最新靶材行业分析报告
靶材行业市场分析
VS
退出壁垒
由于靶材行业的特殊性,企业在进入该行 业后,需要面临较大的退出成本,如固定 资产投资、技术转让费用等;同时,企业 在退出该行业后,可能会面临技术保密、 商业机密泄露等风险。
04
靶材行业发展趋势
技术创新推动行业发展
靶材制备技术不断进步
随着科技的不断进步,靶材的制备技术也在不断革新,如真空熔炼、粉末冶金 、物理气相沉积等技术的改进,提高了靶材的质量和性能。
技术优势
拥有先进的合成技术和独特的生 产工艺,产品具有优异的性能和 加工特性
新兴靶材企业案例
案例二:某新兴靶材企业F 成立时间:XXXX年 总部地点:XX国家
新兴靶材企业案例
主要产品
纳米级金属氧化物靶材等
市场份额
新兴市场,正在积极开拓市场份额
技术优势
专注于纳米技术领域,产品具有高附加值和广泛应用 前景
新材料的应用
新型材料的出现和应用,如高纯度金属、陶瓷等,为靶材的制备提供了更多的 选择,推动了靶材行业的发展。
环保政策对行业的影响
环保标准提高
随着全球环保意识的提高,各国政府纷纷出台更为严格的环保法规和标准,对靶 材行业提出了更高的要求。
环保技术的推广
为了满足环保法规和标准,靶材企业需要不断推广和应用环保技术,如废气、废 水处理技术等,这将对行业的发展产生积极的影响。
靶材行业市场分析
汇报人: 2023-12-31
目录
• 靶材行业概述 • 靶材市场现状 • 靶材行业竞争格局 • 靶材行业发展趋势 • 靶材行业风险与机遇 • 靶材行业案例研究
01
靶材行业概述
靶材定义与特性
靶材定义
靶材是指用于制造薄膜、涂层、镀层 等材料的原材料,通过物理或化学气 相沉积、溅射、离子注入等工艺,将 靶材转化为所需的薄膜或涂层。
新材料靶材发展前景分析
根据应用领域和制备方法的不同 ,靶材可分为金属靶材、合金靶 材、陶瓷靶材等。
靶材的应用领域
01
02
03
电子信息产业
靶材在集成电路、平板显 示、太阳能电池等领域得 到广泛应用。
新能源产业
靶材在锂离子电池、燃料 电池等领域具有重要应用 。
航空航天领域
靶材在高温合金、复合材 料等领域具有重要应用。
技术合作
靶材企业将加强与国际先进企业 的技术合作,共同研发新技术、 新产品,提高国际竞争力。
市场拓展
通过国际合作与交流,靶材企业 将拓展国际市场,提高产品知名 度和市场份额。
人才培养
靶材企业将加强与国际先进企业 的合作与交流,培养高素质的人 才队伍,提高企业的创新能力。
05
新材料靶材的应用前景
新能源领域的应用前景
新材料靶材发展前景分析
汇报人:文小库 2023-12-30
目录
• 靶材材料简介 • 新材料靶材的技术发展 • 新材料靶材的市场前景 • 新材料靶材的发展趋势与展望 • 新材料靶材的应用前景
01
靶材材料简介
靶材的定义与分类
靶材定义
靶材是指用于制造薄膜、涂层等 材料的物质,通过物理或化学气 相沉积等方法将靶材转化为薄膜 。
新材料靶材的技术发展
高纯度靶材制备技术
总结词
高纯度靶材是新材料靶材的重要发展方向,其制备技术不断提高,以满足高精 度、高效率的溅射需求。
详细描述
高纯度靶材的制备技术包括真空熔炼法、粉末冶金法、化学气相沉积法等,这 些技术能够降低杂质含量,提高靶材纯度,从而提高溅射膜层的性能。
高性能靶材制备技术
总结词
航空航天领域对材料性能要求极高,新材料靶材 在高温、高压、高强度等极端环境下具有优异表 现,市场潜力巨大。
2023年金属靶材行业市场前景分析
