路设计,将基极电流转换为发射极电流,使得发射极能够积极地发射光线。
3. 发射极发射的光线经过一系列光学器件的放大和处理,最终到达显示器或传感器等接收端。
二、GAN基发光二极管的结构GAN基发光二极管的结构主要包括基板、驱动电路和封装三个部分。
1. 基板基板是GAN基发光二极管的主要组成部分,主要由Galinel晶体、硅材料、金属等构成。
Galinel晶体是GAN基发光二极管的核心部分,具有高透明度、高折射率等特点,能够反射和吸收光线。
2. 驱动电路驱动电路是GAN基发光二极管的控制电路,用于控制基极电流和发射极电流的流动,从而实现GAN基发光二极管的发光功能。
驱动电路主要包括电源、开关、反馈电路等部分。
3. 封装封装是GAN基发光二极管的保护电路,用于保护基板和驱动电路免受外界干扰和损坏。
常见的封装材料包括陶瓷封装、金属封装等。
三、GAN基发光二极管的性能1. 亮度GAN基发光二极管的亮度比传统的GIBJT更高,可以满足夜间显示和室内照明的需求。
半导体激光器的发展及其应用
半导体激光器的发展及其应用半导体激光器是将电能转变为光能的一种电光转换器件。
它是一种高效、紧凑、可调谐、易于集成和操作的光源。
半导体激光器的发展历程可以追溯到20世纪60年代初期的研究工作,经过几十年的发展,目前已经广泛应用于通信、医疗、显示、材料加工等领域。
半导体激光器最早的发展可以追溯到20世纪60年代初,当时最早的研究工作主要集中在氮化铟(InGaN)材料的研究中。
1970年代,砷化镓(GaAs)和磷化铟(InP)材料得到了广泛使用,并取得了重要的突破。
1980年代初,氮化镓和锗(Ge)等新材料的研究成果使得半导体激光器的性能得到了显著提高。
在半导体激光器的发展过程中,一些关键技术被不断突破。
如量子阱(Quantum Well)结构的引入,使半导体激光器的阈值电流减小、发光效率增加,达到了单模操作和高功率输出的要求。
此外,多量子阱(Multiple Quantum Well)和垂直腔面发射激光器(VCSEL)等新的结构和工艺,也极大地拓展了半导体激光器的应用领域。
半导体激光器在通信领域得到了广泛应用。
由于半导体激光器具有高效、紧凑、可调谐的特点,它已经成为光纤通信系统中的关键部件。
其发展逐渐从波长1310nm向波长1550nm转变,因为在这个波段下,半导体激光器的光纤耦合效率更高,损耗更小。
此外,半导体激光器还可以通过外部调制实现高速数据传输,使其在高速光通信中得到广泛应用。
除了通信领域,半导体激光器还在医疗领域发挥着重要作用。
它被广泛应用于眼科激光手术中,如角膜屈光手术和白内障手术等。
半导体激光器的高能量密度和可调谐波长特性,使其成为进行高精度眼科手术的理想工具。
此外,半导体激光器还应用于显示、材料加工、光存储和生物传感等领域。
在显示领域,半导体激光器的小尺寸和高亮度特点,使其成为液晶显示器背光源的重要选择。
在材料加工领域,半导体激光器的高功率和可调谐波长特性,使其在激光切割、激光焊接和激光打印等领域得到广泛应用。
gan-hemt的发展历史
gan-hemt的发展历史gan-hemt(Gallium Nitride High Electron Mobility Transistor)是一种基于氮化镓材料的高电子迁移率晶体管。
它在现代射频和微波应用中具有重要的地位,被广泛应用于无线通信、雷达、卫星通信等领域。
gan-hemt的发展历史可以追溯到上世纪80年代,下面将为大家详细介绍gan-hemt的发展历程。
gan-hemt最早的雏形可以追溯到20世纪70年代,当时科学家们开始探索使用氮化镓材料制造高频功率器件。
但是由于材料制备和工艺技术的限制,直到80年代中期,gan-hemt才真正得到发展。
1985年,日本东京大学的研究团队首次制备出了原始的gan-hemt 器件,并进行了相关的实验研究。
当时,由于缺乏成熟的氮化镓材料和工艺技术,gan-hemt的性能和可靠性都存在一定的问题。
但是这一突破标志着gan-hemt的诞生,为后续的研究和发展奠定了基础。
随着研究的深入,gan-hemt的性能逐渐得到提升。
1990年,研究人员首次实现了gan-hemt的高电子迁移率效应,这使得gan-hemt具备了更高的工作频率和功率特性。
此后,gan-hemt开始在军事领域得到广泛应用,用于制造高频功率放大器和雷达系统。
1995年,科学家们首次实现了gan-hemt的高电子迁移率电子通道,并进一步提高了其性能。
这一突破使得gan-hemt在射频和微波领域的应用更加广泛,成为无线通信和卫星通信等领域的重要器件。
2000年代初,随着氮化镓材料制备技术的进一步发展,gan-hemt的性能得到了进一步提升。
研究人员成功实现了低电阻和高迁移率的氮化镓材料,使得gan-hemt的工作频率和功率特性得到了进一步提高。
这一时期,gan-hemt在通信和雷达系统中的应用逐渐增多,成为射频和微波领域的主流器件之一。
随着技术的进一步成熟,gan-hemt的性能不断提高。
研究人员通过优化材料和工艺技术,进一步降低了gan-hemt的电阻和噪声系数,提高了其工作频率和功率特性。
半导体材料的历史现状及研究进展(精)
半导体材料的历史现状及研究进展(精)半导体材料的研究进展摘要:随着全球科技的快速发展,当今世界已经进入了信息时代,作为信息领域的命脉,光电子技术和微电子技术无疑成为了科技发展的焦点。
半导体材料凭借着自身的性能特点也在迅速地扩大着它的使用领域。
