超纯水行业相关水质标准

超纯水行业相关水质标准

美国纯水水质标准

美国半导体工业用纯水指标

Ⅰ级Ⅱ级Ⅲ级Ⅳ级项目

残渣，mg/L 0.1 0.3 0.3 0.5

TOC，mg/L 0.02 0.05 0.10 0.40

颗粒，粒/L 500 1000 2500 5000

细菌数，个100mL 0 6 10 50

活性硅SiO2，μg/L 3 5 10 40

电阻率MΩ·cm18.3 17.9 17.5 17.0

阳离子，μg/L0.2 2.0 5.0 *

铝 Al3+ 0.2 2.0 5.0 *

铵 NH4+ 0.3 0.3 0.5 *

铬 Cr6+ 0.02 0.1 0.5 *

铁 Fe 3+ 0.02 0.1 0.2 *

铜 Cu 2+ 0.02 0.1 0.5 *

锰 Mn 2+ 0.05 0.5 1.0 *

钾 K + 0.1 0.3 1.0 4.0

钠 Na + 0.05 0.2 1.0 5.0

锌 Zn 2+ 0.03 0.1 0.5 *

阴离子，μg/L0.1 0.1 0.3 *

溴 Br - 0.1 0.1 0.3 *

氯 Cl - 0.05 0.2 0.8 *

亚硝酸根 NO2- 0.05 0.1 0.3 *

硝酸根 NO3- 0.1 0.1 0.5 *

磷酸根 PO43- 0.2 0.2 0.3 *

硫酸根 SO42- 0.05 0.3 1.0 *

化学指标单位：μg/L

*此值未定。