rena设备维护中文版
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登陆
• • 如果没有用户登陆点击login按键 输入用户名和密码
•
• •
登出
点击login，就会自动登出 所有的界面显示将会关闭
REVIS Training
Headline – „Menu...― button
• • 进入常规显示 报警分类
•
•
当前报警显示
历史报警显示 历史数据显示 登录文件显示 报警报告显示 用户管理显示
手动功能模块:
• •
显示动态的流量图 显示有效的手动功能
REVIS Training 显示举例
模块数字输出:
• •
显示通过远见设定的输出值 双击可设定输出值
REVIS Training 任务管理菜单
工作框架按钮
任务按钮
REVIS Training
任务管理菜单源自文库
全屏 状态栏置平
状态栏垂直
关闭所有任务栏
校准:
1. 打开元件菜单再点击show 2. 在右上角将会显示有效的校准功 能键
REVIS Training 参数
参数类型:
1. 设定参数(指定的 硬件参数设置) 2. 配方参数(指定的工艺参数设置) 3. Knowhow 中被保护的参数(指定 RENA knowhow 设置)
参数显示:
1. 每个模块的每个类型显示在一起 2. 参数是和配置文件profile 储存在一起
蓝色
持续亮 关 闪烁
1.1.2 PC中显示状态及灯塔颜色初判报警级别
灯塔报警颜色表示报警级别
1.1.3 设备内自设的权限
这是设备内部的所有的用户名及密码，级 别由低到高
1.1.4 用户登录
点击 login
登陆界面出现
输入用户名和密码，点击 OK
维修 1.1更换及清洗滤芯
• • • • 更换清洗滤芯用于 刻蚀槽，酸槽，碱槽。 1.1.1 准备 登入界面：输入用户名和密码 将设备状态打到manual模式
•
文件种类
• •
• •
报告种类
• •
REVIS 系统种类
REVIS Training 导航栏
被选菜单
被选菜单的子菜单
点击Show 键打开屏显示 子菜单内容
REVIS Training 显示 举例。
设备显示界面全貌:
• • • •
包括所有独立的设备模块 显示所有模块的状态和重要的参数 显示主要模块的设置参数 生产功能键(例如. 开始生产，手动 模式，服务模式，开门 关门等.)
REVIS Training
Service 模式 – 设定输出值
IO 显示:
1. 2. 3. 4. 5. 点击show 进入模块显示 从标签栏中选中IO output 进入 从菜单中双击输出值 在弹出对话框中设定新值 点击„OK― 将新的值写入PLC中
REVIS Training
Service 模块 – 校准
主标
• 主标 • 登入/登出 • 最近报警 • 信息/主菜单栏 导航栏 子菜单的目录 进入显示，点击show― • 任务键 • 最近10个任务显示 • 快速显示切换 • 工作界面操作按钮 工作界面 • 大体的界面信息
任务键 导 航栏
工作界面
REVIS 软件培训
Headline – Login / Logout
RENA设备一般操作及 个别配件保养
操作 1.1.1设备指示灯及所代表的状态
颜色 状态 信号声音 表示 提示有报警信息 提示有不能删除的报警（级别最高 ） 手动操作 提示有报警信息 自动操作，生产中 初始化阶段 待机，上料台没片
持续亮 关 红色 闪烁 黄色 开
持续亮 关 闪烁 开
绿色
持续亮 关 闪烁 关
A.Niak上酸前注意事项
1. 2. 3. 4. 5. 6. • • 检查滚轮安装状况（水平，位置，数量等）； 检查前后挡板的高度（主要影响刻蚀槽循环流量及刻蚀线的好坏）； 检查DI的喷淋状况（Rinse1，Rinse2,及Rinse3）； 排风的调整，尤其是刻蚀的刻蚀槽排风（对稳定性要求较高）； 水测即在机台加水的前提下跑片看硅片在个槽体运行状况； 配方设定； 7. 检查各槽的滤芯是否安装； 8. 初次配液校准以及补液量的校准（DI，HF，HNO3，HCL，KOH）；