本文重点对半导体材料的发展历程、性能、种类和主要的半导体材料进行了讨论,并对半导体硅材料应用概况及其发展趋势作了概述。
关键词:半导体材料、性能、种类、应用概况、发展趋势一、半导体材料的发展历程半导体材料从发现到发展,从使用到创新,拥有这一段长久的历史。
宰二十世纪初,就曾出现过点接触矿石检波器。
1930年,氧化亚铜整流器制造成功并得到广泛应用,是半导体材料开始受到重视。
1947年锗点接触三极管制成,成为半导体的研究成果的重大突破。
50年代末,薄膜生长激素的开发和集成电路的发明,是的微电子技术得到进一步发展。
60年代,砷化镓材料制成半导体激光器,固溶体半导体此阿里奥在红外线方面的研究发展,半导体材料的应用得到扩展。
1969年超晶格概念的提出和超晶格量子阱的研制成功,是的半导体器件的设计与制造从杂志工程发展到能带工程,将半导体材料的研究和应用推向了一个新的领域。
90年代以来随着移动通信技术的飞速发展,砷化镓和磷化烟等半导体材料成为焦点,用于制作高速高频大功率激发光电子器件等;近些年,新型半导体材料的研究得到突破,以氮化镓为代表的先进半导体材料开始体现出超强优越性,被称为IT产业的新发动机。
新型半导体材料的研究和突破,常常导致新的技术革命和新兴产业的发展.以氮化镓为代表的第三代半导体材料,是继第一代半导体材料(以硅基半导体为代表和第二代半导体材料(以砷化镓和磷化铟为代表之后,在近10年发展起来的新型宽带半导体材料.作为第一代半导体材料,硅基半导体材料及其集成电路的发展导致了微型计算机的出现和整个计算机产业的飞跃,并广泛应用于信息处理、自动控制等领域,对人类社会的发展起了极大的促进作用.硅基半导体材料虽然在微电子领域得到广泛应用,但硅材料本身间接能带结构的特点限制了其在光电子领域的应用.随着以光通状态所需的能量。
半导体发光器件发展趋势
半导体发光器件发展趋势半导体发光器件是一种能够将电能转化为光能的装置,随着技术的不断进步,半导体发光器件在各个领域中的应用越来越广泛。
本文将从材料的改进、结构的优化以及应用的扩展三个方面,探讨半导体发光器件的发展趋势。
材料的改进是半导体发光器件发展的重要方向之一。
当前最常用的发光材料是III-V族半导体材料,如氮化镓(GaN)、磷化铟镓(InGaP)等。
这些材料具有优良的发光性能和稳定性,但仍存在一些问题,如发光效率不高、发光波长范围有限等。
因此,研究人员正在积极探索新的材料,如硅基材料、二维材料等,以提高发光效率和拓展发光波长范围。
结构的优化是半导体发光器件发展的另一个关键方向。
目前最常见的结构是PN结结构和量子阱结构。
PN结结构由P型和N型半导体材料组成,通过电子和空穴的复合发光。
量子阱结构则是利用量子效应将电子和空穴限制在一个非常薄的区域中,从而提高发光效率。
未来的发展趋势是进一步优化结构,提高发光效率和光输出功率,并研发新的结构,如纳米线结构、量子点结构等,以实现更高效的发光器件。
半导体发光器件的应用正在不断扩展。
目前,LED(Light Emitting Diode)已经广泛应用于照明、显示、通信等领域。
未来,随着技术的进一步发展,半导体发光器件将在医疗、生物、光电子学等领域发挥更重要的作用。
例如,可见光谱和红外光谱的应用将推动半导体发光器件在医学成像和光疗领域的应用。
此外,半导体激光器件的发展也将推动光通信和激光切割等领域的进步。
半导体发光器件在材料的改进、结构的优化以及应用的扩展方面都有着广阔的发展前景。
未来,随着科技的进步,我们可以期待着更高效、更稳定、更多样化的半导体发光器件的出现,为各个领域带来更多的创新和进步。
半导体激光的应用及其未来发展趋势
半导体激光的应用及其未来发展趋势半导体激光是一种光电子技术,它具有热稳定性好、效率高、尺寸小、寿命长、成本低等优点,被广泛应用于通信、医疗、工业制造、军事设备、商业设备及消费电子等各个领域中。
本文将从这五个应用领域阐述半导体激光的应用及其未来发展趋势。
一、通信领域半导体激光在通信领域中被广泛应用于传输和接收数据的设备中,因为它的波长范围广、频率可调节、光谱纯净、电功率高,能够提高数据传输速度和距离,使得现代通信更加高效和可靠。
未来,半导体激光技术将朝着更高速、更高频率的方向发展,以满足数据传输方面不断增长的需求。
二、医疗领域半导体激光在医疗领域中被广泛应用于激光手术、医疗诊断等方面。
它可以用于治疗白内障、近视、青光眼等眼病,还能用于皮肤美容、皮肤病治疗等方面。
未来,半导体激光技术将更多地应用于医疗领域,如非侵入性治疗、精准医学等方面。
三、工业制造领域半导体激光在工业制造领域中主要用于金属、塑料、陶瓷等材料的制造、切割、焊接、打标、雕刻等方面。
它可以大幅提高工作效率,减少生产流程,降低生产成本,提高产品质量。
未来,半导体激光技术将更多地应用于制造自动化、智能制造等方面。
四、军事设备领域半导体激光在军事设备领域中主要用于激光雷达、光电目标检测、制导、干扰等方面。
它具有高能量密度、高光谱纯度、高频率可调节等特点,能够实现精确制导、防御和攻击,提高军事作战效率。
未来,半导体激光技术将更多地应用于军事智能化、信息化、网络化等方面。
五、商业设备及消费电子领域半导体激光在商业设备和消费电子领域中主要用于激光打印、激光扫描、激光显示等方面。
它可以提高打印、扫描、显示的清晰度和速度,提高使用体验和用户满意度。
未来,半导体激光技术将更多地应用于消费电子领域的高清晰度显示、增强现实、虚拟现实等方面。
综上所述,半导体激光在各个领域中都具有广泛的应用前景,随着技术的不断发展,它的应用范围和应用深度将不断拓展。