2023年金属靶材行业市场前景分析随着各行业的快速发展,金属靶材产业也迎来了巨大的发展机遇。
金属靶材广泛应用于半导体、太阳能电池、显示器、LED等微电子领域,以及高纯金属和合金的制备等多个关键领域。
因此,金属靶材行业市场前景十分广阔。
一、政策利好推动金属靶材市场需求政策支持是金属靶材市场发展的核心推动力。
随着人们对绿色能源、新能源和智能化产业的需求不断提升,国家逐渐加强支持相关的产业政策,在这个背景下,金属靶材产业表现十分亮眼。
例如,近年来国家对LED产业的重视和扶持政策已经成形,LED 产业对金属靶材的需求增加,这为金属靶材市场创造了更大的发展机会。
二、市场需求增长明显,潜力无限金属靶材作为一种氧化物材料,在微电子领域有着广泛的应用,特别是在大规模集成电路的制造和二象管的生产过程中,其应用无法替代。
随着数字化时代的到来,半导体产业将迎来更快速的发展,这将对金属靶材市场增长带来有力的推动力。
同时,太阳能电池、显示器产业也在不断发展壮大,对金属靶材产业的需求也在逐渐增加。
三、技术创新不断推动行业发展随着技术的不断进步和产业的发展,金属靶材产业已经从以往的简单生产向科技含量低的方向发展到高科技领域。
目前,各大企业不断投入研发资金,开展技术创新,不断推动金属靶材产业的发展。
例如,采用以夹杂物清净度为标准的新制程技术开发更高档次的金属靶材;采用高效的制造工艺和新工艺技术,生产出更加精细的芯片,提高金属靶材产品的质量,满足市场的需求。
综上所述,金属靶材行业市场前景广阔,随着技术的不断创新和政策的支持,金属靶材市场需求将持续增长,潜力无限。
因此,对金属靶材产业进行深入研究,开展有效推广,将会是未来市场发展的重要趋势,也为相关企业增加了无限机遇。
2024年高纯贵金属靶材市场需求分析
2024年高纯贵金属靶材市场需求分析引言高纯贵金属靶材被广泛应用于半导体、光电、太阳能等高科技领域,是关键的材料之一。
随着科技和工业的发展,高纯贵金属靶材市场也在迅速增长。
本文将对高纯贵金属靶材市场的需求进行分析,并探讨其发展前景。
1. 高纯贵金属靶材市场概述高纯贵金属靶材市场是指贵金属材料制备的靶材市场。
贵金属具有良好的电学、热学和化学性能,适用于制备出高纯度的薄膜材料。
高纯贵金属靶材主要包括金(Au)、银(Ag)、铂(Pt)、钯(Pd)、铑(Rh)等贵金属。
2. 2024年高纯贵金属靶材市场需求分析高纯贵金属靶材市场的需求受到以下几个方面的影响:2.1 电子行业的发展随着电子行业的迅猛发展,高纯贵金属靶材的需求也在不断增加。
电子行业中的半导体、光电和显示器件等都需要使用高纯贵金属靶材来制备薄膜材料,因此对高纯贵金属靶材的需求量较大。
2.2 新能源行业的兴起近年来,随着环境保护意识的增强和新能源技术的不断发展,新能源行业呈现出快速增长的态势。
太阳能电池、燃料电池等新能源设备都需要使用高纯贵金属靶材,这也带动了高纯贵金属靶材市场的增长。
2.3 科研领域的需求科研领域对高纯贵金属靶材的需求量也相当可观。
科研人员常常需要制备各种特殊材料的薄膜,以探索新的物性和应用。
高纯贵金属靶材提供了制备高质量薄膜的重要基础,因此科研领域对高纯贵金属靶材的需求很大。
3. 高纯贵金属靶材市场发展前景高纯贵金属靶材市场的发展前景十分广阔。
随着科技的不断进步,各个领域对高纯贵金属薄膜材料的需求将持续增长。
另外,环境保护和节能的要求也在推动高纯贵金属靶材的应用发展。
高纯贵金属薄膜材料具有优异的导电性能,可应用于太阳能电池、导电玻璃等领域,为新能源和节能产业发展提供技术支持。
