静电防护教材
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文件编号: 209020019A 生效日期：2009年11月1日 修改日期:
可成科技(蘇州)有限公司 靜電防護研討會
防靜電技術研討
• • • • • • • • • • • • 一. 何謂ESD 二. 防靜電等級區分與無塵室等級區分 三. 靜電的產生 四. 靜電防護主要目的 五. 電子元件的敏感度 六. 靜電防制四大原則 七. 靜電消除方法 八. 電子工作區靜電防護工作 九. 設備對靜電防護的要求 十. ESD產品測試標準及規範要求 十一. 問題研討 十二. 結束
測試標準
ESD S.1.1 ESD STM211 ESD STM9.1 ESD STM97.1 ESD STM97.2
建議範圍 3 5 1. 腕帶部分:10 ～10 Ω 2.5接地線 :1MΩ±10% 11 10 ～10 Ω 依不同材質作區分 阻抗值: 10 ～10 Ω 磨擦電壓:100V 以下
阻抗值: 10 ～10 Ω最佳 阻抗值: 10 ～10 Ω最佳 4 6 阻抗值: 106～109Ω導電地板 阻抗值: 10 ～10 Ω防靜電地板 6 9 表面阻抗值: 10 ～10 Ω 磨擦電壓:200V 以下 阻抗值:1MΩ±20% 阻抗值: 10 ～10 Ω Decay Time:依各種型式不同而訂 Ion Balance:小於±50V Decay Time:依各種型式不同而訂 Ion Balance:小於±150V 阻抗值: 10 ～10 Ω最佳 導電箱: 106～109Ω 阻抗值: 10 ～10 Ω
to
to to to to to to to to to to to
300
7,000 500 2,500 3,000 2,500 3,000 7,000 15,000 1,000
六、靜電防制四大原則
1、 環境控制
2 、人員控制 3 、包裝材料控制
4 、人員訓練
七、靜電消除方法
1、 接地
2、 增加濕度 3、 使用靜電消除器
九、設備對靜電防護的要求
靜電對地電阻表
接地物類別
一般導體 如：機器設備 大型固定導體
狀況描述
最大接地電阻值
10Ω
一般而言，固定導體本身已做到 接地，若有絕緣物阻隔無法達到 10Ω要求，則必須額外做接地。
一般而言，金額管路本身已做到接地， 管路間若有絕緣物阻隔無法達到 10 Ω 要求，則必須額外做接地。
1
35
7.5
3
1
N.A.
10
350
75
30
10
N.A.
100
N.A.
750
300
100
N.A.
1000
N.A.
N.A.
N.A.
1000
7
10000
N.A.
N.A.
N.A.
10000
70
100000
N.A.
N.A.
N.A.
100000
700
三、靜電的產生
摩擦帶電 靜電帶電
感應帶電
四、靜電防護主要目的
1、增加生產量（Increased Yields）
2、節省成本（Cost Saving） 3 、產品可靠性較佳（ Better Produc Reliability）
4、產品壽命較長（Extended Usage Life)
五、 電子元件的敏感度
• 視電子電路特性不同，不同電子元件對靜電的敏 感度trostatic Discharge(靜電放電) 或 •Electrostatic Dissipative (靜電釋放)
二、防靜電等級區分與無塵室等級區分
靜電產品考量要點 產品阻抗值 磨擦帶電壓 靜電消散時間
1.絕緣級 表面阻抗值 : 2.抗靜電級 表面阻抗值 : 3.靜電消散級 表面阻抗值 : 4.導電級 表面阻抗值 :
10Ω 10Ω 10Ω 106Ω 106Ω～108Ω
金屬管路
導體運輸設備 如：金屬容器
與非導體組合之導體設 備 如：旋轉軸 抗靜電材料 如：鞋子、衣服
一般而言，無法達到 10 Ω要 求，則必須額外做接地。
非導體與導體組合之對地電 阻須要﹤106Ω
十、ESD產品測試標準及規範要求
設備名稱