未来,半导体激光技术将朝着高速、高精度、小型化、智能化、网络化等方向快速发展,并将在更多的领域中发挥重要的作用。
第二代半导体的发展现状与趋势-概述说明以及解释
第二代半导体的发展现状与趋势-概述说明以及解释1.引言1.1 概述第二代半导体指的是采用铜铟镓硒(CIGS)、氮化镓(GaN)、碳化硅(SiC)等材料制备的半导体器件。
与传统硅基半导体相比,第二代半导体具有更高的电导率、更低的漏电流和更高的工作温度等优势。
本文旨在探讨第二代半导体的发展现状与趋势,为读者提供关于这一领域的最新动态和未来发展方向。
1.2 文章结构本文将首先介绍第二代半导体的基本概念和特点,包括其与第一代半导体的区别和优势。
接着将详细分析目前第二代半导体在各个领域的发展现状,包括材料、器件、应用等方面的最新进展。
最后,我们将展望第二代半导体的未来发展趋势,探讨其在新兴技术领域的应用前景,为读者提供一个全面了解和认识第二代半导体的途径。
通过本文的阐述,读者将对第二代半导体的发展现状和未来发展趋势有一个清晰的认识,为进一步深入研究和应用提供一个参考框架。
1.3 目的本文旨在对第二代半导体的发展现状与趋势进行深入探讨,以全面了解这一领域的最新发展动态。
通过分析第二代半导体的定义、特点、发展现状以及未来发展趋势,可以帮助读者更好地了解该领域的重要性和潜在机遇。
同时,本文也旨在为相关领域的研究者、企业和投资者提供有价值的参考和启发,以促进第二代半导体技术的进一步发展和应用。
希望通过此文的撰写,能够为促进第二代半导体领域的发展做出一定的贡献,推动其在未来科技创新和产业发展中的重要作用。
2.正文2.1 第二代半导体的定义与特点第二代半导体是指相对于第一代半导体材料而言的一类新型半导体材料,具有一些独特的特点。
第一代半导体主要是指硅材料,而第二代半导体则包括了多种新型材料,如化合物半导体、氮化镓、碳化硅等。
第二代半导体的特点主要包括以下几点:1. 带宽较大:第二代半导体具有比传统硅材料更宽的带隙,可以实现更高的频率运行,具有更高的功率密度和更低的功耗。
2. 更高的载流子迁移率:第二代半导体材料具有更高的载流子迁移率,可以提高器件的工作速度和性能。
半导体技术的发展现状与趋势
半导体技术的发展现状与趋势第一部分:半导体技术的发展现状半导体技术是当前信息产业中最重要的技术之一,涉及到电子器件、集成电路、光电子器件等多个领域,对于现代化社会的发展起到了至关重要的作用。
在当前的发展状态下,半导体技术正呈现出以下的发展现状:1.制程工艺不断进步:随着纳米技术的发展,半导体制程工艺也在不断进步。
当前主流的芯片制造工艺已经达到了7nm级别,甚至有望进一步发展到5nm及以下。
这种超高密度的制程工艺为半导体器件的性能提升提供了强大的支持。
2.新材料的应用:除了传统的硅基材料之外,半导体技术还在不断探索和应用新材料,如碳化硅、氮化镓等,这些新材料大大拓展了半导体器件的应用范围,并且有望带来更高的性能和更低的功耗。
3.应用领域不断扩展:随着半导体技术的不断发展,其应用领域也在不断扩展。
除了传统的通信、计算、消费电子领域之外,半导体技术还在汽车、医疗、工业控制等领域得到了广泛的应用。
4.大规模集成电路的发展:当前的半导体技术已经能够支持大规模集成电路的制造,从而可以实现更高性能、更低功耗的芯片设计,为现代化社会的发展提供了强大的支持。
第二部分:半导体技术的发展趋势在当前的发展趋势下,半导体技术正呈现出以下的发展趋势:1.纳米技术的深入发展:纳米技术是当前半导体技术发展的重要方向之一,未来的芯片制造工艺有望进一步发展到3nm甚至更低的水平,这将为半导体器件的性能提升带来更大的空间。
2.新材料的广泛应用:在半导体技术的发展趋势中,新材料的应用将占据重要地位。
碳化硅、氮化镓等新材料的广泛应用将为半导体器件的性能提升提供更大的空间。
3.人工智能芯片的发展:随着人工智能技术的迅猛发展,人工智能芯片也成为了当前半导体技术的热门领域之一。
未来的半导体技术将更加专注于人工智能芯片的设计和制造。
4.多功能集成电路的应用:未来的半导体技术有望实现更高性能、更低功耗的多功能集成电路设计,为智能手机、物联网等领域的发展提供更大的支持。
半导体材料的发展现状及趋势概要
硅
硅是集成电路产业的基础,半导体材料中 98%是硅。半导体器件的95%以上是用硅 材料制作的,90%以上的大规模集成电路 (LSI)、超大规模集成电路(VLSI)、甚大规 模集成电路(ULSI)都是制作在高纯优质的 硅抛光片和外延片上的。硅片被称作集成 电路的核心材料,硅材料产业的发展和集 成电路的发展紧密相关。
硅材料仍是电子信息产业最主要的基础材 料,95%以上的半导体器件和99%以上的 集成电路(IC)是用硅材料制作的。在21世 纪,它的主导和核心地位仍不会动摇。但
是硅材料的物理性质限制了其在光电子和 高频高功率器件上的应用。
砷化镓材料的电子迁移率是硅的6倍多, 其器件具有硅器件所不具有的高频、高速 和光电性能,并可在同一芯片同时处理光 电信号,被公认是新一代的通信用材料。 随着高速信息产业的蓬勃发展,砷化镓成 为继硅之后发展最快、应用最广、产量最 大的半导体材料。同时,其在军事电子系 统中的应用日益广泛,并占据不可取代的 重要地位。
多晶硅
峨嵋半导体材料厂和洛阳单晶硅厂1999 年多晶硅生产能力分别为60t/a和20t/a。 峨嵋半导体材料厂1998年建成的100t/a规 模的多晶硅工业性生产示范线,提高了各 项经济技术指标,同时该厂正在积极进行 1000t/a多晶硅项目建设的前期工作。洛 阳单晶硅厂将多晶硅产量扩建至300t/a。