此外,高纯贵金属靶材的制备技术也在不断改进和创新,降低了制备成本,提高了材料纯度和均匀性。
这将进一步推动高纯贵金属靶材市场的发展。
结论高纯贵金属靶材市场的需求在电子、新能源和科研等领域不断增长。
高性能靶材行业分析报告
高性能靶材行业分析报告高性能靶材行业分析报告一、定义靶材,是指用于制造半导体硅片、光学膜、电子元器件、电视机和计算机显示屏幕等微电子材料的纯化金属或化合物。
高性能靶材是制造高品质微电子器件需求的特殊靶材,重点制造的材料为镍、铜、铬、铝、钛、锌等金属,以及氧化铌、氧化锡等化合物。
二、分类特点1.按用途分类,分为单晶和多晶靶材。
2.按制造工艺分类,分为电弧靶材、烧结靶材、浸渍靶材等。
3.按材料分类,主要为金属靶材和氧化物靶材。
4.重点指标为纯度、臭氧等级和比阻。
三、产业链高性能靶材行业的产业链分为上游原材料市场、生产加工市场、终端应用市场3个环节。
四、发展历程高性能靶材行业主要经历了以下发展历程:1.起步阶段:1990年代初期使用了手工制作方法;2.新兴阶段:1990年代中期使用了微波等新技术;3.成熟阶段:2000年代以来,各地区逐渐为核心集成电路制造厂商形成了供应链。
五、行业政策文件2018年国家发展改革委印发《关于加快半导体材料产业发展的指导意见》,对半导体制造原材料等关键法材料提出了优惠政策。
六、经济环境随着信息技术和互联网的快速发展,半导体产业成为了国家信息化战略发展的重点和支柱产业。
七、社会环境半导体产业成为促进经济发展和提高人民生活质量的重要促进力量。
八、技术环境随着微电子器件制造工艺的不断推进和创新,对于高性能靶材纯度提出了更高的要求,需要更加精细的加工技术和生产工艺。
九、发展驱动因素国家信息化战略、高新技术产业支柱、微电子市场需求、核心产品价格涨势等均为高性能靶材行业发展的驱动因素。
十、行业现状高性能靶材行业已形成了比较稳定的市场格局,国内企业主要是靠拷贝其他国家和地区技术后建设生产线来实现。
同一颗晶心的靶材和其他同种类型靶材的竞争普遍存在。
十一、行业痛点1.核心技术实现难度高、研发成本高、上市周期长;2.质量、价格竞争激烈、市场情况复杂灵动;3.国内靶材生产商对市场的准确需求尚不明确。
高性能靶材行业分析报告
高性能靶材行业分析报告高性能靶材行业分析报告一、定义高性能靶材指的是在高温、高压、高真空等特殊环境下使用的高纯度金属材料。
主要用于制造半导体、平面显示和光电子等高科技领域的芯片材料。
二、分类特点高性能靶材按制造材料分为金属靶材和化合物靶材。
金属靶材是用优质金属进行制造的,主要用于制造低价值、小尺寸的半导体材料。
化合物靶材则是在金属基体上淀积化学元素制成的复合材料。
由于其化学活性强、热膨胀系数小等特性,化合物靶材逐渐取代了金属靶材的地位。
三、产业链高性能靶材产业链包含了高纯度金属提纯、靶材制备、芯片制造、设备制造等多个环节。
其中,靶材制备和芯片制造是产业链中的核心环节。
同时,高性能靶材的市场发展与半导体行业的发展密切相关。
四、发展历程高性能靶材作为芯片材料的重要组成部分,从上世纪80年代开始进入中国市场。
随着太阳能、LED、半导体等高科技产业的快速发展,高性能靶材市场逐渐壮大。
目前,中国在金属靶材生产方面已具有相当的规模和技术积累。
五、行业政策文件及其主要内容国家发改委等多部门出台的政策文件主要包括:1.《半导体产业结构调整指导意见》:提出了对芯片材料行业的支持政策,鼓励企业提高产业集中度和技术创新能力。
2.《关于支持集成电路产业发展的若干意见》:提出了加强高性能靶材技术研发和产业化的支持政策,以提升中国芯片材料产业的核心竞争力。
