微纳测试试题

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微纳测试试题

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一、填空题（20分，每小题2分）

1.一般来说，微纳米技术研究的尺度范围是指。

2.微纳米材料有。

3.可见光的波长范围约为 nm 。

4.光学显微镜极限分辨本领是。

5.扫描隧道显微镜有两种工作模式。

6.原子力显微镜的接触式利用原子间的。

7.X射线衍射定向法可用于的定向。

8.电阻率最常用的测试方法是。

9.电子与样品相互作用产生各种信号，其中用于扫描电子显微术分析。

10.原子力显微镜有三种工作模式。

二、简答题（40分，每小题5分）

1.微纳米测量技术的特点是什么？有哪些主要的微纳米测量方法？

2.例举两种微传感器最常用的信号检测方式，并说明其优缺点。

3.光学显微镜的分辨率是由物镜还是目镜决定的？并说明其原因。

4.适合用透射电子显微镜观察的样品应具有什么特性。

5.简述光学显微镜、透射电子显微镜与扫描电子显微镜的放大倍率。

6.说明在原子力显微镜测试过程中，微悬臂形变的检测方法有哪些。

7.简述拉曼散射效应。

8.表面粗糙度的主要表征参数包括哪些？

三、论述题（40分，每小题20分）

1.说明微系统测试仪有哪几种测试功能，并详细说明。

2.详述MEMS材料机械特性的测试与宏观机械材料特性的测试有什么区别，主要难点体现在哪些方面。