靜電手環 靜電衣 靜電鞋 靜電指套 靜電手套 地板 工作桌墊 工作桌之接地線 椅子 離子風扇 離子空間系統 包裝材料 袋子 箱子 環 境 控 制 同靜電衣之標準 ANSI ESD S7.1 ESD S4.1 ESD STM 412 ESD S1.1 ESD STM12.1 EOS/ESD ANSI S3.1 EOS/ESD ANSI S3.1 ESD S 11.31 ESD S 11.31 ESD S 11.12 人 員 防 護
• 電子元件根據對ESD的敏感度區分ESDS的等級。例 如，DoD-STD-1686將元件對ESD的敏感度區分爲三 級： Class1-元件敏感度從0～1,999V Class2-元件敏感度從2,000V～3,999V Class2-元件敏感度從4,000V～15,999V
電子元件的ESD敏感度
元 VMOS MOSFET 件 型 式 對 ESD 的 敏 感 範 圍 30 100 to to 1,800 200
4、 使用抗靜電材料
5、 降低磨擦速度
八、電子工作區靜電防護工作
1.靜電防護標語：進入靜電防護區之門口挂有“注意防靜電防護區，未經許可不 得進入”明確表示靜電防護之重要性。 2. 人員防護： A）靜電手環 B）防靜電無塵衣帽 C）靜電手套 D）靜電指套 E）靜電鞋或導電鞋 3. 工作環境：A）防靜電桌墊 B）防靜電地板或導電地板 C）防靜電椅或導電椅 D）靜電消除器 E）手推車加金屬練條 4. 包裝材料：A）防靜電袋 B）防靜電或導電箱盒 5. 品管設備：A）靜電壓測試器 B）表面阻抗器 C）手環測試器
10e12.5Ω以上
10e10~10e12Ω
10e7~10e9Ω
10e6Ω 以下
無塵室等級區分
•
•
根據美國 Federal STD（聯邦標準）209E 定義：
• 一立方英呎體積內允許Particle之數量及大小來分辨無塵室等級
量測Particle尺寸大小（µ m） 等級 0.1 0.2 0.3 0.5 5.0
GaAsFET
FPROM JFET SAW Opamp COMS Sxhottky Diodes Film ResistorS(Thick/Thin) Biplor TransistorS ECL(PCB Level) SCR Schottky TTL
100
100 140 150 190 250 300 300 380 500 680 1,000
4 6 6 9 4 9 6 9 6 9 6 9
備註
可依産業性質不同選擇 不同阻抗值
問題研討
可成科技(蘇州)有限公司 靜電防護研討會
防靜電技術研討
• • • • • • • • • • • • 一. 何謂ESD 二. 防靜電等級區分與無塵室等級區分 三. 靜電的產生 四. 靜電防護主要目的 五. 電子元件的敏感度 六. 靜電防制四大原則 七. 靜電消除方法 八. 電子工作區靜電防護工作 九. 設備對靜電防護的要求 十. ESD產品測試標準及規範要求 十一. 問題研討 十二. 結束
測試標準
ESD S.1.1 ESD STM211 ESD STM9.1 ESD STM97.1 ESD STM97.2
建議範圍 3 5 1. 腕帶部分:10 ～10 Ω 2.5接地線 :1MΩ±10% 11 10 ～10 Ω 依不同材質作區分 阻抗值: 10 ～10 Ω 磨擦電壓:100V 以下
阻抗值: 10 ～10 Ω最佳 阻抗值: 10 ～10 Ω最佳 4 6 阻抗值: 106～109Ω導電地板 阻抗值: 10 ～10 Ω防靜電地板 6 9 表面阻抗值: 10 ～10 Ω 磨擦電壓:200V 以下 阻抗值:1MΩ±20% 阻抗值: 10 ～10 Ω Decay Time:依各種型式不同而訂 Ion Balance:小於±50V Decay Time:依各種型式不同而訂 Ion Balance:小於±150V 阻抗值: 10 ～10 Ω最佳 導電箱: 106～109Ω 阻抗值: 10 ～10 Ω
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7,000 500 2,500 3,000 2,500 3,000 7,000 15,000 1,000
六、靜電防制四大原則
1、 環境控制
2 、人員控制 3 、包裝材料控制
4 、人員訓練
七、靜電消除方法
1、 接地
2、 增加濕度 3、 使用靜電消除器
九、設備對靜電防護的要求
靜電對地電阻表
接地物類別
一般導體 如：機器設備 大型固定導體