3.《关于深化科技体制改革加快构建创新型国家的若干意见》:提出了加强基础研究和原始创新的支持政策,为高性能靶材行业的技术创新提供更好的政策保障。
六、经济环境随着科技产业的快速发展,高性能靶材市场规模逐年增大。
2020年全球高性能靶材市场规模达到78亿美元,预计未来几年将保持较快增长。
中国高性能靶材行业作为全球重要的制造基地,市场规模也在不断扩大。
七、社会环境高性能靶材的应用领域主要集中在高科技产业中,如半导体、LED、太阳能等。
这些产业的发展对中国社会经济发展具有重要意义,也为高性能靶材行业提供了广阔的市场空间和发展机遇。
高纯铝靶材市场分析报告
高纯铝靶材市场分析报告1.引言1.1 概述概述:高纯铝靶材是一种用于制备薄膜材料的重要材料,具有纯度高、热导率高、化学稳定等特点,被广泛应用于光电子、显示器件、太阳能电池等领域。
本文将对高纯铝靶材市场进行全面分析,包括市场现状、发展趋势、市场机遇与挑战等方面,旨在帮助读者深入了解高纯铝靶材市场,为相关行业提供参考和指导。
1.2 文章结构文章结构部分的内容可以包括以下信息:本报告分为引言、正文和结论三部分。
引言部分主要概述高纯铝靶材市场分析报告的背景和意义,以及总结本篇报告的目的。
正文部分包括高纯铝靶材的定义与特点、市场现状分析以及市场发展趋势预测。
结论部分将分析市场机遇与挑战,提出建议与展望,并对整个报告进行总结。
通过以上结构的安排,本报告将全面展现高纯铝靶材市场的分析情况,为相关行业提供参考和指导。
1.3 目的目的部分的内容:本报告旨在对高纯铝靶材市场进行全面分析,探讨其定义、特点、市场现状及发展趋势,并提出市场机遇与挑战,以及针对市场发展的建议与展望。
通过对市场进行深入研究和分析,旨在为相关行业提供有益的参考和决策依据,促进高纯铝靶材市场的健康发展。
文章1.4 总结部分的内容可以包括对整篇文章的主要内容进行概括和总结,强调高纯铝靶材市场的重要性和发展前景。
同时,可以提出对于未来市场发展的展望和建议,以及对市场机遇与挑战的分析。
这部分内容应该简洁明了,让读者对整篇文章的主要观点有一个清晰的了解。
2.正文2.1 高纯铝靶材的定义与特点2.1.1 定义高纯铝靶材是一种用于物理蒸发沉积和磁控溅射制备薄膜的重要材料,其纯度通常达到99.999以上。
它是一种用途广泛的材料,可应用于光学涂层、导电膜、防腐蚀涂层等领域。
2.1.2 特点高纯铝靶材具有以下特点:- 高纯度:其纯度通常在99.999以上,能够有效保证薄膜制备的质量和性能。
- 耐腐蚀性:高纯铝靶材具有较好的耐腐蚀性能,能够在复杂的工艺环境下稳定工作。
靶材行业深度研究报告
靶材行业深度研究报告
报告概述:
本报告对靶材行业进行了深入研究,包括行业概览、发展历程、市场情况、竞争格局等方面的内容。
通过对行业内主要企业的分析和对相关数据的整理,旨在为投资者、企业决策者和研究人员提供关于靶材行业的全面了解和深入分析。
报告内容:
1. 靶材行业概述:介绍靶材的定义、分类、用途和市场规模等基本信息。
2. 行业发展历程:回顾靶材行业的发展历程,分析其发展趋势和关键驱动因素。
3. 市场情况分析:分析靶材行业的市场状况,包括市场规模、市场供需关系、主要应用领域等方面。
4. 竞争格局分析:通过对行业内主要企业的竞争格局进行分析,包括企业市场份额、产品差异化、技术研发能力等方面。
5. 投资机会和风险评估:对靶材行业的投资机会和风险进行评估,并提供相关建议和策略。