pta max 100pptw/55p
pta
多晶硅
1998年,多晶硅生产厂商预计半导体行 业将快速增长,因此大量扩张产能。然而, 半导体行业并未出现预期高速增长,多晶 硅需求急剧下降,结果导致多晶硅产能严 重过剩。2003年以前,多晶硅供大于求, 2004年多晶硅供需达到平衡,2005年, 多晶硅生产厂家有必要增加投资扩大产能 增加太阳能多晶硅的产量。
半导体激光器的发展历程精
广西师范学院2017年本科毕业论文论文题目半导体激光器的发展历程毕业生:吴伊琴指导老师:王革学科专业:物理学(师范)目录摘要前言一.理论基础及同质结半导体激光器(1917-1962)1.1激光理念及激光技术的面世1.2早期半导体激光器理念提出及探索(1953-1962)二.异质结半导体激光器(1963-1977)2.1 单异质(SH)激光器2.2 双异质(DH)激光器三.半导体激光器实用领域的探索(1980-2005)3.1 光纤通信及半导体激光器的相辅相成3.2 量子阱能带工程技术的引入4.1半导体激光器应用的多样化4.2 半导体激光器的未来发展结语参考文献摘要双异质半导体激光器,量子阱技术,应变量子阱激光器,DFB激光器,面发射激光器,大功率激光器等等突破性研究成果的面世,使得半导体激光器已经占据了激光领域市场的大壁江山,以及成为了军事,医疗,材料加工,印刷业,光通信等等领域不可或缺的存在。
本文梳理了1917年—2008年半导体激光器的发展历程,文中包括了半导体激光器大多研究成果,按照时间线对其进行整理。
总的说来,半导体激光器的发展历程可以分为4个阶段第一.理论准备及起步阶段(1917-1962)。
1962年同质结半导体激光器研制成功。
尽管同质结半导体激光器没有实用价值,但是它面世是半导体激光器发展历程中重要的标志,其基本理论是后来半导体激光器前进的基础。
第二.大发展期(1962--1979 长寿命,长波长双异质半导体激光器的面世使得半导体激光器能够满足光纤通信的需求。
1978-1979年,国际上关于通过改进器件结构提高器件稳定性,降低损耗的研究成果非常多。
由于对AlGaAs—GaAs激光器特性的不断进步的追求,使得这个时期出现了许多新的制造工艺,新的结构理念,为之后发展长波长半导体激光器留下了充足的技术支持。
第三.实用性的初步探索(1980--1990)在这期间半导体激光器的实用领域主要集中于光纤通信领域,由于光纤通信技术的不断发展,使得半导体激光器的发展也极其迅猛。
全球氮化镓激光器材料及器件研究现状
全球氮化镓激光器材料及器件研究现状作者:刘建平杨辉来源:《新材料产业》2015年第10期氮化物半导体材料,也称为氮化镓(GaN)基材料,是继硅(Si)、砷化镓(GaAs)之后的第3代半导体材料,包含了GaN、氮化铝(AlN)和氮化铟(InN)及它们的合金(禁带宽度范围为0.7~6.2eV),是直接带隙半导体,是制作从紫外到可见光波段半导体激光器的理想材料。
半导体激光器具有体积小、效率高、寿命长和响应速度快等优点,在信息科技等领域有广泛的应用,是光电子产业的龙头产品。
氮化镓激光器在激光显示、激光照明、水下通信、生物医学等民用及军用领域有广泛应用。
一、GaN基激光器的应用GaN基半导体激光器目前最引人注目的应用是激光显示。
由于激光的高色纯度,按三基色合成原理在色度图上形成的色度三角形面积最大,色域覆盖了自然色彩的90%,而目前液晶电视、等离子体电视仅能达到40%,因而激光显示的图像具有更大的色域、更高的对比度,可以更真实地再现客观世界丰富、艳丽的色彩,更具表现力(见图1)。
激光显示甚至被称为“人类视觉史上的革命”,在电视、家庭影院和投影机等领域具有巨大的应用前景。
在GaN基蓝光和绿光激光器研制成功以前,激光显示采用的激光光源为全固态激光器。
相对于全固态激光器,半导体激光器具有很多优势,比如体积小、效率高、成本低、寿命长、波长连续可调、易调制等。
因此随着GaN基蓝光和绿光激光器的发展和成熟,激光显示的激光光源正被直接半导体激光器所取代。
三基色中的红光激光器采用AlGaInP红光激光器,而蓝光(445~450nm)和绿光(520~530nm)激光器则为GaN基激光器。
2005年,Sony公司开发出了以GaN基蓝光激光器为光源的背投电视。
2007年,上海三鑫科技发展有限公司采用GaN基蓝光激光器开发出了微型激光投影机。
2014年,海信集团推出了采用GaN基蓝光激光器的激光影院系统。
GaN基紫光激光器波长短,可以用在光盘存储领域,增加光盘的存储容量。
半导体激光器发展历程
半导体激光器发展历程半导体激光器(Semiconductor Laser)是指以半导体材料做为活性介质的激光器。
在过去的几十年中,半导体激光器已经经历了许多重要的技术突破和发展,成为现代科学技术和工业生产中不可替代的重要组成部分。
20世纪60年代初,由于量子阱的发展,半导体激光器的理论基础得以建立。
1962年,美国的理查德·斯普雷尔发明了第一台半导体激光器,使用的是锗半导体材料。
此后,人们开始研究使用其他材料制造的半导体激光器。
到了20世纪70年代,半导体激光器取得了重大的突破。
1970年,日本的三菱电机公司研制出了第一台使用化合物半导体材料的半导体激光器。
1977年,霍尔田・赛尔特斯发明并实现了量子阱激光器,该技术进一步提高了半导体激光器的性能。
20世纪80年代,半导体激光器进一步得到了发展和应用。
1981年,日本的日立公司实现了在室温下工作的金属有机化合物半导体激光器。
这一突破为半导体激光器的商业化应用打下了基础。
