分子泵保养与使用和维修手册

一、分子系的内部结构

1．高真空接口 60．球型轴承

2．前级真空接口 61．半径方向防震垫圈

3．冷却水连接 63．轴向防震垫圈

4．排气接口 64．电视单元

5．电气连接 65．0-圈

6．橡胶底座 72．0-圈

10．转子73．0-圈

10 a．转子中心毂 80．锁紧著

14．安装螺帽 81．0-圈

16．USIT接头 82．润滑油包

58．螺丝 83．0-圈

59螺帽 84．油包安装环

二、分子泵的清洗：

一般来讲，如果说前级泵没有问题，而真空在规定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏气（排除其它的漏气）、或着解吸附作用降低，说明真空泵有点脏了，需要进行清洗，这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗，如果太脏的话，就必须进行拆卸清理了。直接清洗的方法如下：1．关掉分子泵，进行排气。

2．从机器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的边缘部分。

3．拆掉冷却器、加热器（如果有的话）等

4．拆掉润滑的油包

5．将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。

6．往容器中用人无水酒精，高度以前级真空接口略低为宜，如下图。

7．上下活动分子泵几次，便于分子泵的定子和转子的叶片清洗，在无水酒精中浸泡大概5～10分钟。

8．换掉无水酒精，加入新的无水酒精，重复前面的工作，最少要重复一次。

9．拿出分子泵。

10．将高真空接口朝上，从垂直慢慢放倒到180度，以便排除磁性轴承中的酒精。

11．用一个网格放在高真空接口上，然后朝下放置，利用一个泵抽大概30分钟左右。注意接口的密封表面不要损坏。

12．接上前级真空泵，不要开分子泵，利用前级泵抽真空，达到大概10E－1左右，以便完全清除分子泵中残留的无水酒精。

13．更换真空泵中的真空油，接上分子泵开始工作。

注意第一次抽真空时是比较慢，这是因为分子泵中有残留的酒精，属于正常情况，不必忧虑。

三、驱动马达的检查

驱动马达的检查可以用两种方法，一个是带带驱动单元TCP时用示波器看波形。一个是不带驱动器检查线路。

带驱动单元TCP的方法操作，这里要注意一点，就是探针式的霍尔传感器是没有0电位的，所以在用示波器的时候将0V线拔掉。切记不要同时查看B1-B4、B2-B3的波形。下面是在全速旋转时检测到B1-B4或B2-B3波形。

在不带驱动单元的检测方法，这个办法主要是检测、测室外部的接线和内部的适配器。

检查的时候请参考下图：

图中的标号在外部表现的颜色为：

在霍尔元件的G、F之间加上一个40MA的恒定电流，在B1-B4或B2-B3之间接入示波器或万用表。然后用手转动分子泵。如果正常的话，测室出来的电压的极性每周会变化一次。

四、更换轴承

在分子泵中最容易损坏的就是轴承了，所以更换轴承是一个主要的工作。更换轴承需要爱一个干净的环境中更换，我们一般更换的是马达这边的轴承。更换轴承需要一些特殊的专用工具。值得注意的是，在每次更换轴承的时候，油包也一定要更换。下面的图是一些专用工具（真实自己可以加工的）。

图中A是中心铀，B和D都是校准用的工具，是调节间隙和位置用的。C是马达的拔除器。抄写的分解图如下：

1．将分子泵放在一个平的平面上，拆下盖子80，并用两个螺丝刀取出油包82，如下图：2．用工具B拆下固定环84，拿出72和73两个密封圈。

3．从马达64上拆下4个螺丝58。

4．拧下螺母59，注意是反丝的。

5．拆掉两个橡皮角6，利用工具C小心地拔出马达64。

6．拿走马达64。

7．卸下工具C，装上橡皮脚6。利用镊子拿出轴承60、防震垫圈61和63。

8．用酒精清洗马达，下列的元件必须一起更换：轴承60、防震垫圈61和63、油包82。

9．开始安装，安装的时候所有的元件必须用酒精清洗。

10．将电气接口5和排气接口质在一个方向上，将泵直立起来。

11．带上手套或用柔软的布，压下转子10（注意只能压转子毂部分10A，不要压圆盘的牙齿部分）

12．将分子泵翻过来放置，高真空接口朝下，将轴向的防震垫63圈放入凹槽，装入径向的防震垫圈61。

13．打开轴承的包装，将固定螺母59的方向朝上，利用专用工具A装人轴上。相关图片：

14．将泵水平成置，这样在上螺母时的铁屑等东西不会掉入轴承中，然后将螺母59上紧，后再

拧松，用0.6NM的力矩搬扳手上紧螺母59。

15．利用专用工具B，安装固定环84和密封圈72、73，用力上紧，直到感觉有金属性的抵制为止。然后在工具B上做一个记号，将84旋回90度。

16．拿出旧的油包，放入新的油包，装上密封圈和盖子，到此，更换己经完成。但是在使用以前，必须对磁性轴进行检查和校正，同时对转页的间隙进行调整。

17．磁性轴承的校正方法：用手压（在转子毂上）下转子，然后将泵从轴的方向旋转90度，如果转子向高真空接口的方向跳起（可以听见声音，也可以感觉到），说明是OK的。如果不是，就要利用工具D对其进行校正。

如果转子跳起的角度小于90度，则须将工具D顺时针旋转，大于90度跳起，将工具D逆旋转，

如下图：

一旦达到跳起的角度，这时才算真正的完成更换。分子泵可以安装使用了。