8产品名称：22—14nm单反应台等离子体刻蚀机PrimoSSCAD—RIE^TM

中微 的 Ｐｒｉｍｏ ＳＳＣ ＡＤ．ＲＪＥＴＭ已在 南韩 的 １６ ａｍ 最 关 键 的 刻 蚀 步 骤 上 实 现 大 批 量 生 产 ，并 已在 客 户 最 先 进 工 艺 的 ３Ｄ ＶＮＡＮＤ 试 生 产 线 上 进 行 验 证 。
电子专用设备成 果汇编
电 字 工 业 专 用 设 备
ｍｏ ＳＳＣ ＡＤ—ＲＩＥＴＭ。Ｐｒｉｍｏ ＳＳＣ ＡＤ—ＲＩＥＴＭ 是 采 用 高 深 宽 比 （ＨＡｌｔ）刻蚀 中各 向异 性 刻 蚀 的 性 能 ；
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创 新 性 ：
中 微 自主 研 发 的 单 反 应 台 等 离 子 体 刻 蚀 机
Ｐｒｉｍｏ ＳＳＣ ＡＤ．ＲＩＥＴＭ 具 有 如 下创 新 特 点 ：
Ｐｒｉｍｏ ＳＳＣ ＡＤ—ＲＩＥＴＭ 属于 原 始 创 新 。
·超 高速 涡 轮 分 子泵 和 大抽 气 通 道 ，可 以产
中微 刻 蚀 设 备 的 一 大 关 键 优 势 在 于 它 的配 置 生 高流 量 、低 压 力 ，有 利 于高 深 宽 比 （ＨＡＲ）刻蚀 ；
产 品 介 绍 ： 等 离 子 体 刻 蚀 设 备 是 极 大 规 模 集 成 电 路 制 造
的 三 大 关 键 设 备 之 一 ，Ｐｒｉｍｏ ＳＳＣ ＡＤ．ＲｊＥ 是 中 微 公 司 目前 最 先 进 的 等 离 子 体 刻 蚀 设 备 ， 可 用 于 １Ｘ 纳 米 关 键 刻 蚀 工 艺 芯 片 加 工 。 ＳＳＣ，即单 反 应 台 腔 体 ， 是 建 立 在 中 微 前 一 代 介 质 刻 蚀 设 备 Ｐｒｉ— ｍｏ ＡＤ Ｒ／Ｅ￣产 品 技 术 和 Ｐｒｉｍｏ平 台概 念 的 基 础 上 ， 通 过 在 一 个 平 台 上 支 持 ６个 刻 蚀 反 应 台 达 到 生 产 力 的 最 大 化 。Ｐｒ ｉｍｏ ＳＳＣ ＡＤ—ＲＩＥＴＭ是 采 用 高 抽 速 、低 压 、高 能脉 冲 等 离 子 体 的手 段 为 高 深 宽 比 刻 蚀 而 开 发 的产 品 。该 设 备 设 计 之 不 同 ，在 于 将 反 应 台 拆 分 为 独 立 的 反 应 腔 ，专 用 于 气 体 输 送 和 抽
台销 售 ，由此 达 成 的 简 化 新工 艺流 程 已用 于 ４０ ｎｎｌ 上 海 市 科 技 进 步 二 等 奖 ”、 国 家 ０２专 项 授 予 的
和 ２８ ｎ／ｎ制程 ，并 计划 在 １６ １１１１１和 １０ ｎｎｌ制 程 中加 “２０１１年 度 突 出 成 果 奖 ”、 科 技 部 等 四 部 委 ２０１２
以沿 用 ，已在验 证 中 。
年 颁 发 的“国 家 战 略 性 创 新产 品 ”证 书等 。
中 微 Ｐｒｉｍｏ ｉＤＥＡ￣有 着 业 界 公 认 的 高 水 平 的
８ 产 品名称 ：２２—１４ ｎｍ 单反应 台等 离子体 刻蚀机
Ｐｒｉｍ ｏ ＳＳＣ ＡＤ—ＲＩＥ