6. 行业发展趋势:分析靶材行业的发展趋势,包括技术创新、市场需求变化、政策环境等方面。
7. 未来展望:对靶材行业的未来发展进行展望,提出行业发展的预测和预期。
报告结论:
通过对靶材行业的深度研究,可以得出以下结论:
1. 靶材行业具有较高的市场潜力,受到广泛应用领域的需求推动。
2. 竞争格局较为激烈,主要企业之间的竞争主要体现在产品质量、技术研发能力和售后服务等方面。
3. 技术创新和产品差异化是企业获得竞争优势的关键因素。
4. 面临的风险主要包括原材料价格波动、环保政策变化和市场需求不确定性等方面。
5. 随着新兴技术的发展和市场需求的变化,靶材行业将继续保持良好发展势头。
本报告旨在为投资者、企业决策者和研究人员提供相关信息和参考,以便更好地了解靶材行业的发展状况和投资机会。
2024年镀膜靶材市场分析报告
2024年镀膜靶材市场分析报告引言本报告旨在对镀膜靶材市场进行全面分析,包括市场规模、市场趋势、竞争态势以及未来发展前景等方面,以帮助读者全面了解该市场并为相关行业提供参考。
市场规模根据调研数据显示,镀膜靶材市场在过去几年保持了较为稳定的增长趋势。
预计在未来几年中,市场规模将进一步扩大。
这主要得益于光电子、半导体、太阳能等领域的快速发展以及对高质量镀膜材料的需求增加。
市场趋势随着科技的进步和产业升级,镀膜靶材市场存在以下几个趋势:1.高纯度材料需求增加:随着效率和性能要求的提高,对高纯度镀膜靶材的需求也在增长。
高纯度材料不仅能够提供更好的性能和稳定性,还能降低制造过程中的污染和损失。
2.新兴应用市场增加:随着人工智能、云计算和物联网等技术的快速发展,相关设备和领域对镀膜靶材的需求也在逐渐增加。
例如,半导体设备、光学层析成像等领域都对高质量镀膜靶材有着较高的需求。
3.创新材料的应用:近年来,一些新型材料如氧化锌、银、钢等也被广泛应用于镀膜靶材制造中。
这些创新材料能够提供更好的性能和更广泛的应用领域,成为市场的新亮点。
竞争态势镀膜靶材市场存在激烈的竞争。
目前,市场上有众多的制造商和供应商,形成了一定的竞争格局。
主要竞争因素包括产品质量、价格、交货时间以及技术支持等方面。
在竞争激烈的环境下,制造商需要不断提高产品质量,降低成本,以保持竞争优势。
技术创新和研发投入也成为制造商获取竞争优势的关键。
发展前景镀膜靶材市场具有广阔的发展前景。
随着各种行业的快速发展和技术进步,对高质量镀膜材料的需求将会持续增加。
特别是在人工智能、半导体、生物医疗等领域,镀膜靶材的应用前景较为广泛。
然而,市场竞争也将会随着时间的推移变得更加激烈。
为了在市场竞争中取得优势,制造商需要不断提高产品质量、降低成本,并不断进行技术创新。
结论综上所述,镀膜靶材市场具备稳定增长的潜力和广阔的发展前景。
然而,制造商需要密切关注市场趋势和竞争动态,持续进行技术研发和创新,以保持市场竞争优势并满足不断增长的市场需求。
半导体靶材市场调研报告-主要企业、市场规模、份额及发展趋势
半导体靶材市场报告主要研究:半导体靶材市场规模:产能、产量、销售、产值、价格、成本、利润等半导体靶材行业竞争分析:原材料、市场应用、产品种类、市场需求、市场供给,下游市场分析、供应链分析、主要企业情况、市场份额、并购、扩张等半导体靶材是半导体制造过程中至关重要的原材料,用于薄膜沉积和物理气相沉积(PVD)等关键技术环节。
导体靶材是半导体材料的一种,具有介于导体和绝缘体之间的导电能力。
这种材料是制作半导体器件和集成电路的基础,对现代信息技术发展起着关键作用。