1.3
1。点击transport 2，点击sequence show 3. 点击 start transport 让滚轮转 4. 当链条的卡扣转至上面时，点击 stop transport 让滚轮停
1.3
5.拔掉 电源
6.松掉 图上所 示的所 有螺丝， 这样子 就可以 使链条 放松， 然后可 以通过 调节卡 扣的位 置来调 节链条 的松紧 度
REVIS Training 历史数据
历史数据描述:
1. 2. 3. 4. 5. 历史数据显示(按时间) 曲线图(器件的实时数据监测曲线) 报告 (此刻的有效报警信息) 分析 (实时记录– 计划) 历史报警显示
操作:
1. 一些过滤后的选项(时间范围, 值得设定, ...) 2. 以文件格式导出数据
57
Step6---称量容器中所接水的重量反复做3次，将最后所得平均值写 入配方
58
Step7---校正玩将机台切换至手动模式
59
Step8---继续做化学品校准，点击 ‘Start calibration’ 按钮
60
B.Niak第一次配液后注意事项；
1. 2. 3. 检查补液量； 试跑假片，检查wafer在各槽体运行状况； 生产经扩散后的片子，看刻蚀边状况；
Drain acid
工艺槽正在排药液
REVIS Training service 功能
ATTENTION: low level functions with limited security validation machine can be damaged
Service 功能:
• 只在service模式下有效 • 设定输出值(从流程图, 从IO显示) • 培训操作(具体的培训对话框) • 校准 (各个元件的校准按钮)
带好防护用具，按照 图示将滤芯拆下 ，切 记注意酸的溅漏。
拆下滤芯清洗， 或者更换新的滤 芯，然后再装回 去
1.2 更换风刀的滤芯
• 风刀的滤芯是过滤车间的空气，使得利用进入风刀的空气洁净， 不影响硅片质量，长时间使用后要及时的清理或者更换滤芯。
红色标注部分为空 气滤芯的位置
将支撑杆拆下就 可以将两个滤芯 拆下清洗或者更 换
1.2
同时，将蓝色的海绵滤芯也要进行清 洗和更换
1.3维修 更换传动链
• 有时候随着设备的长时间使用，传动链会有些松动，这个时候就 需要维护的时候查看，是否需要将它调节。 • 1先将设备运行状态必须切换到service模式，只有在此模式下， 才能单独让滚轮转起来 • 同事要将上下料台的齿轮保护盖板拆下，将前面门板的上下料台 部分打开，以便检查上下料台处2个电机的工作状态。
REVIS Training 历史数据– 报警报告
怎样操作:
1. 从弹出菜单„Menu.选择显示报警 信息. 2. 设定时间范围 3. 点击„Refresh― 刷新数据，然后 显示 4. 选择„Alarm counts total― 或者 „Alarm counts per module― 标签
REVIS Training 手动功能
区域调节滚轮水平，要参考 横向和纵向的两个位置
1.4
两个部分的交界处可以用2片硅片 比较着调节滚轮的高度，只要在不 通区域内的硅片能在同一水平面， 就默认为这两部分的水平在一条水 平面上。
有时，胳臂地 方需要用橡胶 锤敲实，才能 使得调好的水 平之后没有多 大变化。
REVIS Training 客户端
上料台 工艺槽 清洗1 碱槽 清洗2
下料台
风刀
清洗3
酸槽
1.4上料台
滚轮离地面的高度 为95厘米，特殊情 况下为了匹配上下 料台可以适当的上 调2cm-4cm
95cm
1.4
标注过的螺母是调节滚轮 水平的关键，调节时首先 要适当的松开
1.4
用水平尺首先从上料台 开始调起，首先单个滚 轮开始调
1.4
Step2
Step3
Step4
Step5
Step6
Step7
• 校正玩将机台切换至手动模式；
• 继续做化学品校准，点击 ‘Start calibration’ 按钮；