此后,半导体激光器在光通信、激光打印、激光制造等领域的应用逐渐扩大。
到了21世纪,半导体激光器的发展进入了新的阶段。
随着半导体技术的不断进步,半导体激光器的效率和功率不断提高。
2006年,美国的托马斯·厄尔发明了多谐振腔激光器技术,将半导体激光器的输出功率提高到了几千瓦级别。
这一技术的出现,使得半导体激光器在激光制造领域得到了广泛的应用,例如激光焊接、激光切割等。
与此同时,半导体激光器还在生物医学、光通信等领域得到了广泛应用。
在生物医学中,半导体激光器被用于光学成像、激光治疗等。
在光通信中,半导体激光器被用于激光器发射端和接收端,实现光纤通信的高速传输。
总之,半导体激光器的发展历程是一部科技进步的记录。
从最初的实验室研究到商业化应用,半导体激光器在科技和工业生产中发挥了巨大的作用。
未来,随着技术的进步,半导体激光器的性能将不断提高,应用领域也将进一步扩大,为人类社会的发展做出更大的贡献。
半导体技术的发展现状与趋势
半导体技术的发展现状与趋势随着信息技术的快速发展,半导体技术作为现代电子技术的基石,得到了广泛的关注和推广。
半导体技术的快速发展推动了整个信息产业的繁荣发展,成为21世纪最重要的产业之一。
本文将介绍半导体技术发展的现状和未来的趋势。
一、半导体技术发展现状半导体技术依靠先进的微纳加工工艺和材料制备技术,使得半导体器件的尺寸越来越小,并且性能越来越优越。
摩尔定律指出,每隔18至24个月,半导体元器件上可集成的晶体管数量翻一番,其主要原因是制造工艺的不断改进和半导体材料的优化。
半导体材料、器件和工艺三者相互作用,是半导体技术不断发展的动力。
在半导体材料方面,现代半导体器件的大规模生产已经使用了各种半导体材料,包括硅、砷化镓、氮化镓、碳化硅等。
随着人工智能和5G等技术的发展,高频、超高频和毫米波集成电路的需求将会越来越高,因此新型半导体材料的研究和开发仍然是非常重要的。
在半导体器件方面,CMOS技术是目前最常用的半导体器件技术,以其高密度、低功耗等优越的性能而被广泛应用。
随着新模拟和多媒体应用的需求增加,各种新型CMOS器件也得到了广泛的关注。
比如如今半导体领域发展趋势之一是MEMS,其通过微机械加工在芯片上制造了微观的机械元件,可用于传感器、加速度计、惯性导航等方面。
在半导体工艺方面,微纳加工工艺是现代半导体加工的主要手段,这种工艺将光刻、腐蚀、镀膜、离子注入、退火等多种步骤有机地结合起来。
各种新型的工艺流程的出现为半导体器件的制造提供了新的技术保障,比如CVD、ALD等化学气相沉积技术,可以制造出更高性能、特殊结构的器件,而纳米加工技术则可以把器件的尺寸缩小到更细微的尺度,从而增强器件的性能,进而使得芯片的计算速度更高。
二、半导体技术发展趋势(1)新型半导体材料的快速发展半导体材料是半导体器件发展的基础。
随着科学技术的发展,人们不断寻找、开发新型材料,以满足不同领域的需求。
例如,氮化镓、碳化硅、氮化铝等材料具有其它材料所不具备的优越性能,因此它们被广泛用于高功率电子和高频电子器件中。
2023年氮化镓(GaN)行业市场前景分析
2023年氮化镓(GaN)行业市场前景分析1. 氮化镓产业的概述氮化镓是一种广泛应用于半导体及光电器件制造的材料,具有高热传导性、高耐辐照性、高电压韧性、广泛的透明度以及良好的机械性能等诸多优点,使其在通讯、照明、信息技术、国防、航空航天、医疗等领域得到了广泛应用。
随着世界经济发展的需求,半导体和光电子行业的市场在不断扩大,使氮化镓行业也呈现出迅猛的发展趋势。
2. 氮化镓行业的市场现状据统计,全球氮化镓市场不断扩大,预计到2025年将达到290亿美元。
其中,增长最快的市场是智能手机领域,其次是汽车照明领域。
此外,随着新型照明技术LED的发展,氮化镓作为LED芯片的主要材料,其市场需求也持续增长。
2019 年,全球LED 照明市场规模达到了77.2亿美元,而氮化镓材料的需求量就占到了其中的40%。
在国内市场方面,氮化镓产业也在不断壮大,华为、中兴等移动通信企业开始大力投入在氮化镓芯片领域的研究和发展,在未来能够取代现在常用的二极管、晶体管、IC 等成为主流芯片。
此外,氮化镓发光器件也在日趋普及,不仅逐渐替代了传统的白炽灯和荧光灯,还被广泛应用于新一代汽车照明系统、背光等诸多领域。
3. 氮化镓行业的未来发展趋势随着人们对交流方式的改变和追求高速率的需求,液晶显示器(LCD)面板可能会被自发光二极管显示器(OLED)所取代。
作为OLED的主要材料GaN在市场需求上有着巨大的发展潜力。
同时,氮化镓也可以用于制造高效能的太阳能电池、高功率半导体激光器、高温功率器件等,在航空航天、能源、医疗等领域也有着广阔的应用前景。
另外,随着技术的不断进步和应用的不断推广,氮化镓行业未来也将面临着更多的机遇和挑战。
首先是在技术创新方面,随着各类硬件的更新换代和物联网等新技术的兴起,氮化镓材料的要求也会不断提高,产品的精细化、集成化、智能化等方面也需进一步拓展;其次,氮化镓行业面临的最大挑战是成本问题,如何降低生产成本,提高成品率,使其更具有市场竞争力也是关键所在。
中国半导体激光器的历次突破与发展
第37卷 第9期中 国 激 光Vol.37,No.92010年9月CHINESE JOURNA L OF LASERSSepte mber ,2010文章编号:025827025(2010)0922190208中国半导体激光器的历次突破与发展(邀请论文)王启明(中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室,北京100083)摘要 主要从半导体激光器第一、二、三次飞跃详尽介绍分析了中国半导体激光器的重大突破与发展。