随着半导体技术的飞速发展,对靶材的纯度要求越来越高。
未来,高纯度半导体靶材的研发和生产将成为主流趋势。
大尺寸半导体靶材可以满足更大规模的集成电路制造需求,提高生产效率,因此大尺寸化也是一个重要的发展方向。
为了满足不同应用领域的需求,未来半导体靶材将朝着多元化和复合化的方向发展,例如制备出具有特定性能的复合靶材,以满足特定应用场景的需求。
据世界半导体贸易统计组织(WSTS)数据,该行业在2022年经历了重大起伏。
虽然芯片销售在2022年达到了有史以来最高的年度总额,但下半年的放缓大大限制了增长。
2022年,全球半导体销售额达到5740亿美元,其中美国半导体公司的销售额总计为2750亿美元,占全球市场的48%。
为了保持行业竞争力,美国半导体企业在研发方面的投资也达到了历史最高水平588亿美元。
从历史上看,PC/计算机和通信终端市场约占总销售额的三分之二,汽车、工业和消费电子等行业占其余部分。
但根据WSTS的2022年半导体最终用途调查,2022年终端市场的销售额显示出明显的变化。
虽然PC/计算机和通信终端市场仍占2022年半导体销售的最大份额,但其领先优势缩小了。
与此同时,汽车和工业应用经历了今年最大的增长。
(Win Market Research)辰宇信息着重分析半导体靶材行业竞争格局,包括全球市场主要厂商竞争格局和中国本土市场主要厂商竞争格局,重点分析全球主要厂商半导体靶材产能、销量、收入、价格和市场份额,全球半导体靶材产地分布情况、中国半导体靶材进出口情况以及行业并购情况等。
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靶材行业分析报告内容目录靶材行业简介 (7)靶材的分类及应用 (7)靶材的制备方法 (9)靶材行业的生产的技术壁垒 (10)溅射靶材产业链及市场容量 (11)靶材上游产业主要被国外垄断 (12)高纯铝是我国靶材上游材料的突破口 (12)半导体靶材:是国内技术最为领先的半导体材料 (12)平面显示靶材:柔性显示的推广将加速扩大靶材市场空间。
(13)太阳能靶材:主要应用于薄膜太阳能电池中 (15)国内靶材发展现状和未来发展空间 (15)受政策和需求双重推动,国内靶材行业发展空间巨大 (17)与下游企业的共同研发和认证过程是目前国内靶材行业发展的最大挑战 (17)投资建议 (19)风险提示 (19)图表目录图表1:溅射靶材工作原理 (7)图表2:溅射靶材种类 (7)图表3:下游产业结构变化 (8)图表4:集成电路产业中高纯金属靶材及其应用 (8)图表5:平面显示行业镀膜工艺 (9)图表6:靶材应用在薄膜太阳能电池 (9)图表7:溅射靶材生产工艺流程 (10)图表8:靶材的晶粒晶向控制 (11)图表9:溅射靶材产业链 (11)图表10:高纯金属铝进口为主 (12)图表11:高纯铝产量高速增长 (12)图表12:全球半导体用溅射靶材市场(亿美元) (13)图表13:国内半导体芯片用靶材市场(亿元) (13)图表14:国内在建的12吋晶圆制造厂 (13)图表15:国内平板显示产业市场(亿元) (14)图表16:国内触控屏产品出货量(亿片) (14)图表17:全球平板显示用靶材市场规模(亿美元) (14)图表18:国内平板显示用溅射靶材市场爆发(亿元) (14)图表19:国内累计光伏装机容量(GW) (15)图表20:全球太阳能电池用溅射靶材市场(亿美元) (15)图表21:国内太阳能电池用溅射靶材市场(亿元) (15)图表22:全球主要溅射靶材企业 (16)图表23:国内溅射靶材主要上市公司 (16)图表24:近年来行业相关政策 (17)靶材行业简介溅射工艺属于物理气相沉积(PVD)技术的一种,是制备电子薄膜材料的主要技术之一。