Step8
52
Step1---排空上槽及下槽药液
2016/9/27
53
Step2---将机台切换至安全模式即service模式
2016/9/27
1.3.1 移除链条
1.用螺丝刀把卡 扣松掉
3.拔出多 余链条
2. 剔除链接片
1.3.1
4. 将多余的 链接条去掉
5.按照图示 方法将调节 好长度的链 条装回去
6.再将电机 用螺丝调节 好高度，和 水平位置。 固定，OK
1.4 滚轮水平调整
• 滚轮水平一般情况下，在初次调试后就不需要再次调试，但是根 据实际情况需要调整时，必须先将要调试的槽体内部用水冲洗干 净，然后才可调整。按如下位置调试，这样可保证水平以相同的 趋势在变化，步骤如下：
REVIS Training 历史数据显示
怎样操作:
1. 2. 3. 4. 选择你所感兴趣的事件 选择有效的数据 设定时间范围 点击„Refresh键刷新数据
5. 点击„Export― 导出数据
REVIS Training 历史数据-曲线图显示
怎样操作:
1. 2. 3. 4. 5. 6. 7. 打开相关元件的曲线标签 设定时间范围 点击„Refresh― 刷新 能或者不能获得曲线 用坐标尺查看实际数值 点击„Export― 导出数据 点击„Screenshot― 将数据存储成 为bmp文件 。
检查滚轮水平（刻蚀的刻蚀槽水平尤其重要）
刻蚀槽挡板的高度，保证 药液溢流；
检查滚轮安装是否到位（下图两红圈所示为调整水平螺丝，顺时针调高）
• Niak刻蚀的刻蚀槽的相关参数设定（初次配液体积的设定）
第一次给机台加液时确保各管路中的化 学品正确；
Niak 校准方法：
Step1
• 排空上槽及下槽药液； • 将机台切换至安全模式即service模式； • 选择一化学槽的某种化学品点击‘Prepare get ref. volume’ 按钮； • 拆开补液阀的管路并连接另一根管路，用其他容器接住； • 点击‘Get ref. volume’ button and measure the ref. volume • 称量容器中所接水的重量反复做3次，将最后所得平均值写入配方
54
Step3---选择一化学槽的某种化学品点击‘Prepare get ref. volume’ 按钮
55
Step4---拆开补液阀的管路并连接另一根管路，用其他容器接住
56
Step5---点击‘Get ref. volume’ button and measure the ref. volume
1.1
将界面切换到 manual functions
点击 drain 先将TANK的药液排空
1.1
• 同理 如果想更换哪个部分 滤芯只要将该部分的补液灌 也排空
排空后用水枪多次冲洗，然 后再点击drain.排空冲洗槽子 的水。
1.1
去设备后部 ，打开防溅门 水枪准备好，有漏液要及时冲洗
1.1
手动功能:
1. 只在手动模式下有效 2. 在相关模块的模块下选择manual functions子菜单。 3. 所有功能键显示在右方
4. 如果一个功能正在操作， 他的背景颜色为绿色 5. 流程图查看功能的工作状 态 6. 功能需要有效的PLC文件， 而用户则需要有效的权限
REVIS Training 手动功能—工艺槽“Drain”
REVIS Training 显示举例
模块状态:
• 显示设备状态 •显示模块状态 • 每个单独的模块: • 生产模式(生产,待机 ，服务，手动 等） • 错误状态(已准备, 未准备好, ...) • 生产状态(空, 正在添加, 满, ...) • 很重要的生产实际值 • 目前所用配方名称
REVIS Training 显示举例
Profile 储存
REVIS Training 参数
属性操作:
1. 2. 3. 4. 5. 新建 删除 从数据库加载Save to database 写入PLC 从PLC加载
参数显示
加载 Profile store 保存
写入
加载...