关键词 中国;半导体激光器;突破;发展中图分类号 TN 248.4 文献标识码 A doi :10.3788/CJL 20103709.2190Br ea k thr oughs and Development s of SemiconductorLaser in Ch in a(Invited Pa per)Wang Qiming(Sta te key Join t Labor at or y f or In teg r at ed Optoelectr onics ,In stitu te of S em iconductor s ,Chin ese A ca dem y of Scien ces ,Beijing 100083,Chin a )Abstr a ct Against the background of the first,se cond and t hir d leaps in the field of semiconductor laser s,a thor ough account and analysis is given on the major br eakthr oughs and de velopments of the semiconductor lasers in China.Key wor ds China;semiconductor laser;br eakthr oughs;developme nts收稿日期:2010206228;收到修改稿日期:2010207210作者简介:王启明(1934-),男,半导体光电子学专家,1991年被遴选为中国科学院院士。
2024年氮化镓基激光器市场需求分析
2024年氮化镓基激光器市场需求分析1. 市场概述氮化镓基激光器是一种基于氮化镓材料的半导体激光器,具有高功率、高效率、高可靠性和较低的发热问题等优势。
因此,氮化镓基激光器在通信、光纤通信、激光显示和激光制造等领域有着广泛的应用前景。
本文将对氮化镓基激光器市场的需求进行分析。
2. 市场驱动因素2.1 高速通信需求增加随着互联网的发展和5G通信技术的推广应用,对高速通信设备的需求大幅增加。
而氮化镓基激光器具有高信号传输速率和较低的能量损耗特点,能够满足高速通信需求,因此市场需求不断增加。
2.2 光纤通信市场推动光纤通信是现代通信技术的重要组成部分,而氮化镓基激光器作为光纤通信系统中的关键器件,对其性能和可靠性有着重要影响。
随着光纤通信市场的推动,氮化镓基激光器的市场需求也在逐渐增加。
2.3 激光显示器市场需求激光显示器具有高亮度、高对比度和快速响应速度等优点,被广泛应用于显示技术领域。
而氮化镓基激光器作为激光显示器的核心组件,对激光显示器的性能和效果有着重要影响。
随着激光显示器市场需求的增加,对氮化镓基激光器的需求也随之增长。
2.4 激光制造应用领域在激光制造应用领域,氮化镓基激光器具有高功率、高效率和高可靠性等优势,在激光切割、激光打标、激光焊接等领域有着广泛的应用。
随着制造业的不断发展,对激光制造设备的需求逐渐增加,从而推动了氮化镓基激光器市场的需求增长。
3. 市场规模和预测根据市场研究数据显示,氮化镓基激光器市场规模逐年增长。
预计在未来几年内,因高速通信、光纤通信和激光显示等市场的推动,氮化镓基激光器市场需求将持续增长。
根据数据统计,目前全球氮化镓基激光器市场规模已达X亿美元,并预计在未来五年内将以X%的年复合增长率增长,到20XX年将达到X亿美元。
4. 市场竞争态势氮化镓基激光器市场是一个竞争激烈的市场,主要的市场竞争者包括公司A、公司B、公司C等。
这些公司通过不断提高产品质量、降低成本和研发创新等手段来争夺市场份额。
大功率半导体激光器的发展介绍
大功率半导体激光器的发展介绍激光打标机、激光切割机、激光焊接机等等激光设备中激光器起着举足轻重的地位,在激光器的发展历程中,半导体激光器的发展尤为重要,材料加工用激光器主要要满足高功率和高光束质量,所以为了提高大功率半导体激光器的输出功率,可以将十几个或几十个单管激光器芯片集成封装、形成激光器巴条,将多个巴条堆叠起来可形成激光器二维叠阵,激光器叠阵的光功率可以达到千瓦级甚至更高。
但是随着半导体激光器条数的增加,其光束质量将会下降。
另外,半导体激光器结构的特殊性决定了其快、慢轴光束质量不一致:快轴的光束质量接近衍射极限,而慢轴的光束质量却比较差,这使得半导体激光器在工业应用中受到了很大的限制。
要实现高质量、宽范围的激光加工,激光器必须同时满足高功率和高光束质量。
因此,现在发达国家均将研究开发新型高功率、高光束质量的大功率半导体激光器作为一个重要研究方向,以满足要求更高激光功率密度的激光材料加工应用的需求。
大功率半导体激光器的关键技术包括半导体激光芯片外延生长技术、半导体激光芯片的封装和光学准直、激光光束整形技术和激光器集成技术。
(1)半导体激光芯片外延生长技术大功率半导体激光器的发展与其外延芯片结构的研究设计紧密相关。
近年来,美、德等国家在此方面投入巨大,并取得了重大进展,处于世界领先地位。
首先,应变量子阱结构的采用,提高了大功率半导体激光器的光电性能,降低了器件的阈值电流密度,并扩展了GaAs基材料系的发射波长覆盖范围。
其次,采用无铝有源区提高了激光芯片端面光学灾变损伤光功率密度,从而提高了器件的输出功率,并增加了器件的使用寿命。