在电子信息产业的发展过程中,金属薄膜的制备十分重要。
溅射工艺利用离子源产生的离子,在真空中加速聚集成高速离子流,轰击固体表面,离子和固体表面的原子发生动能交换,使固体表面的原子离开靶材并沉积在基材表面,从而形成纳米(或微米)薄膜。
被轰击的固体是溅射法沉积薄膜的原材料,称为溅射靶材。
靶材质量的好坏对薄膜的性能起着至关重要的决定作用,因此,靶材是溅射过程的关键材料。
图表1:溅射靶材工作原理靶材的分类及应用靶材因其成分、形状和应用领域不同,可以采用不同的分类方法。
图表2:溅射靶材种类靶材主要应用在半导体、平面显示、太阳能电池等领域。
其主要性能表现在纯度、杂质含量、密度、均匀性、尺寸等方面。
因应用领域不同靶材对金属材料的选择和性能要求存在着一定的差异,通常来说半导体靶材纯度最高,制作工艺最为复杂,平板材料次之,太阳能电池材料标准最低。
图表3:下游产业结构变化半导体靶材是晶圆制造重要的原材料,主要以铜靶、铝靶、钛靶和钽靶等为主。
半导体芯片行业历经半个世纪,目前仍遵循着“摩尔定律”向前发展。
在晶圆制造方面,芯片尺寸不断减小(目前主流28纳米以下),同时晶圆尺寸不断增大以进一步降低成本(目前12英寸是主流)。
在集成电路领域主要应用在晶圆制造和先进封装过程中。
为了满足半导体芯片高精度、小尺寸的需求,芯片制造对溅射靶材纯度要求很高,通常需达99.9995%(5N5)甚至99.9999%(6N)以上,这在各下游应用中要求是最高的,价格也最为昂贵。
图表4:集成电路产业中高纯金属靶材及其应用平板显示镀膜用溅射靶材主要品种有:铝、铝合金、钼、铬、铜、铜合金、硅、钛、铌和氧化铟锡(ITO)等。
平面显示面板的生产工艺中,屏显玻璃基板要经多次溅射镀膜形成ITO 玻璃,然后再经过镀膜、加工组装用于生产LCD 面板、PDP 面板及OLED面板等。
对于触控屏,则还需将ITO 玻璃进行加工处理、经过镀膜形成电极,再与防护屏等部件组装加工而成。
此外,为了实现平板显示产品的抗反射、消影等功能,还可以在镀膜环节中增加相应膜层的镀膜。
平面显示行业一般要求靶材纯度达99.999%(5N)以上。
图表5:平面显示行业镀膜工艺太阳能电池用溅射靶材主要品种有铝、铜、钼、铬、氧化铟锡(ITO)、氧化铝锌(AZO)等。
太阳能电池主要包括晶体硅太阳能电池和薄膜太阳能电池。
目前,PVD 镀膜工艺主要应用于制备薄膜太阳能电池,靶材纯度一般要求4N 以上。
其中,铝靶、铜靶用于导电层薄膜,钼靶、铬靶用于阻挡层薄膜,ITO 靶、AZO靶用于透明导电层薄膜。
图表6:靶材应用在薄膜太阳能电池靶材的制备方法溅射靶材在制备技术上按生产工艺可分为熔融铸造法和粉末冶金法两大类。
在靶材制备过程中,在严格控制纯度、致密度、晶粒度、结晶取向的基础上,通过选择不同的热处理工艺及后续成型加工过程以确保靶材的质量。
图表7:溅射靶材生产工艺流程(1)熔融铸造法熔融铸造法是制备磁控溅射靶材的基本方法之一,常用的熔炼方法有真空感应熔炼、真空电弧熔炼和真空电子轰击熔炼等。
高纯金属如Al、Ti、Ni、Cu、Co、Ta、Ag、Pt等具有良好的塑性,直接在原有铸锭基础上进一步熔铸后,进行锻造、轧制和热处理等热机械化处理技术进行微观组织控制和坯料成型。
与粉末冶金法相比,熔融铸造法生产的靶材产品杂质含量低,致密度高,但材料内部存在一定孔隙率,需后续热加工和热处理工艺降低其孔隙率。