研 制 单 位 ： 中微 半 导体 设备 （上海 ）有 限公 司
来 的损 害上 表 现 优 异 ，同时 又 减 少 了所 需 机 台的数 发 的“２００９年 度 全 球 最 佳 产 品 奖 ”、上 海 市 颁 发 的
量 。截 至 ２０１５年 ９月底 ，Ｐｒｉｍｏ ｉＤＥＡ￣已实 现 共 ９ “２００９年 度 上 海 市科 技进 步 一 等 奖 ”和“２０１ １年 度
金 奖 ”，另 一 项专 利 “等 离子 体 约 束 装 置 ”（专 利 号 ： ２００６１０１１６４４９．ｘ） 于 ２０１３年 １２月 获 得 了上 海 市 知 识 产 权 局 授 予 的“上 海 市 发 明创 造 专 利 奖 ”。 中 微 刻 蚀 产 品还 被 上 海 市知 识产 权 局 评 为 “上 海 市 专 利 新 产 品 ”。中微 公 司 是上 海 市 知 识 产 权 局 评 定 的“上 海 市 知 识 产权 优 势 企 业 ”。
极 具 灵 活 性 。 它在 同一 个 主机 系统 上 可 以配 备双
· 极 高 功 率 的低 频 射 频 偏 压 电源 。 ７ ｋＷ 、２
反应 器 实 现 高 产 出和低 成 本 ，也 可 以配 备 单 反 应 ＭＨｚ偏 压 功 率 可 以提 供 更 高 的 离 子 能 量 ，结 合 可
器 以满 足 关键 刻 蚀 工 艺 中高 抽 速 等 要 求 ， 如 Ｐｒｉ． 以选 配 的 脉冲 射 频 功 率 电源 一起 ， 可 以提 高 在 高 发 明 专 利 情 况 ： Ｐｒｉｍｏ ｉＤＥＡ￣共 申请 了 １０项 专 利 ，包 括 国 内
专 利 ７项 ，海 外 专 利 ３项 。 应 用 于 Ｐｒ ｉｍｏ ｉＤＥＡ固产 品 的 一 项 关 键 专 利
“感 测 和 移 除 被 加 工 半 导 体 工 艺 件 的 残 余 电荷 的 系 统 和 方 法 ”（专 利 号 ：ＺＬ２００９１００４９９６０．６）于 ２０１３ 年 １１月获 得 了 国家 知识 产权 局授 予 的“中 国专 利
应 用 范 围 和 市 场 前 景 ：
中 微 Ｐｒｉｍｏ ｉＤＥＡ￣ 目前 已有 多 台进 入 先 进 的 基 础 ：前 期 产 品 曾先 后 ３０余 次在 国 内外 获 得 知 名
芯 片 生 产线 ，并 已证 明在 避 免 等 离子 体 接 触 器件 带 奖 项 ，包 括 ２００９年 世 界权 威 媒 体 《半 导 体 国际》颁
气 系 统 控 制 ，同 时还 具 有 以下 新 特 性 ：双 频 同步 脉 冲 等 离 子 体 、 可冷 却 的 聚 焦 环 工 艺 组 件 和 更 大 容 量 的分 子 泵 等 。这 些 特 点 对 ２０ ｎｍ 及 以下 的一 些 关 键 应 用 需求 能带 来 很 好 的效 果 。根 据 客 户 要 求 ， Ｐｒｉｍｏ ＳＳＣ ＡＤ．ＲＩＥＴ Ｍ 可 以处 理 多层 薄 膜 刻 蚀 的微 负载 问题 、极 端 边 缘 形 貌 问题 以及 在 高端 存 储 芯 片 中针 对 关键 接 触 性 的刻 蚀 进 行 刻 蚀 终 点控 制 。