PLC
工艺阶段 1.1工艺校准及装机注意事项
• • • A.Niak上酸前注意事项； B.Niak第一次配液后注意事项； C.Niak培训；
•
Niak 刻蚀槽各化学品补液 量
2.试跑假片，检查wafer在各槽体运行状况
3.生产经扩散后的片子，看刻蚀边状况
• • 如果没有用户登陆点击login按键 输入用户名和密码
•
• •
登出
点击login，就会自动登出 所有的界面显示将会关闭
REVIS Training
Headline – „Menu...― button
• • 进入常规显示 报警分类
•
•
当前报警显示
历史报警显示 历史数据显示 登录文件显示 报警报告显示 用户管理显示
手动功能模块:
• •
显示动态的流量图 显示有效的手动功能
REVIS Training 显示举例
模块数字输出:
• •
显示通过远见设定的输出值 双击可设定输出值
REVIS Training 任务管理菜单
工作框架按钮
任务按钮
REVIS Training
任务管理菜单源自文库
全屏 状态栏置平
状态栏垂直
关闭所有任务栏
校准:
1. 打开元件菜单再点击show 2. 在右上角将会显示有效的校准功 能键
REVIS Training 参数
参数类型:
1. 设定参数(指定的 硬件参数设置) 2. 配方参数(指定的工艺参数设置) 3. Knowhow 中被保护的参数(指定 RENA knowhow 设置)
参数显示:
1. 每个模块的每个类型显示在一起 2. 参数是和配置文件profile 储存在一起
蓝色
持续亮 关 闪烁
1.1.2 PC中显示状态及灯塔颜色初判报警级别
灯塔报警颜色表示报警级别
1.1.3 设备内自设的权限
这是设备内部的所有的用户名及密码，级 别由低到高
1.1.4 用户登录
点击 login
登陆界面出现
输入用户名和密码，点击 OK
维修 1.1更换及清洗滤芯
• • • • 更换清洗滤芯用于 刻蚀槽，酸槽，碱槽。 1.1.1 准备 登入界面：输入用户名和密码 将设备状态打到manual模式
•
文件种类
• •
• •
报告种类
• •
REVIS 系统种类
REVIS Training 导航栏
被选菜单
被选菜单的子菜单
点击Show 键打开屏显示 子菜单内容
REVIS Training 显示 举例。
设备显示界面全貌:
• • • •
包括所有独立的设备模块 显示所有模块的状态和重要的参数 显示主要模块的设置参数 生产功能键(例如. 开始生产，手动 模式，服务模式，开门 关门等.)
REVIS Training
Service 模式 – 设定输出值
IO 显示:
1. 2. 3. 4. 5. 点击show 进入模块显示 从标签栏中选中IO output 进入 从菜单中双击输出值 在弹出对话框中设定新值 点击„OK― 将新的值写入PLC中
REVIS Training
Service 模块 – 校准
主标
• 主标 • 登入/登出 • 最近报警 • 信息/主菜单栏 导航栏 子菜单的目录 进入显示，点击show― • 任务键 • 最近10个任务显示 • 快速显示切换 • 工作界面操作按钮 工作界面 • 大体的界面信息
任务键 导 航栏
工作界面
REVIS 软件培训
Headline – Login / Logout
RENA设备一般操作及 个别配件保养
操作 1.1.1设备指示灯及所代表的状态
颜色 状态 信号声音 表示 提示有报警信息 提示有不能删除的报警（级别最高 ） 手动操作 提示有报警信息 自动操作，生产中 初始化阶段 待机，上料台没片
持续亮 关 红色 闪烁 黄色 开
持续亮 关 闪烁 开
绿色
持续亮 关 闪烁 关
A.Niak上酸前注意事项
1. 2. 3. 4. 5. 6. • • 检查滚轮安装状况（水平，位置，数量等）； 检查前后挡板的高度（主要影响刻蚀槽循环流量及刻蚀线的好坏）； 检查DI的喷淋状况（Rinse1，Rinse2,及Rinse3）； 排风的调整，尤其是刻蚀的刻蚀槽排风（对稳定性要求较高）； 水测即在机台加水的前提下跑片看硅片在个槽体运行状况； 配方设定； 7. 检查各槽的滤芯是否安装； 8. 初次配液校准以及补液量的校准（DI，HF，HNO3，HCL，KOH）；