再者,采用宽波导大光腔结构增加了光束近场模式的尺寸,减小了输出光功率密度,从而增加了输出功率,并延长了器件寿命。
目前,商品化的半导体激光芯片的电光转换效率已达到60%,实验室中的电光转换效率已超过70%,预计在不久的将来,半导体激光器芯片的电光转换效率能达到85%以上。
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1 引言GaN材料的研究与应用是目前全球半导体研究的前沿和热点,是研制微电子器件、光电子器件的新型半导体材料,并与SiC、金刚石等半导体材料一起,被誉为是继第一代Ge、Si半导体材料、第二代GaAs、InP化合物半导体材料之后的第三代半导体材料。
GaN是极稳定的化合物,又是坚硬的高熔点材料,熔点约为1700℃,GaN 具有高的电离度,在Ⅲ—Ⅴ族化合物中是最高的(0.5或0.43)。
在大气压力下,GaN晶体一般是六方纤锌矿结构。
它在一个元胞中有4个原子,原子体积大约为GaAs的一半。
因为其硬度高,又是一种良好的涂层保护材料。
在室温下,GaN不溶于水、酸和碱,而在热的碱溶液中以非常缓慢的速度溶解。
NaOH、H2SO4和H3PO4能较快地腐蚀质量差的GaN,可用于这些质量不高的GaN晶体的缺陷检测。
GaN在HCL或H2气下,在高温下呈现不稳定特性,而在N2气下最为稳定。
但是GaN材料仍然存在一些问题。
如在用异质外延(以蓝宝石和SiC作为衬底)技术生长出的GaN单晶,还不太令人满意(这有碍于GaN器件的发展),例如位错密度达到了108~1010/cm2(虽然蓝宝石和SiC与GaN的晶体结构相似,但仍然有比较大的晶格失配和热失配);未掺杂GaN的室温背景载流子(电子)浓度高达1017cm-3(可能与N空位、替位式Si、替位式O 等有关),并呈现出n型导电;虽然容易实现n型掺杂(掺Si可得到电子浓度1015~1020/cm3、室温迁移率>300 cm2/ V.s 的n型GaN),但p型掺杂水平太低(主要是掺Mg),所得空穴浓度只有1017~1018/cm3,迁移率<10cm2/V.s,掺杂效率只有0.1%~1%。
本文介绍的是蓝宝石衬底上生长的氮化镓基激光器的研制和发展概况以及近期研究热点作扼要介绍。
2 材料特性及器件应用2.1 材料特性GaN是目前为止所有Ⅲ-Ⅴ族氮化物中研究最多的材料,但与常用的Si和GaAs材料相比,对GaN的了解还是远远不够的。
过去较大的本底n型载流子浓度,缺乏合适的衬底材料,GaNp型掺杂的困难及加工困难使研究人员屡屡受挫。
人们对GaN感兴趣的一个主要原因是它作为蓝光、紫光发射器件的应用潜力。
正是由于这个原因,许多GaN的研究工作致力于测定GaN的光学特性。
Muraska和Tietjian首先精确测出了GaN的直接带隙为3.39eV。
此后不久,Pankove报道了低温GaN PL光谱。
随后,Dingle等人对高质量GaN进行了PL和阴极发光光谱测量,还有一些人进行了发射、反射和吸收测量。
Kosicki等人报道了多晶GaN的光学吸收和真空反射率。
通过光学泵浦在许多实验中发现了GaN的受激发射。
Dingle等人率先报道了GaN的激射情况。
众所周知,SiO是半导体加工中常用的一种非常重要的介质材料,它还可用于2GaN基激光二极管的制作。
由于二氧化硅中氧对GaN光学质量的可能影响,目前有一种研究二氧化硅对GaN光学特性和电学特性影响的实际需求。
最近X.C.Wang等人报道了对这一问题研究的初步结果。
研究发现,SiO可引起GaN外延层PL2层中的氧可能是GaN 性能的明显退化。
二次离子质谱(SIMS)测量结果表明,SiO2PL强度下降的真正原因。
另外还发现快速热退火(RTP)可以恢复和提高PL性能。
2.2 器件进展在成功地开发出蓝光和绿光LED之后,科研人员开始将研究重点转移到电注入GaN基蓝光LD的开发方面。
1996年,Nichia公司首先实现了室温条件下电注入GaN基蓝光LD的脉冲工作,随后又在年底实现了室温下的连续波工作。
Nichia公司的成功以及蓝光LD的巨大市场潜力致使许多大公司和科研机构纷纷加入到开发Ⅲ族氮化物蓝光LD的行列之中,其中Nichia公司的GaN蓝光LD在世界上居领先地位,其GaN蓝光LD室温下2mw连续工作的寿命已突破10000小时。
目前制作GaN基激光器常用蓝宝石、SiC和GaN衬底。
蓝宝石用作GaN基LD的衬底时存在腔镜制作和电极工艺方面的问题。
SiC衬底可以满足所有要求。
现已成功地在SiC衬底上生长出了高质量的GaN基材料。
SiC上生长的InGaN LD 的室温脉冲工作和连续波工作时有报道。
P型和n型电极分别制作在芯片的顶部和底部的垂直导电结构InGaN LD也已有报道。
1998年三星SAIT的研究人员演示了氮化物蓝光激光器室温下的脉冲工作。
三星的激光器结构是在蓝宝石衬底上生长的,但未用外延横向过生长。
有源区包括一个InGaN/GaNMQW,ALK0.07Ga0.93N用作包层。
利用CAIBE向下刻蚀到n型GaN层制作出了10umX800um的条带。
激光器端面是利用CAIBE或解理形成,端面表面未镀膜。
在1微秒脉宽、1KHz的工作电流条件下测量了激光器的特性。
在16.5V 的工作电压下测得的阈值电流为1.6A,对应于20.3KA/cm2的阈值电流密度。
高于阈值电流时,观察到了一种强烈且清晰的发射模式,中心波长为418nm。
1998年Shiji Nakamura等人在蓝宝石上横向过生长的GaN上生长了InGaN多量子阱(MQW)结构激光二极管。
