超纯水行业相关水质标准
合集下载
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
*此值未定。
50
美国半导体工业用纯水指标
项 目
Ⅰ级
Ⅱ级
Ⅲ级
Ⅳ级
残渣，mg/L
0.1
0.3
0.3
0.5
TOC，mg/L
0.02
0.05
0.10
0.40
颗粒，粒/L
500
1000
2500
5000
细菌数，个100mL
0
6
10
50
活性硅SiO2，μg/L
35Βιβλιοθήκη 1040电阻率MΩ·cm
18.3
17.9
17.5
17.0
阳离子，μg/L
1
1
10
500
硫酸根，最大值 ug/L
1
1
10
500
总有机碳，最大值 ug/L
20
100
200
1000
美国纯水水质标准
（美国计量测试学会ASTM纯水水质标准，1983）
序号
水质项目
单位
E-Ⅰ
E-Ⅱ
E-Ⅲ
E-Ⅳ
1
电阻率，25℃
MΩ.cm
18
15
2
0.5
2
二氧化硅（全）
µg/l
5
10
100
1000
3
微粒（粒径≥1μm）
个/ml
2
5
100
500
4
微生物
个/ml
1
10
50
100
5
有机物TOC
µg/l
50
200
1000
5000
6
铜Cu
µg/l
2
10
100
1000
7
氯Cl
µg/l
2
10
100
500
8
钾K
µg/l
1
10
200
1000
9
钠Na
µg/l
1
10
200
1000
10
锌Zn
µg/l
5
20
200
500
11
总固体
µg/l
10
0.03
0.1
0.5
*
阴离子，μg/L
0.1
0.1
0.3
*
溴 Br -
0.1
0.1
0.3
*
氯 Cl -
0.05
0.2
0.8
*
亚硝酸根 NO2-
0.05
0.1
0.3
*
硝酸根 NO3-
0.1
0.1
0.5
*
磷酸根 PO43-
0.2
0.2
0.3
*
硫酸根 SO42-
0.05
0.3
1.0
*
化学指标单位：μg/L
超纯水行业相关水质标准
中国国家电子超纯水规格GB/T1146.1-1997
级别
EW-Ⅰ
EW-Ⅱ
EW-Ⅲ
EW-Ⅳ
电阻率
MΩ·cm（25℃）
18
(95%时间)
不低于17
15
(95%时间)
不低于13
12.0
0.5
全硅 最大值ug/L
2
10
50
1000
>1um微粒数，最大值 个/ml
0.1
5
10
500
细菌数，最大值，个/mL
0.01
0.1
10
100
铜，最大值 ug/L
0.2
1
2
500
锌，最大值 ug/L
0.2
1
2
500
镍，最大值 ug/L
0.1
1
2
500
钠，最大值 ug/L
0.5
2
5
1000
钾，最大值 ug/L
0.5
2
5
500
氯，最大值 ug/L
1
1
10
1000
硝酸根，最大值 ug/L
1
1
10
500
磷酸根，最大值 ug/L
0.2
2.0
5.0
*
铝 Al3+
0.2
2.0
5.0
*
铵 NH4+
0.3
0.3
0.5
*
铬 Cr6+
0.02
0.1
0.5
*
铁 Fe 3+
0.02
0.1
0.2
*
铜 Cu 2+
0.02
0.1
0.5
*
锰 Mn 2+
0.05
0.5
1.0
*
钾 K +
0.1
0.3
1.0
4.0
钠 Na +
0.05
0.2
1.0
5.0
锌 Zn 2+
50
美国半导体工业用纯水指标
项 目
Ⅰ级
Ⅱ级
Ⅲ级
Ⅳ级
残渣，mg/L
0.1
0.3
0.3
0.5
TOC，mg/L
0.02
0.05
0.10
0.40
颗粒，粒/L
500
1000
2500
5000
细菌数，个100mL
0
6
10
50
活性硅SiO2，μg/L
35Βιβλιοθήκη 1040电阻率MΩ·cm
18.3
17.9
17.5
17.0
阳离子，μg/L
1
1
10
500
硫酸根，最大值 ug/L
1
1
10
500
总有机碳，最大值 ug/L
20
100
200
1000
美国纯水水质标准
（美国计量测试学会ASTM纯水水质标准，1983）
序号
水质项目
单位
E-Ⅰ
E-Ⅱ
E-Ⅲ
E-Ⅳ
1
电阻率，25℃
MΩ.cm
18
15
2
0.5
2
二氧化硅（全）
µg/l
5
10
100
1000
3
微粒（粒径≥1μm）
个/ml
2
5
100
500
4
微生物
个/ml
1
10
50
100
5
有机物TOC
µg/l
50
200
1000
5000
6
铜Cu
µg/l
2
10
100
1000
7
氯Cl
µg/l
2
10
100
500
8
钾K
µg/l
1
10
200
1000
9
钠Na
µg/l
1
10
200
1000
10
锌Zn
µg/l
5
20
200
500
11
总固体
µg/l
10
0.03
0.1
0.5
*
阴离子，μg/L
0.1
0.1
0.3
*
溴 Br -
0.1
0.1
0.3
*
氯 Cl -
0.05
0.2
0.8
*
亚硝酸根 NO2-
0.05
0.1
0.3
*
硝酸根 NO3-
0.1
0.1
0.5
*
磷酸根 PO43-
0.2
0.2
0.3
*
硫酸根 SO42-
0.05
0.3
1.0
*
化学指标单位：μg/L
超纯水行业相关水质标准
中国国家电子超纯水规格GB/T1146.1-1997
级别
EW-Ⅰ
EW-Ⅱ
EW-Ⅲ
EW-Ⅳ
电阻率
MΩ·cm（25℃）
18
(95%时间)
不低于17
15
(95%时间)
不低于13
12.0
0.5
全硅 最大值ug/L
2
10
50
1000
>1um微粒数，最大值 个/ml
0.1
5
10
500
细菌数，最大值，个/mL
0.01
0.1
10
100
铜，最大值 ug/L
0.2
1
2
500
锌，最大值 ug/L
0.2
1
2
500
镍，最大值 ug/L
0.1
1
2
500
钠，最大值 ug/L
0.5
2
5
1000
钾，最大值 ug/L
0.5
2
5
500
氯，最大值 ug/L
1
1
10
1000
硝酸根，最大值 ug/L
1
1
10
500
磷酸根，最大值 ug/L
0.2
2.0
5.0
*
铝 Al3+
0.2
2.0
5.0
*
铵 NH4+
0.3
0.3
0.5
*
铬 Cr6+
0.02
0.1
0.5
*
铁 Fe 3+
0.02
0.1
0.2
*
铜 Cu 2+
0.02
0.1
0.5
*
锰 Mn 2+
0.05
0.5
1.0
*
钾 K +
0.1
0.3
1.0
4.0
钠 Na +
0.05
0.2
1.0
5.0
锌 Zn 2+