1.3
1。点击transport 2，点击sequence show 3. 点击 start transport 让滚轮转 4. 当链条的卡扣转至上面时，点击 stop transport 让滚轮停
1.3
5.拔掉 电源
6.松掉 图上所 示的所 有螺丝， 这样子 就可以 使链条 放松， 然后可 以通过 调节卡 扣的位 置来调 节链条 的松紧 度
REVIS Training 历史数据
历史数据描述:
1. 2. 3. 4. 5. 历史数据显示(按时间) 曲线图(器件的实时数据监测曲线) 报告 (此刻的有效报警信息) 分析 (实时记录– 计划) 历史报警显示
操作:
1. 一些过滤后的选项(时间范围, 值得设定, ...) 2. 以文件格式导出数据
57
Step6---称量容器中所接水的重量反复做3次，将最后所得平均值写 入配方
58
Step7---校正玩将机台切换至手动模式
59
Step8---继续做化学品校准，点击 ‘Start calibration’ 按钮
60
B.Niak第一次配液后注意事项；
1. 2. 3. 检查补液量； 试跑假片，检查wafer在各槽体运行状况； 生产经扩散后的片子，看刻蚀边状况；
Drain acid
工艺槽正在排药液
REVIS Training service 功能
ATTENTION: low level functions with limited security validation machine can be damaged
Service 功能:
• 只在service模式下有效 • 设定输出值(从流程图, 从IO显示) • 培训操作(具体的培训对话框) • 校准 (各个元件的校准按钮)
带好防护用具，按照 图示将滤芯拆下 ，切 记注意酸的溅漏。
拆下滤芯清洗， 或者更换新的滤 芯，然后再装回 去
1.2 更换风刀的滤芯
• 风刀的滤芯是过滤车间的空气，使得利用进入风刀的空气洁净， 不影响硅片质量，长时间使用后要及时的清理或者更换滤芯。
红色标注部分为空 气滤芯的位置
将支撑杆拆下就 可以将两个滤芯 拆下清洗或者更 换
1.2
同时，将蓝色的海绵滤芯也要进行清 洗和更换
1.3维修 更换传动链
• 有时候随着设备的长时间使用，传动链会有些松动，这个时候就 需要维护的时候查看，是否需要将它调节。 • 1先将设备运行状态必须切换到service模式，只有在此模式下， 才能单独让滚轮转起来 • 同事要将上下料台的齿轮保护盖板拆下，将前面门板的上下料台 部分打开，以便检查上下料台处2个电机的工作状态。
REVIS Training 历史数据– 报警报告
怎样操作:
1. 从弹出菜单„Menu.选择显示报警 信息. 2. 设定时间范围 3. 点击„Refresh― 刷新数据，然后 显示 4. 选择„Alarm counts total― 或者 „Alarm counts per module― 标签
REVIS Training 手动功能
区域调节滚轮水平，要参考 横向和纵向的两个位置
1.4
两个部分的交界处可以用2片硅片 比较着调节滚轮的高度，只要在不 通区域内的硅片能在同一水平面， 就默认为这两部分的水平在一条水 平面上。
有时，胳臂地 方需要用橡胶 锤敲实，才能 使得调好的水 平之后没有多 大变化。
REVIS Training 客户端
上料台 工艺槽 清洗1 碱槽 清洗2
下料台
风刀
清洗3
酸槽
1.4上料台
滚轮离地面的高度 为95厘米，特殊情 况下为了匹配上下 料台可以适当的上 调2cm-4cm
95cm
1.4
标注过的螺母是调节滚轮 水平的关键，调节时首先 要适当的松开
1.4
用水平尺首先从上料台 开始调起，首先单个滚 轮开始调
1.4
Step2
Step3
Step4
Step5
Step6
Step7
• 校正玩将机台切换至手动模式；
• 继续做化学品校准，点击 ‘Start calibration’ 按钮；
Step8
52
Step1---排空上槽及下槽药液
2016/9/27
53