在InGaN阱层为2时得到了1.2和2.8KA/cm2的最低阈值电流密度。
InGaN MQW LD生长在去除蓝宝石后得到的独立GaN衬底上。
在温室连续波应用条件下,待解理镜面的LD的输出功率高达30mW。
通过将脊波导减小到2um,观察到了稳定的基横模。
在50C环境温度、CW应用条件下,5mW 恒定输出功率下的LD寿命约为160小时。
富士通继Nichia Cree Research和索尼等公司之后,宣布研制成了InGaN蓝光激光器,该激光器可在温室下CW应用。
激光器结构是在SiC衬底上生长的,并且采用了垂直导电结构(p型和n型接触分别制作在晶体片的顶面和背面)。
这是首次报道的垂直器件结构的CW蓝光激光器,激光器机构见图2.富士通研制的激光器是利用LP-MOVPE在6H-SiC衬底上生长的。
晶体磨薄到大约100nm和形成接触后,解理晶片形成500nm的长腔。
条带方向是[1100],具有高反射率镀膜的解理面为(1100)。
激光器芯片p侧朝上安装在管芯上。
在25C脉冲应用(300ns,1KHz)下,阈值电流和阈值电压分别是84mA和12.0V,相当于506KA/cm2的阈值电流密度,这是SiC上InGaN激光器的最低值。
在CW条件下,阈值电流和阈值电压分别为115mA和10.5V。
峰值波长为408.2nm。
器件可在高达40C下工作。
且前各大公司的GaN基蓝光LD的研究水平见表1。
表1 各大公司GaN基蓝光LD的研究水平汇总1998年10月,Reiko Soejima等人曾报道了SiC上制作的垂直传导结构的InGaN MQW LD在250K下的连续波工作。
其阈值电流、阈值电压和阈值电流密度分别为380mA、12.6V和12KA/cm2。
这些结果表明SiC衬底上的InGaN激光器前途光明。
Nichia公司的Shuji Nakamura最近还研制成功了大功率长寿命的InGaN MQW 结构LD,在这种激光器中采用了调制掺杂应变层超晶格(MD-SLS)和外延横向过生长GaN(EL-OG)衬底,见图3.ALGaN/GaN调制掺杂应变层超晶格用作包层,替代了较厚的ALGaN层,其厚度在临界范围内,其目的是防止ALGaN用于减少GaN层中的线位错的数目。
在这种激光器中Shuji Nakamura采用了ELOG衬底,这是因为当利用拉宝石衬底时,难于得到用于常规LD腔的解理镜面,并且蓝宝石的热导率(0.5W/cn.K)也不如GaN (1.3W/cm.K)高,不利于散掉LD产生的热。
利用自动功率控制器将每面功率控制为5mW的稳定输出功率,在温室下对CW工作的LD进行了寿命测试。
在工作100小时以后,随着工作时间的增加,工作电流几乎仍保持不变。
在工作290小时以后LD仍能继续正常工作。
根据退化速度可以预计出LD的寿命。
退化速度定义为dI/dt(mA/100h),式中I为LD的工作电流,t是工作时间。
利用这一退化速度得到工作电流增加到LD初始工作电流的2倍时的预计寿命,这种激光器的预计寿命大约为10000小时左右,这种LD在RT、CW下的典型L-I和V-I特性如图4所示。
另外Shuji Nakamura等人还在蓝宝石衬底上的ELOG上生长了InGaN 多量子阱结构LD,在RT-CW工作条件下,这种具有理解镜面的LD每面输出功率高达420mW。
在高达100mW的输出功率下观测到了基横模。
在50C的环境温度和30mW的稳定输出功率下,LD的CW工作寿命大于160小时。
温度变化引起的波长漂移预计为0.06nm/K,远远小于ALInGaP LD的0.3nm/K的波长漂移值。
这些长寿命、大功率、高可靠激光器的实现为GaN基激光器的商品化铺平了道路。
2.3 关键技术目前Ⅲ-Ⅴ族氮化物激光二极管的主要问题包括;p型掺杂,减小位错密度,合适的激发结构,解理面、反射镜的制备,新工艺,欧姆接触,衬底和外延生长。
只有解决了上述问题之后才有可能真正实现长寿命、高可靠的器件。
现仅就材料生长、衬底选择、欧姆接触和干法刻蚀做一简单介绍。
2.3.1 材料生长高质量的GaN材料是研究开发Ⅲ族氮化物发光器件和电子器件以及保证器件性能和可靠性的前提条件。
目前GaN的异质外延生长主要采用MOVPE、MBE和HVPE等外延技术。
HVPE以GaCl3为Ga源,NH3为N源,可以在1000C左右在蓝宝石衬底上快速生长质量较好的GaN材料。
其缺点是很难精确控制膜的厚度。
HVPE 主要用于改进MOVPE生长的LED结构以提高光效率,或改进MBE生长的LD结构,使其具有较低的串连电阻和较好的解理。
MBE技术直接以Ga或Al的分子束作为Ⅲ族源,以NH3作N源,在衬底表面生成Ⅲ族氮化物。
采用MBE生长GaN及异质结构材料的优点一是低温生长,一般在700C左右,从而避免了扩散问题;二是生长后无需进行热处理。
为了进一步提高晶体质量,正在研究以等离子体辅助增强技术激发N2,替代NH3做N源。
MBE生长Ⅲ族氮化物的速度较慢,可以精确控制膜厚,但对于外延层较厚的器件如LED和LD来说,生长时间过长,不能满足大规模生产的要求。
MOVPE技术以Ⅲ族金属有机物为Ⅲ族源,以NH3为N源,在高温下进行Ⅲ族氮化物的生长,MOVPE 的生长速率适中,可以精确控制膜厚,特别适合于LED和LD的大规模生产。
MOVPE 技术是目前使用最多,材料和器件质量最高的生长方法。
2.3.2 衬底的选择影响GaN研究的主要困难之一就是缺乏于GaN晶格匹配且热兼容的合适的衬底材料。
尽管人们已经认识到缺乏本体衬底是氮化物研究的主要障碍,然而因为本体生长被认为是劳而无功的事情,所以从事这方面研究的人员很少。