氦质谱检漏仪应用 - 360文档中心

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Alcatel 氦质谱检漏仪使用和维护

基础

By 姚晓荣, Aug., 2009

Alcatel 氦质谱检漏仪2代产品介绍

Self Contained

Units

Always the right solution for any leak detection application.

Alcatel 氦质谱检漏仪2代产品介绍与第一代产品比较后的改进和特点

› 1.可检精度:5*10E-12mBar.l/s

› 2.人机友好界面

› 3.质谱室双灯丝结构

› 4.氦本底清零功能

› 5.可选配干泵/油泵做为前

级泵

Touch sceen panel

Color graphic interface

Recording mode

Alcatel 氦质谱检漏仪3代产品介绍

›ASM310 新功能:› 1.中文界面

› 2.触摸屏幕

› 3.重量轻:21Kg

› 4.

具备蓝牙通讯模块

Presentation Title —5

H2000+型，平板式H2000-C PLUS

型便携式H2000+型标准台式

ILS500 高级系统，基于H2000+型

Alcatel 氢/氮气检漏仪介绍

Alcatel

氦质谱检漏仪工作原理

›检漏仪三大模块:

› 1. 真空系统

›前级泵+分子泵组合成真空系统,以

获得高真空

› 2.检测系统

›阀门,内置漏孔,氦质谱室

› 3.电路系统

›主板,电源板,分子泵驱动板,通信板

组成的电信号控制系统

真空泵的工作原理和维护›初抽泵的保养和维护:

›ASM1142的前级泵为旋片泵既油泵,因此要注意润滑油的油位和颜色,油雾分离器的检查和更换

›分子泵的保养和维护:

›注意不要有粉尘/颗粒进入,

会导致转子卡住

氦质谱室工作原理介绍

›为什么用氦气做为示宗气体?

›氦的特性:

›分子量小,活跃

›空气中的含量小:5PPM

›氦为惰性气体,无毒无害

氦质谱室维护和保养›质谱室内的灯丝在长时间工作后,会产生氧化现象,使得整个质谱室腔壁留有氧化物,需要周期性的进行保养

›保养时需要的工具:6mm内六角,尖嘴钳,长柄十字/一字小螺丝刀

›保养所需材料:无水酒精,细砂皮纸,

干净的布或纸

氦质谱室维护和保养

先拆卸下紧张固螺丝,再松

开连接螺丝

紧固螺丝

连接螺丝

Presentation Title —

11

氦质谱室维护和保养

›

拆卸电子收集器:

拆卸紧固螺丝

Presentation Title —12

2004, Alcatel

氦质谱室维护和保养

Presentation Title —14

2004, Alcatel

氦质谱室维护和保养

Presentation Title —15

2004, Alcatel

氦质谱室维护和保养

电气系统注意事项›基于氦检漏仪的自身的工作原理,所以电子线路板的信号都以mA级进行传递

›因此要注意环境温度对机器的影响

›检漏仪的工作环境,确保工作环境的氦本底

›检漏仪内的油泵的检查,是否有漏油造成线路板故障

氦质谱检漏仪的检漏方式

Presentation Title —18

ASM

180 TDI

ALCATEL

He

喷枪

喷氦时应当由上往下从被测件顶部开始检漏.

Proprietary information -Ron Ligthart

氦质谱检漏仪的检漏方法

真空法（喷氦法）检漏（找漏点）