Step2---将机台切换至安全模式即service模式
2016/9/27
1.3.1 移除链条
1.用螺丝刀把卡 扣松掉
3.拔出多 余链条
2. 剔除链接片
1.3.1
4. 将多余的 链接条去掉
5.按照图示 方法将调节 好长度的链 条装回去
6.再将电机 用螺丝调节 好高度，和 水平位置。 固定，OK
1.4 滚轮水平调整
• 滚轮水平一般情况下，在初次调试后就不需要再次调试，但是根 据实际情况需要调整时，必须先将要调试的槽体内部用水冲洗干 净，然后才可调整。按如下位置调试，这样可保证水平以相同的 趋势在变化，步骤如下：
REVIS Training 历史数据显示
怎样操作:
1. 2. 3. 4. 选择你所感兴趣的事件 选择有效的数据 设定时间范围 点击„Refresh键刷新数据
5. 点击„Export― 导出数据
REVIS Training 历史数据-曲线图显示
怎样操作:
1. 2. 3. 4. 5. 6. 7. 打开相关元件的曲线标签 设定时间范围 点击„Refresh― 刷新 能或者不能获得曲线 用坐标尺查看实际数值 点击„Export― 导出数据 点击„Screenshot― 将数据存储成 为bmp文件 。
检查滚轮水平（刻蚀的刻蚀槽水平尤其重要）
刻蚀槽挡板的高度，保证 药液溢流；
检查滚轮安装是否到位（下图两红圈所示为调整水平螺丝，顺时针调高）
• Niak刻蚀的刻蚀槽的相关参数设定（初次配液体积的设定）
第一次给机台加液时确保各管路中的化 学品正确；
Niak 校准方法：
Step1
• 排空上槽及下槽药液； • 将机台切换至安全模式即service模式； • 选择一化学槽的某种化学品点击‘Prepare get ref. volume’ 按钮； • 拆开补液阀的管路并连接另一根管路，用其他容器接住； • 点击‘Get ref. volume’ button and measure the ref. volume • 称量容器中所接水的重量反复做3次，将最后所得平均值写入配方
54
Step3---选择一化学槽的某种化学品点击‘Prepare get ref. volume’ 按钮
55
Step4---拆开补液阀的管路并连接另一根管路，用其他容器接住
56
Step5---点击‘Get ref. volume’ button and measure the ref. volume
1.1
将界面切换到 manual functions
点击 drain 先将TANK的药液排空
1.1
• 同理 如果想更换哪个部分 滤芯只要将该部分的补液灌 也排空
排空后用水枪多次冲洗，然 后再点击drain.排空冲洗槽子 的水。
1.1
去设备后部 ，打开防溅门 水枪准备好，有漏液要及时冲洗
1.1
手动功能:
1. 只在手动模式下有效 2. 在相关模块的模块下选择manual functions子菜单。 3. 所有功能键显示在右方
4. 如果一个功能正在操作， 他的背景颜色为绿色 5. 流程图查看功能的工作状 态 6. 功能需要有效的PLC文件， 而用户则需要有效的权限
REVIS Training 手动功能—工艺槽“Drain”
REVIS Training 显示举例
模块状态:
• 显示设备状态 •显示模块状态 • 每个单独的模块: • 生产模式(生产,待机 ，服务，手动 等） • 错误状态(已准备, 未准备好, ...) • 生产状态(空, 正在添加, 满, ...) • 很重要的生产实际值 • 目前所用配方名称
REVIS Training 显示举例
Profile 储存
REVIS Training 参数
属性操作:
1. 2. 3. 4. 5. 新建 删除 从数据库加载Save to database 写入PLC 从PLC加载
参数显示
加载 Profile store 保存
写入
加载...
PLC
工艺阶段 1.1工艺校准及装机注意事项
• • • A.Niak上酸前注意事项； B.Niak第一次配液后注意事项； C.Niak培训；
•
Niak 刻蚀槽各化学品补液 量
2.试跑假片，检查wafer在各槽体运行状况
3.生产经扩散后的片子，看刻蚀边状况