狀況描述
最大接地電阻值
10Ω
一般而言，固定導體本身已做到 接地，若有絕緣物阻隔無法達到 10Ω要求，則必須額外做接地。
一般而言，金額管路本身已做到接地， 管路間若有絕緣物阻隔無法達到 10 Ω 要求，則必須額外做接地。
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三、靜電的產生
摩擦帶電 靜電帶電
感應帶電
四、靜電防護主要目的
1、增加生產量（Increased Yields）
2、節省成本（Cost Saving） 3 、產品可靠性較佳（ Better Produc Reliability）
4、產品壽命較長（Extended Usage Life)
五、 電子元件的敏感度
• 視電子電路特性不同，不同電子元件對靜電的敏 感度trostatic Discharge(靜電放電) 或 •Electrostatic Dissipative (靜電釋放)
二、防靜電等級區分與無塵室等級區分
靜電產品考量要點 產品阻抗值 磨擦帶電壓 靜電消散時間
1.絕緣級 表面阻抗值 : 2.抗靜電級 表面阻抗值 : 3.靜電消散級 表面阻抗值 : 4.導電級 表面阻抗值 :
10Ω 10Ω 10Ω 106Ω 106Ω～108Ω
金屬管路
導體運輸設備 如：金屬容器
與非導體組合之導體設 備 如：旋轉軸 抗靜電材料 如：鞋子、衣服
一般而言，無法達到 10 Ω要 求，則必須額外做接地。
非導體與導體組合之對地電 阻須要﹤106Ω
十、ESD產品測試標準及規範要求
設備名稱
靜電手環 靜電衣 靜電鞋 靜電指套 靜電手套 地板 工作桌墊 工作桌之接地線 椅子 離子風扇 離子空間系統 包裝材料 袋子 箱子 環 境 控 制 同靜電衣之標準 ANSI ESD S7.1 ESD S4.1 ESD STM 412 ESD S1.1 ESD STM12.1 EOS/ESD ANSI S3.1 EOS/ESD ANSI S3.1 ESD S 11.31 ESD S 11.31 ESD S 11.12 人 員 防 護
• 電子元件根據對ESD的敏感度區分ESDS的等級。例 如，DoD-STD-1686將元件對ESD的敏感度區分爲三 級： Class1-元件敏感度從0～1,999V Class2-元件敏感度從2,000V～3,999V Class2-元件敏感度從4,000V～15,999V
電子元件的ESD敏感度
元 VMOS MOSFET 件 型 式 對 ESD 的 敏 感 範 圍 30 100 to to 1,800 200
4、 使用抗靜電材料
5、 降低磨擦速度
八、電子工作區靜電防護工作
1.靜電防護標語：進入靜電防護區之門口挂有“注意防靜電防護區，未經許可不 得進入”明確表示靜電防護之重要性。 2. 人員防護： A）靜電手環 B）防靜電無塵衣帽 C）靜電手套 D）靜電指套 E）靜電鞋或導電鞋 3. 工作環境：A）防靜電桌墊 B）防靜電地板或導電地板 C）防靜電椅或導電椅 D）靜電消除器 E）手推車加金屬練條 4. 包裝材料：A）防靜電袋 B）防靜電或導電箱盒 5. 品管設備：A）靜電壓測試器 B）表面阻抗器 C）手環測試器
10e12.5Ω以上
10e10~10e12Ω
10e7~10e9Ω
10e6Ω 以下
無塵室等級區分
•
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根據美國 Federal STD（聯邦標準）209E 定義：
• 一立方英呎體積內允許Particle之數量及大小來分辨無塵室等級
量測Particle尺寸大小（µ m） 等級 0.1 0.2 0.3 0.5 5.0
GaAsFET
FPROM JFET SAW Opamp COMS Sxhottky Diodes Film ResistorS(Thick/Thin) Biplor TransistorS ECL(PCB Level) SCR Schottky TTL
100
100 140 150 190 250 300 300 380 500 680 1,000
4 6 6 9 4 9 6 9 6 9 6 9
備註
可依産業性質不同選擇 不同阻抗值
問題研討