(2)粉末冶金法对于难熔金属靶材、熔点和密度相差较大的多种金属合金靶材、无机非金属靶材、复合靶材的制备而言,熔融铸造法无能为力,需要采用粉末冶金法。
粉末冶金工艺首先进行粉体材料的预处理,包括采用粒度和形貌合适的高纯金属粉末进行均匀化混合、造粒等,再选择合适的烧结工艺,包括冷等静压(CIP)、热压(HP )、热等静压(HIP )及无压烧结成型等。
其关键在于:选择高纯、超细粉末作为原料;选择能实现快速致密化的成形烧结技术,以保证靶材的低孔隙率,并控制晶粒度;制备过程严格控制杂质元素的引入。
粉末冶金工艺还具有容易获得均匀细晶结构、节约原材料、生产效率高等优点。
靶材行业的生产的技术壁垒高纯溅射靶材行业是典型的技术密集型行业,要求业内厂商具有较强的技术研发实力和先进的生产工艺,具有完善的品质控制能力。
其主要技术门槛表现在以下几个方面。
纯度和杂质含量控制是靶材质量最重要的指标。
靶材的纯度对溅射薄膜的性能有很大影响。
若靶材中夹杂物的数量过高,在溅射过程中,易在晶圆上形成微粒,导致互连线短路或断路。
靶材的成分与结构均匀性也是考察靶材质量的关键。
对于复相结构的合金靶材和复合靶材,不仅要求成分的均匀性,还要求组织结构的均匀性。
晶粒晶向控制是产品研发主要攻克的方向。
溅射镀膜的过程中,致密度较小的溅射靶材受轰击时,由于靶材内部孔隙内存在的气体突然释放,造成大尺寸的靶材颗粒或微粒飞溅,或成膜之后膜材受二次电子轰击造成微粒飞溅,这些微粒的出现会降低薄膜品质。
例如在极大规模集成电路制作工艺过程中,每150mm直径硅片所能允许的微粒数必须小于30个。
怎样控制溅射靶材的晶粒,并提高其致密度以解决溅射过程中的微粒飞溅问题是溅射靶材的研发的关键。
靶材溅射时,靶材中的原子最容易沿着密排面方向优先溅射出来,材料的结晶方向对溅射速率和溅射膜层的厚度均匀性影响较大,最终影响下游产品的品质和性能。
需根据靶材的组织结构特点,采用不同的成型方法,进行反复的塑性变形、热处理工艺加以控制。
图表8:靶材的晶粒晶向控制金属精密加工和外形控制直接影响下游客户的使用效果。
用于靶材溅射的机台十分精密,对溅射靶材的尺寸要求很高,这对靶材厂商的金属加工精度和加工质量提出了很高的要求,如表面平整度等。
例如,靶材粗糙化处理可使靶材表面布满丰富的凸起尖端,这些凸起尖端的电势将大大提高,从而击穿介质放电,但过大的凸起对于溅射的质量和稳定性是不利的。
随着薄膜技术的发展、芯片性能的提升,对配套溅射靶材在纯度、微观结构、可靠性等方面提出了越来越高的要求。
集成电路产业60年代起源于美国,80年代行业重心转向日本,90年代又转向韩国、台湾。
因而在靶材生产方面,日、美靶材企业得以与Intel、IBM等微电子巨头一起调试工艺,推进薄膜制备技术发展,具有很大的技术和品牌优势。
与之相比,虽然近年来半导体产业加速向我国转移,国内半导体产业正在迎来黄金期,但总体而言我国半导体行业尤其是中上游的电子化学品、化学材料产业仍处于起步阶段。
而我国一些靶材生产商是冶金材料企业,对半导体企业等使用方的实际需求很难做到“量体裁衣”。
这也要求国内靶材厂商对客户实际需要进行深刻、透彻的研究,与使用方一起完善工艺。
随着国内下游半导体、平面显示产业的发展,电子化学品需求量巨大,进口替代空间广阔,国内靶材企业有很大的发展空间。
溅射靶材产业链及市场容量溅射靶材产业链主要包括金属提纯、靶材制造、溅射镀膜和终端应用等环节,其中,靶材制造和溅射镀膜环节是整个溅射靶材产业链中的关键环节。
图表9:溅射靶材产业链。